AIXTRON : Geschäftsbericht 2020.pdf

Wir gestalten Zukunft. Mit Innovation und Präzision.

INHALTSVERZEICHNIS

AIXTRON-GRUPPE 3

2020 auf einen Blick 3

Wichtige Finanzkennzahlen 4

Unternehmensprofil 5

Brief an die Aktionäre 6

Bericht des Aufsichtsrats 9

DIE AIXTRON-AKTIE 17

CORPORATE GOVERNANCE 23

Erklärung zur Unternehmensführung 23

Vergütungsbericht 40

ZUSAMMENGEFASSTER LAGEBERICHT ZUM 31. DEZEMBER 2020 60

Grundlagen des Konzerns 61

Wirtschaftsbericht 71

Lagebericht der AIXTRON SE 89

Prognose-, Chancen- und Risikobericht 96

Rechtliche Angaben 108

KONZERNABSCHLUSS 111

Konzern-Gewinn- und Verlustrechnung 111

Konzern-Gesamtergebnisrechnung 112

Konzern-Bilanz 113

Konzern-Kapitalflussrechnung 114

Entwicklung des Konzern-Eigenkapitals 115

ANHANG ZUM KONZERNABSCHLUSS 116

WEITERE INFORMATIONEN 176

Versicherung der gesetzlichen Vertreter im Konzernabschluss 176

Bestätigungsvermerk des unabhängigen Abschlussprüfers 177

Finanzkalender 186

Impressum 186

Zukunftsgerichtete Aussagen 187

AIXTRON-GRUPPE

2020 auf einen Blick

301,4 Mio. €	269,2 Mio. €
Auftragseingang	Umsatzerlöse
Vorjahr 231,9 Mio. €	Vorjahr 259,6 Mio. €
40%
34,8 Mio. €
Bruttomarge	EBIT
Vorjahr 42%	Vorjahr 39,0 Mio. €
0,31 €
14,0 Mio. €
Ergebnis je Aktie	Free Cashflow
Vorjahr 0,29 €	Vorjahr 35,1 Mio. €
728
58,4 Mio. €
F&E-Ausgaben	Mitarbeiter zum Jahresende
Vorjahr 55,0 Mio. €

Vorjahr 688

Wichtige FinanzkennzahlenAuftragseingang

Umsatzerlöse

Mio. €

Mio. €

302,5

301,4

310 233 155 78 0

263,8

2019

268,8

259,6

269,2

231,9

270 203 135 68 0

2017

2018

2020

230,4

2017

2018

2019

2020

Bruttomarge

Betriebsergebnis (EBIT)

%

Mio. €

50

44

42

2017

50

40

41,5

39,0

40

30

20

10

0

32

2018

2019

2020

25

0

2017

4,9

2019

34,8

2018

2020

Free Cashflow

Ergebnis je Aktie

Mio. €

100 91,4

50

€

0,5

0,41

0

2017

2018

4,4

35,1

2019

14,0

2020

0,0

0,06

2017

2018

0,29

0,31

2019

2020

Unternehmensprofil

Die AIXTRON SE ist ein führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Unternehmen wurde 1983 gegründet und hat seinen Sitz in Herzogenrath (Städteregion Aachen) sowie Niederlassungen und Repräsentanzen in Asien, den USA und in Europa. Die Technologie-lösungen der Gesellschaft werden weltweit von einem breiten Kundenkreis zur Herstellung von leistungsstarken Bauelementen für elektronische und optoelektronische Anwendungen auf Basis von Verbindungshalbleiter- oder organischen Halbleitermaterialien genutzt. Diese Bauelemen-te werden in einer Vielzahl innovativer Anwendungen, Technologien und Industrien eingesetzt. Dazu gehören beispielsweise Laser-, LED-, und Displaytechnologien, Datenübertragung, SiC- und GaN-Energiemanagement und -umwandlung, Kommunikation, Signal- und Lichttechnik sowie viele weitere anspruchsvolle High-Tech-Anwendungen.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, APEVA®, Atomic Level SolutionS®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, TriJet®

Weitere Informationen über AIXTRON (FWB: AIXA, ISIN DE000A0WMPJ6) sind im Internet unterwww.aixtron.com verfügbar.

In diesem Geschäftsbericht verwenden wir im Interesse der besseren Lesbarkeit ausschließlich die grammatisch männliche Form, wie bspw. "Aktionär" oder "Mitarbeiter". Sie bezieht sich im-mer zugleich auf alle Geschlechter der Menschen, um die es geht: männlich, weiblich, divers.

Brief an die Aktionäre

Liebe Aktionäre, sehr geehrte Damen und Herren,

AIXTRON ist auch während der Corona-Krise auf Kurs geblieben. Wir haben die Position als Markt-und Technologieführer für MOCVD-Anlagen und deren Anwendungen weiter ausgebaut und unse-re Prognose für das Gesamtjahr 2020 vollumfänglich erfüllt. Der Auftragseingang von 301 Mio. Euro übertraf den Vorjahreswert um 30%, die Umsatzerlöse von 269 Mio. Euro verbesserten wir um 4%, und wir haben ein Betriebsergebnis von 35 Mio. Euro bei einer EBIT-Marge von 13% er-zielt. Zusammen mit einer Bruttomarge von 40% belegt dies unsere hohe Profitabilität. Die konstant hohe Eigenkapitalquote von 84% und der Bestand unserer liquiden Mittel in Höhe von EUR 310 Mio. Euro (beides 31. Dezember 2020) unterstreichen unsere Finanzstärke. Für die kon-sequente Weiterentwicklung unserer Spitzentechnologie und unseres Produktportfolios haben wir auch im herausfordernden Jahr 2020 mit 58 Mio. Euro mehr als jeden fünften Euro (22%) des Umsatzes in Forschung und Entwicklung (F&E) investiert.

Den Fokus haben wir dabei auf die Entwicklung von MOCVD-Anlagen der nächsten Generation für unsere Zielmärkte gelegt. Wir richten so unser Produktportfolio konsequent auf die Anforde-rungen der schnell wachsenden Zukunftsmärkte unserer Kunden aus, um sie als innovativer und verlässlicher Partner bei ihrem Wachstum nachhaltig zu unterstützen.

Im Jahr 2020 wuchs die Nachfrage nach unseren Anlagen für Galliumnitrid (GaN)-Halbleiter für die Leistungs- und Hochfrequenzelektronik stark. Diese Bauelemente erlauben eine signifikante Reduktion des Energieverbrauchs und der Baugröße der Netzteile von Servern, Smartphones und Notebooks und ermöglichen damit eine Verringerung des CO2-Fußabdrucks. Zudem sind sie ein wichtiger Schlüssel für 5G-Netze. Mit dieser Entwicklung erwarten wir den Beginn eines Nach-fragetrends, der auch in den nächsten Jahren weiter anwachsen wird. Um die Attraktivität des GaN-Materialsystems weiter auszubauen, haben wir die Entwicklung der Nachfolgegeneration unserer Produktserie AIX G5+ im Jahr 2020 mit Nachdruck vorangebracht.

Unsere vollautomatisierte Depositionsanlage für Siliziumkarbid (SiC), die wir im Jahr 2019 in den Markt eingeführt hatten, hat im Jahresverlauf 2020 weitere Kunden überzeugt. Sie ist konsequent auf den Megatrend E-Mobilität ausgerichtet, für den das SiC-Materialsystem mit hoher Energie-effizienz die Erhöhung der Fahrzeug-Reichweite und damit einen geringeren CO2-Ausstoß ermög-licht. Auch hier erwarten wir in den kommenden Jahren weiteres Umsatzwachstum.

Das Display-Segment hat in 2020 Stärke gezeigt, die nach unserer Erwartung auch in der nahen Zukunft Bestand haben wird. Kunden bauen ihre Kapazitäten für die Produktion von Mini LEDs kontinuierlich aus und arbeiten intensiv an der Entwicklung und Qualifikation von Micro LEDs für die nächste Generation von Displays für Smartwatches, Smartphones und TV-Geräte. Um in Zu-kunft den Anforderungen auch dieser Wachstumsmärkte besser zu entsprechen, haben wir in 2020 auch unsere neue MOCVD-Anlagengeneration für rote LEDs und Laser weiterentwickelt. Sie wird im Laufe des Jahres 2021 an erste Kunden ausgeliefert.

Im Bereich OLED-Beschichtungstechnologien hat unsere Tochtergesellschaft APEVA die endgültige Abnahme der Gen2 OVPD®-Beschichtungsanlage vom Kunden erhalten. Damit ist diese Phase des Qualifizierungsprojekts auf dem Weg zur Kommerzialisierung von APEVAs proprietärer Technolo-gie erfolgreich abgeschlossen. Über ein letztes Qualifizierungsprojekt zur Serienreife führt APEVA derzeit Kundengespräche.

In Summe hat AIXTRON das Jahr 2020 vor allem zum nachhaltigen Ausbau der Marktposition in zahlreichen Wachstumsmärkten in den Sektoren IT-Infrastruktur, Elektromobilität und Unter-haltungselektronik genutzt. Wir haben dabei eine Vielzahl von Erfolgen in der Zusammenarbeit mit Kunden verzeichnet. Für die Positionierung in den vielfältigen Wachstumsmärkten haben wir zudem unsere Ausgaben für Forschung und Entwicklung gezielt erhöht.

Die COVID-19-Pandemie, das weltweit beherrschende Ereignis 2020, hat auch uns vor Heraus-forderungen gestellt. Wir haben frühzeitig ein umfassendes Hygienekonzept umgesetzt und die Möglichkeiten der Digitalisierung noch stärker genutzt, wozu auch unsere erstmals virtuell ab-gehaltene Hauptversammlung gehört. Damit ist die Infektionsrate bei AIXTRON auf einem sehr niedrigen Niveau geblieben, so dass wir nennenswerte Produktivitätsengpässe vermeiden konn-ten.

Unsere Vorstände Dr. Jochen Linck, Dr. Bernd Schulte und Dr. Felix Grawert (v.l.n.r.).

Im Jahr 2020 haben wir erhebliche Fortschritte bei der Platzierung unserer Technologien und Produkte in unseren Wachstumsmärkten erzielt. 2021 werden wir unser Tempo noch weiter be-schleunigen - trotz aller Herausforderungen denen wir uns auch im Jahr 2021 stellen müssen.

Entscheidend für den Erfolg sind dabei unsere Mitarbeiter. Ohne ihr Engagement, ihren Einsatz und auch ihre verantwortungsvolles Verhalten während der Pandemie wäre dieser Erfolg nicht möglich gewesen. Wir danken dafür ausdrücklich unseren Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern! Ein großer Dank gilt auch unserem Aufsichtsrat für die vertrauensvolle Zusammenarbeit in der strate-gischen Weiterentwicklung und Unterstützung bei der Führung des Unternehmens.

Leider hat uns im Januar dieses Jahres die Nachricht erreicht, dass unser Firmengründer, langjäh-riger Geschäftsführer und Vorstandsvorsitzender, stellvertretender Aufsichtsratsvorsitzender und Ehrenvorsitzender des Aufsichtsrats Dr. Holger Jürgensen im Alter von 63 Jahren verstorben ist. Wir trauern um einen Visionär, der mit technologischen Pioniergeist und unternehmerischem Weit-blick das Fundament zu unserem heutigen, weltweit führenden Konzern legte.

Und schließlich danken wir Ihnen, unseren Aktionären, für Ihr Vertrauen in diesem besonderen Jahr. Mit Ihrer Unterstützung können wir AIXTRON auch in Zukunft als ein nachhaltig erfolgreich aufgestelltes Unternehmen mit großem Wachstumspotenzial in der Halbleiterindustrie profitabel weiterentwickeln.

Dr. Jochen Linck

Dr. Bernd Schulte

Dr. Felix Grawert

Bericht des Aufsichtsrats

Im Geschäftsjahr 2020 haben die Mitarbeiter der AIXTRON-Gruppe Außerordentliches geleistet. Dank des großartigen gemeinsamen Engagements konnten trotz der durch die COVID-19-Pande-mie erschwerten Rahmenbedingungen alle für das Jahr gesteckten Ziele erreicht werden. So zeig-te AIXTRON in diesem herausfordernden Jahr eine robuste Entwicklung des operativen Geschäfts.

Die Nachfrage nach AIXTRON-Anlagen heute und in der Zukunft wird vor allem durch globale Trends wie die zunehmende Elektromobilität und deren Effizienz, Ausbau der erneuerbaren Ener-gien, die Digitalisierung und Vernetzung stark beeinflusst. Effiziente Leistungshalbleiter als Kom-ponenten für Elektrofahrzeuge, kompakte Netzteile, Rechenzentren oder die Stromerzeugung aus erneuerbaren Quellen treiben die Nachfrage nach unseren Anlagen. Auch im Bereich der Opto-elektronik wird durch die zunehmende Verbreitung von optischen Sensoren und steigendem Be-darf an optischer Datenübertragung weiteres Wachstum erwartet. In all diesen Märkten hat sich AIXTRON dank führender Technologien eine ausgezeichnete Position erarbeitet. Die sich dadurch ergebenen Chancen wird AIXTRON konsequent nutzen.

Das von APEVA gemeinsam mit einem großen Kunden betriebene OLED-Projekt erreichte im 4. Quartal 2020 einen wichtigen Meilenstein: Mit der endgültigen Abnahme der im Vorjahr in Betrieb genommenen Gen2-Depositionsanlage durch den Kunden ist diese Phase des Qualifizierungs-projekts auf dem Weg zur Kommerzialisierung von APEVAs proprietärer Technologie erfolgreich abgeschlossen. Über ein letztes Qualifizierungsprojekt zur Serienreife führt APEVA derzeit Kun-dengespräche.

Nachhaltigkeit spielt eine zentrale Rolle im Denken und Handeln von AIXTRON. Seit 2019 hat AIXTRON den Status eines klimaneutralen Unternehmens, weitere Maßnahmen zur Reduktion der CO2- Emission wurden im Geschäftsjahr 2020 umgesetzt.

Im Geschäftsjahr 2020 hat der Aufsichtsrat Dr. Jochen Linck als Chief Operating Officer (COO) in den Vorstand der AIXTRON SE berufen und beschlossen, den Vorstand um einen Finanzvorstand auf dauerhaft drei Mitglieder zu erweitern. Mit der Bestellung von Dr. Christian Danninger in die Funk-tion des Chief Financial Officers (CFO) spätestens zum 1. Juli 2021 wurde der Generationswechsel für den Vorstand der AIXTRON SE im Dezember 2020 erfolgreich abgeschlossen.

Der Aufsichtsrat nahm während des gesamten Berichtsjahres die ihm nach Gesetz, Satzung und Geschäftsordnung obliegenden Aufgaben uneingeschränkt wahr.

Zusammenwirken von Aufsichtsrat und Vorstand

Der Aufsichtsrat hat den Vorstand bei seiner Geschäftsführung kontinuierlich überwacht und bei allen für das Unternehmen wichtigen Belangen beraten, so dass der Aufsichtsrat sich stets von der Recht- und Ordnungsmäßigkeit, der Zweckmäßigkeit und der Wirtschaftlichkeit der Unterneh-mensführung überzeugen konnte.

Der Aufsichtsrat war in allen Entscheidungen von grundlegender Bedeutung für das Unterneh-men unmittelbar und frühzeitig eingebunden. Der Vorstand unterrichtete das Gremium regelmä-ßig, zeitnah und umfassend über den Gang der Geschäfte, die Unternehmensplanung sowie die strategische Weiterentwicklung des AIXTRON-Konzerns. Darüber hinaus hat der Aufsichtsrat sich regelmäßig mit dem Vorstand über die Risikolage, das Risikomanagement und die Compliance im Unternehmen beraten. Auf der Grundlage der Berichterstattung des Vorstands wurden die Geschäftsentwicklung sowie für das Unternehmen wichtige Ereignisse ausführlich erörtert. Den jeweiligen Beschlussvorschlägen des Vorstands hat der Aufsichtsrat nach gründlicher Prüfung und Beratung zugestimmt.

Von der Möglichkeit, die Bücher und Schriften der Gesellschaft einzusehen (§ 111 Abs. 2 AktG), machte der Aufsichtsrat keinen Gebrauch.

Die Zusammenarbeit mit dem Vorstand war in jeder Hinsicht geprägt von verantwortungsvollem und zielgerichtetem Handeln. Der Vorstand hat seine Berichtspflicht gegenüber dem Aufsichtsrat sowohl mündlich als auch schriftlich vollumfänglich erfüllt.

Als Aufsichtsratsvorsitzender stand ich auch über die Aufsichtsratssitzungen hinaus in regelmä-ßigem Kontakt mit dem Vorstand. Dabei erörterten wir neben der aktuellen Geschäftslage und wichtigen Geschäftsvorfällen insbesondere Fragen der strategischen Neuausrichtung.

Schwerpunkte der Beratungen im Plenum

Der Aufsichtsrat tagte im Jahr 2020 in vier ordentlichen Sitzungen am 26. Februar, 19. Mai, 21. September und 9. Dezember, bei denen bis auf zwei Sitzungen jeweils alle amtierenden Auf-sichtsratsmitglieder anwesend waren. An der Sitzung vom 26. Februar konnte Frits van Hout nicht persönlich teilnehmen, wurde aber für die Beschlüsse telefonisch zugeschaltet. An der Sitzung vom 19. Mai nahmen die Aufsichtsräte, mit Ausnahme des Vorsitzenden Kim Schindelhauer, zur Vermeidung von COVID-19-Infektionsrisiken per Audio- und Videokonferenz teil. Prof. Dr. Biagosch konnte aus persönlichen Gründen nicht an der Sitzung vom 9. Dezember teilnehmen. Er stimmte im Nachgang allen getroffenen Beschlüssen ausdrücklich zu.

In Vorbereitung auf diese Sitzungen erhielten alle Aufsichtsratsmitglieder detaillierte Quartals-berichte zur Lage der Gesellschaft sowie weitere Informationen, wie interne Kontrollberichte, Sitzungsprotokolle, Firmenpräsentationen, Analystenreports, Konsensus-Schätzungen, Pressebe-richte und die AIXTRON-Finanzberichte bzw. -Finanzmitteilungen. Diese werden über eine speziellfür den Aufsichtsrat eingerichtete, verschlüsselte digitale Plattform zur Verfügung gestellt. An-hand von aktuellen Finanzzahlen sowie jeweils aktualisierten Prognoseberichten und Entwick-lungsplänen (Aufträge, Umsätze, Wettbewerb, Marktanteile) konnte sich der Aufsichtsrat vor und während der Sitzungen ein ausreichendes Bild von der Geschäftslage machen. Abweichungen des Geschäftsverlaufs von den aufgestellten Budgetplanungen wurden dabei ausführlich erläu-tert und begründet.

Mit Blick auf das zum Jahresanfang 2020 in Kraft getretene Gesetz zur Umsetzung der zwei-ten Aktionärsrechterichtlinie (ARUG II) und die damit verbundene Einführung des überarbeiteten Deutschen Corporate Governance Kodex 2020 (DCGK 2020) wurde ein Vergütungsausschuss im Aufsichtsrat gebildet, der sich mit der Neuregelung des Vergütungssystems des Vorstands be-fasst. Zudem wurde in der Geschäftsordnung des Vorstandes die Regelung der zustimmungsbe-dürftigen Geschäfte im Wortlaut angepasst.

Darüber hinaus hat sich der Aufsichtsrat intensiv mit dem Fortschritt der Entwicklung neuer Anla-gengenerationen befasst, um so die sich aus dem unmittelbar bevorstehenden Wachstum in den von AIXTRON adressierten Zukunftsmärkten ergebenden Chancen gezielt für die nachhaltige und profitable Geschäftsentwicklung des Unternehmens optimal nutzen zu können.

Am 20. April und am 9. Dezember fanden außerordentliche Aufsichtsratssitzungen statt, in denen über die Besetzung und Dotation der neu geschaffenen Vorstandspositionen COO und CFO beraten wurde.

Sitzungen des Aufsichtsrats 2020

In der Sitzung vom 26. Februar 2020 standen der Jahres- und Konzernabschluss sowie der zu-sammengefasste Lagebericht für das Geschäftsjahr 2019 und die entsprechenden Erörterungen und Beschlussfassungen im Vordergrund. Darüber hinaus befassten wir uns mit dem vorliegenden Entwurf der Tagesordnung der ordentlichen Hauptversammlung 2020, den wir nach Klärung noch offener Punkte freigaben. In die Tagesordnung der Hauptversammlung 2020 wurde erstmals ein Beschluss über die Billigung eines neuen Vergütungssystems für die Vorstandsmitglieder gemäß den Anforderungen der EU-Aktionärsrechterichtlinie (ARUG II) aufgenommen. Des Weiteren dis-kutierte und genehmigte der Aufsichtsrat den vorgelegten Corporate Governance Bericht. Der von AIXTRON zu erstellende und vom Abschlussprüfer einer prüferischen Durchsicht unterzogene nichtfinanzielle Bericht der AIXTRON SE sowie des Konzerns (CSR-Bericht) für das Geschäftsjahr 2020 wurde geprüft, erörtert und genehmigt. Zudem beschloss der Aufsichtsrat in dieser Sitzung, den Vorstandsdienstvertrag mit Dr. Felix Grawert auf Basis des neuen Vergütungssystems, das der Hauptversammlung zum Beschluss vorgelegt werde, um fünf Jahre zu verlängern.

In der Sitzung vom 19. Mai 2020 erläuterte der Vorstand die aktuelle Geschäftsentwicklung für das laufende Jahr und berichtete über die getroffenen Maßnahmen im Umgang mit dem CO-VID-19-Pandemiegeschehen. Zudem beschäftigte sich der Aufsichtsrat mit Blick auf die erfolgte Neuausrichtung und kontinuierliche Weiterentwicklung des Technologieportfolios ausführlich mit der Strategie und der Roadmap der AIXTRON-Gruppe. Insbesondere die adressierbaren Märktefür MOCVD-Technologien für Anwendungen der Leistungselektronik auf GaN- und SiC-Basis sowie die Entwicklung im Markt für Optoelektronik, einschließlich der Chancen für Micro LED-Displays, wurden eingehend erörtert. Es wurde festgestellt, dass sich der Markt für GaN-basierte Leistungs-elektronik derzeit im Übergang von einem R&D-Markt zu einem Applikationsmarkt befindet, da bereits erste Endanwendungen, wie z.B. für Wireless Charging, in die Volumenproduktion gehen. Hinsichtlich der SiC-basierten Leistungselektronik wurde darauf hingewiesen, dass die Elektro-mobilität wesentlicher Treiber der Nachfrage wird, wenn die zweite Generation von reinen E-Fahrzeugen in die Volumenproduktion geht. Des Weiteren wurden mögliche Ansätze erörtert, das Know-how von AIXTRON zur Erschließung neuer Geschäftsfelder zu nutzen. Es folgte ein Bericht über den Status des OLED-Projekts der Tochtergesellschaft APEVA.

Im Rahmen der ordentlichen Sitzung vom 21. September 2020 berichtete der Vorstand über die Geschäftsentwicklung im 1. Halbjahr und gab einen Ausblick für das Gesamtjahr 2020. Wir erhiel-ten ein Update über die Unternehmensstrategie und die Entwicklungsplanung verschiedener Ap-plikationen und Anwendungen im Technologiebereich Optoelektronik. Darüber hinaus berichtete der Vorstand über den Status der APEVA Geschäftstätigkeit und informierte uns über den aktuel-len Stand in einigen Strategieprojekten. Der Aufsichtsrat beschloss die vorgelegte aktualisierte Geschäftsordnung des Aufsichtsrats, welche mit Abschluss der Sitzung in Kraft trat.

Am 9. Dezember 2020 kam der Aufsichtsrat der AIXTRON SE zu seiner letzten ordentlichen Sit-zung des Jahres zusammen. Es wurde das vom Vorstand vorgelegte Budget für 2021 ausführlich diskutiert und diesem zugestimmt. Das Budget 2021 beinhaltet u.a. die detaillierte Umsatz-, Er-trags-, Finanz- und Investitionsplanung sowie die geplante Personalentwicklung des AIXTRON-Konzerns. Des Weiteren besprach der Aufsichtsrat die Tagesordnung der nächsten ordentlichen Hauptversammlung am 19. Mai 2021. Schließlich unterzog sich jedes Mitglied des Aufsichtsrats der Selbstevaluierung seiner Aufsichtsrat-Tätigkeit mit dem Ergebnis, dass der Aufsichtsrat und seine Ausschüsse effizient arbeiten. Daneben teilte ich dem Aufsichtsrat mit, dass ich Herrn Dr. Schulte die Annahme des Aufsichtsratsmandates bei der SÜSS MicroTec SE genehmigt hatte.

Ausschüsse

Der Aufsichtsrat hat vier Ausschüsse gebildet, einen Prüfungsausschuss, einen Kapitalmarktaus-schuss, einen Nominierungsausschuss und einen Vergütungsausschuss. Sie bereiten Beschlüsse und Themen vor, die im Plenum des Aufsichtsrats zu behandeln sind.

Der Prüfungsausschuss befasst sich insbesondere mit der Überwachung der Rechnungslegung, des Rechnungslegungsprozesses, der Corporate Governance & Compliance, der Wirksamkeit des internen Kontrollsystems, des Risikomanagementsystems, des internen Revisionssystems und der Abschlussprüfung. Die Prüfungsausschussvorsitzende, Frau Prof. Dr. Anna Gersbacher, verfügt als Aufsichtsratsmitglied über Sachverstand auf den Gebieten Rechnungslegung und Abschluss-prüfung (§ 107 Abs. 4, § 100 Abs. 5 AktG) sowie über besondere Kenntnisse und Erfahrungen in der Anwendung von internen Kontrollverfahren.

Im Berichtsjahr beauftragte der Aufsichtsrat die vom Prüfungsausschuss vorgeschlagene Deloitte GmbH Wirtschaftsprüfungsgesellschaft mit der Prüfung des Einzel- und Konzernabschlusses so-wie des zusammengefassten Lageberichts der AIXTRON SE zum 31. Dezember 2020, der Prüfung des Risikofrüherkennungssystems der Gesellschaft i.S.d. § 91 Abs. 2 AktG, der Erstellung eines "Management Letters", den Feststellungen nach Ziffer 7.2.3 des Deutschen Corporate Governance Kodex sowie, gemäß 111 Abs. 2 AktG, mit der inhaltlichen Prüfung des für 2020 zu erstellenden gesonderten nichtfinanziellen Konzernberichts. Zudem wurden die Prüfungsschwerpunkte (KAM - key audit matters), die im Bestätigungsvermerk zu AIXTRONs Jahres- und Konzernabschluss 2020 erwähnt werden müssen, mit dem Abschlussprüfer diskutiert.

Der Prüfungsausschuss tagte im Jahr 2020 viermal (26 Februar, 19. Mai, 21. September, 8. De-zember). An den Sitzungen nahmen alle Mitglieder des Prüfungsausschusses durch persönliche Präsenz oder durch Video-Zuschaltung teil. Zu den Quartalsabschlüssen zum 31. März 2020, 30. Juni 2020 sowie 30. September 2020 führte der Prüfungsausschuss jeweils Gespräche mit den Wirtschaftsprüfern und Vertretern des Rechnungswesens und besprach die Veröffentlichung der Quartalszahlen detailliert mit dem Vorstand. Neben den oben genannten Aufgaben und den quartalsmäßigen Fragestellungen zur Rechnungslegung, befasste sich der Prüfungsausschuss u.a. mit folgenden Sonderthemen:

• • Unabhängigkeitserklärung sowie fortlaufende Überwachung der Unabhängigkeit des Abschlussprüfers

• • Nichtfinanzieller Konzernbericht (Nachhaltigkeitsbericht)

• • Compliance Trainingsplan für 2020

• • Interne Audits 2020 und Auditplan für das Folgejahr

• • Informationssicherheit - Stand und Fokusthemen im Jahr 2020

• • Internes (rechnungslegungsbezogenes) Kontrollsystem

• • Ausweitung Risikomanagement und Compliance auf APEVA Group inkl. JV-Partner

• • Steuerprüfungen, insbesondere bei der AIXTRON SE

• • Beurteilung der Qualität der Abschlussprüfung

Der Kapitalmarktausschuss befasst sich mit der Evaluierung von Aktivitäten mit möglicher Ka-pitalmarktrelevanz. Er besteht aus zwei Mitgliedern. Im Jahr 2020 haben keine Sitzungen statt-gefunden.

Der Nominierungsausschuss besteht aus drei Mitgliedern und macht im Falle der Neubesetzung von Organmitgliedern entsprechende Vorschläge an den Gesamtaufsichtsrat. Dabei berücksich-tigt er auch die im Jahr 2010 erstmalig definierten und im Berichtsjahr erneuerten Zielvorgaben für die Zusammensetzung der Organe.

Im Jahr 2020 tagte der Nominierungsausschuss achtmal, am 12. März, 2. April, 9. April, 20. April, 18. August, 2. September, 20. September und 9. Dezember. An diesen Sitzungen, die mehrheitlich telefonisch abgehalten wurden, nahmen alle Mitglieder des Nominierungsausschusses und ge-ladene Gäste teil. Diese Sitzungen standen sämtlich im Zusammenhang mit der Kandidatenwahl für die zu besetzenden neuen Vorstandspositionen COO und CFO.

Fragestellungen für den Vergütungsausschuss wurden im abgelaufenen Geschäftsjahr im Rah-men der Sitzungen des Nominierungsausschusses bearbeitet. Dies erschien sinnvoll, da die Mit-glieder beider Ausschüsse identisch sind und es sich im Wesentlichen um Fragen der Vergütung der neuen Vorstandsmitglieder handelte.

Corporate Governance und Entsprechenserklärung

Der Aufsichtsrat verfolgt fortlaufend die Entwicklung der Corporate Governance Standards und erstellt zusammen mit dem Vorstand einen gemeinsamen Corporate Governance Bericht. Wir werden den Vorstand auch in Zukunft in seinen Bemühungen unterstützen, den Empfehlungen des Deutschen Corporate Governance Kodex vollständig zu entsprechen.

In der aktuellen Entsprechenserklärung gemäß § 161 AktG vom 4. Februar 2020 wird mit Aus-nahme der erklärten Abweichungen eine vollständige Entsprechung der Empfehlungen des Deut-schen Corporate Governance Kodex testiert.

Es wurden im Geschäftsjahr keine Interessenkonflikte von Aufsichtsrats- und Vorstandsmitglie-dern gemeldet.

Abschlussprüfung und Jahresabschluss

Der Aufsichtsrat beauftragte gemäß Beschluss der Hauptversammlung vom 20. Mai 2020 die De-loitte GmbH Wirtschaftsprüfungsgesellschaft, Düsseldorf, mit der Prüfung des Jahresabschlusses und des Konzernabschlusses sowie des zusammengefassten Lageberichts der AIXTRON SE für das Geschäftsjahr 2020.

Gegenstand der Prüfungen waren auch die Maßnahmen des Vorstands zur frühzeitigen Erken-nung von Risiken, die den Erfolg und den Fortbestand des Unternehmens gefährden könnten so-wie die rechtmäßige, ordnungsgemäße und zweckmäßige Berichterstattung der nichtfinanziellen Informationen im Nachhaltigkeitsbericht für das Jahr 2020. Es wurde ferner vereinbart, dass der Abschlussprüfer den Aufsichtsrat zu informieren bzw. im Prüfungsbericht zu vermerken hat, falls er bei Durchführung der Abschlussprüfung Tatsachen feststellt, die eine Unrichtigkeit der vom Vorstand und Aufsichtsrat nach § 161 AktG abgegebenen Entsprechenserklärung ergeben. Wie in den Vorjahren war eine solche Feststellung auch für das Geschäftsjahr 2020 nicht notwendig.

Der Jahresabschluss und der Lagebericht der AIXTRON SE zum 31. Dezember 2020 wurden nach den Regeln des Handelsgesetzbuchs (HGB) aufgestellt, der Konzernabschluss und der Konzernlagebe-richt zum 31. Dezember 2020 wurden gemäß § 315e HGB auf der Grundlage der Internationalen Rechnungslegungsstandards IFRS aufgestellt. Die unabhängige Wirtschaftsprüfungsgesellschaft Deloitte GmbH Wirtschaftsprüfungsgesellschaft hat sowohl den von der AIXTRON SE aufgestell-ten Jahresabschluss als auch den Konzernabschluss und zusammengefassten Lagebericht für das Geschäftsjahr 2020 geprüft und den gesonderten nichtfinanziellen Konzernbericht einer prüferi-schen Durchsicht unterzogen. Sowohl die Abschlüsse als auch der nichtfinanzielle Konzernbericht wurden mit einem uneingeschränkten Bestätigungsvermerk bzw. Vermerk versehen. Die Prüfer stellten fest, dass in dem zusammengefassten Lagebericht der Gesellschaft und des Konzerns das laufende Geschäft und die künftige Entwicklung der Gesellschaft und des Konzerns zutreffend dargestellt sind. Die Prüfung der Abschlüsse der AIXTRON SE im Geschäftsjahr 2020 durch die Deloitte GmbH Wirtschaftsprüfungsgesellschaft übernahm das Prüfungsteam mit dem leitenden Revisor Herrn André Bedenbecker.

Die Abschlussunterlagen (Jahresabschluss der AIXTRON SE und Konzernabschluss zum 31. De-zember 2020 sowie der zusammengefasste Lagebericht der AIXTRON SE und des Konzerns), der gesonderte nichtfinanzielle Konzernbericht sowie die Prüfungsberichte des Abschlussprüfers wurden dem Prüfungsausschuss und dem Aufsichtsrat rechtzeitig vorgelegt. Diese Dokumen-te wurden von uns eingehend geprüft. In der Sitzung des Prüfungsausschusses und des Ge-samtaufsichtsrats vom 22. Februar 2021 wurden sowohl der Jahresabschluss der AIXTRON SE als auch der Konzernabschluss sowie der zusammengefasste Lagebericht und der nichtfinanzielle Konzernbericht unter Berücksichtigung der Prüfungsberichte des Abschlussprüfers detailliert er-örtert und diskutiert. Der Abschlussprüfer, der sowohl an der Sitzung des Prüfungsausschusses als auch an der Sitzung des Aufsichtsrats teilnahm, berichtete über die wesentlichen Ergebnisse seiner Prüfung, die auch das interne Kontroll- und das Risikomanagementsystem bezüglich des Rechnungslegungsprozesses umfassten, und stand dem Prüfungsausschuss bzw. dem Aufsichts-rat für alle ergänzenden Fragen und Auskünfte zur Verfügung.

Nach dem abschließenden Ergebnis unserer eigenen Prüfung ergaben sich keine Einwendun-gen weder gegen den nichtfinanziellen Konzernbericht noch gegen den vorgelegten Jahres- und Konzernabschluss sowie zusammengefassten Lagebericht. Der zusammengefasste Lagebericht stimmt mit unserer eigenen Einschätzung der Lage der Gesellschaft und des Konzerns überein. Wir haben uns dem Ergebnis des Abschlussprüfers, mit dem wir inhaltlich voll einverstanden sind, angeschlossen und den vom Vorstand aufgestellten Jahresabschluss und den Konzernabschluss sowie zusammengefassten Lagebericht, als auch den nichtfinanziellen Konzernbericht der Ge-sellschaft für das Geschäftsjahr 2020 mit Beschluss vom 24. Februar 2021 gebilligt. Der Jahres-abschluss der AIXTRON SE ist damit festgestellt.

Dank des Aufsichtsrats

Im Namen des Aufsichtsrats danke ich den Mitgliedern des Vorstands sowie allen Mitarbeite-rinnen und Mitarbeitern weltweit für ihren außerordentlich tatkräftigen Einsatz in diesem durch die COVID-19-Pandemie geprägten Geschäftsjahr 2020. Ebenso gilt der Dank des gesamten Auf-sichtsrats den Mitarbeitervertretern für ihre konstruktive Zusammenarbeit mit den Organen der Gesellschaft in diesem herausfordernden Jahr.

Herzogenrath, im Februar 2021

AIXTRON SE

Kim Schindelhauer

Vorsitzender des Aufsichtsrats

DIE AIXTRON-AKTIE

Die AIXTRON-Aktie ist im Prime Standard der Frankfurter Wertpapierbörse notiert und in den beiden Auswahlindizes MDAX und TecDAX der Deutsche Börse AG vertreten. Dabei rangiert die AIXTRON-Aktie im 60 Werte umfassenden MDAX gemäß dem Index Ranking der Deutschen Börse bei der Marktkapitalisierung zum 31. Dezember 2020 auf Platz 57 (zum Dezember 2019: Platz 22 im SDAX) und beim Transaktionsvolumen im Jahr 2020 auf Platz 49 (2019: Platz 3 im SDAX). Unter den 30 TecDAX-Mitgliedern lag die Aktie von AIXTRON zum Jahresende 2020 bei der Marktkapita-lisierung auf Platz 22 (2019: Platz 26) und auf Platz 19 (2019: Platz 18) beim Transaktionsvolumen für das Jahr.

Neben den traditionellen Handelsplätzen wie XETRA und den deutschen Regionalbörsen findet der Handel in AIXTRON-Aktien in nicht unerheblichem Maße auch auf anderen Handelsplattfor-men wie Tradegate, Quotrix oder Chi-X statt.

Aktienkursentwicklung und Handelsvolumina der AIXTRON-Aktie im Jahresverlauf 2020

AIXTRONTecDAXSDAXMDAXAIXTRON-Aktie in € 2. Januar 2020 = 100%

15,16170

14,27160

13,38150

12,50140

11,60130

10,70120

9,81110

8,92100

8,0390

7,1480

6,2570

5,3560

4,4650

Jan 20

Feb 20

März 20

Apr 20

Mai 20

Jun 20

Jul 20

Aug 20

Sep 20

Okt 20

Nov 20

Dez 20

VolumenKurse steigendKurse fallend

Stück

4,29M

2,86M

1,43M

0

Jan 20

Feb 20

März 20

Apr 20

Mai 20

Jun 20

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Aug 20

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Nov 20

Dez 20

AIXTRON-Aktie trotzt der COVID-19-Pandemie

Das Börsenjahr 2020 stand weltweit wesentlich im Zeichen der COVID-19-Pandemie, der Maß-nahmen zu ihrer Bekämpfung und der Folgen für die globale Konjunkturentwicklung. Gegen Ende des Jahres wirkte sich auch die viel beachtete Präsidentenwahl in den USA zunehmend kurs-beeinflussend aus. Die Pandemie sorgte dabei für eine stark steigende Nachfrage nach digi-talen Dienstleistungen aller Art, so dass insbesondere entsprechende Technologiewerte ihren Aufwärtstrend der vergangenen Jahre weiter fortsetzten. Aber auch viele andere Aktienkurse und Indizes konnten ihre Jahrestiefststände vom März 2020 deutlich hinter sich lassen und das Börsenjahr teilweise sogar mit Kursgewinnen abschließen. Dies ist vor allem zurückzuführen auf einen anhaltenden Anlagedruck durch die hohe, von den Zentralbanken gestützte Liquidität im Markt. Daneben wirkten sich positive Nachrichten zur Impfstoffentwicklung und der Hoffnung auf eine baldige Konjunkturerholung vorteilhaft aus. Speziell an den letzten Handelstagen des Jahres sorgten die beginnenden Impfungen in wichtigen Ländern wie den USA, Großbritannien und auch Deutschland noch einmal für einen deutlichen Kursschub.

So lag auch der deutsche Leitindex DAX zum Jahresende leicht über dem Vorjahresniveau und da-mit im Mittelfeld der großen Weltbörsen. Nach dem COVID-19-Schock im Februar und März, durch den der DAX innerhalb von drei Wochen fast 40% Kursverlust hinnehmen musste, folgte eine mehrmonatige Erholung, die den Index unter größeren Schwankungen wieder auf Vorjahreshöhe brachte. Anleger schwankten dabei immer wieder zwischen zukünftiger Konjunkturhoffnung und schlechter aktueller Konjunkturlage - dies auch in Abhängigkeit von der Entwicklung der Infek-tionszahlen. Im zweiten Halbjahr bewegte sich der DAX dann in einer vergleichsweise engen Bandbreite seitwärts. Dank der positiven Anlegerstimmung zum Jahresausklang beendete der DAX das Jahr 2020 mit einem leichten Plus von 3,5%.

Die AIXTRON-Aktie konnte sich dank positiver Analystenkommentare und guter Geschäftsaussich-ten schon zu Jahresbeginn deutlich vom allgemeinen Börsenumfeld absetzen. Dem allgemeinen COVID-19-Crash, in dessen Verlauf sie am 19. März ihr Jahrestief von EUR 6,26 erreichte, konnte sich die Aktie nicht entziehen. Da sich unser Geschäft in der Folge als sehr robust erwies, zeigte sie aber auch in der folgenden Erholung eine deutliche Outperformance und stieg im Vorfeld der Bekanntgabe der Ergebnisse zum ersten Halbjahr 2020 bis zum 20. Juli auf ein Zwischenhoch von EUR 12,38. Die Nachfrage nach Lasern zur optischen Datenübertragung sowie die Nachfrage nach besonders energieeffizienter Leistungselektronik oder nach Spezial-LEDs für Display- und Desinfektionsanwendungen gehörten zu den Treibern unserer Auftragsentwicklung. Erwartungs-gemäß gute Quartalszahlen wurden zwar wiederholt für Gewinnmitnahmen genutzt, positive Analystenkommentare und der erfolgreiche Abschluss von Phase II des gemeinsamen OLED-Pro-jekts mit einem der weltweit größten Displayhersteller verliehen der Aktie zum Jahresende noch einmal deutlichen Auftrieb. Dabei erreichte die Aktie am 28. Dezember auch ihr Jahreshoch von EUR 14,53. Insgesamt entwickelte sich die AIXTRON-Aktie mit einem Jahresgewinn von 67,3% auf einen Schlusskurs von EUR 14,27 (Jahresschlusskurs 2019 von EUR 8,53) deutlich besser als der Gesamtmarkt. Im Vergleich dazu verbesserten sich die Indizes MDAX und TecDAX zum Ende des Jahres 2020 mit 30.796 Punkten (+8,8% gegenüber 28.313 Punkten) beziehungsweise 3.123 Punkten (+6,6% gegenüber 3.015 Punkten) nicht ganz so positiv, konnten damit aber einen er-freulichen Abschluss dieses schwierigen Börsenjahres feiern.

Breit diversifizierte Aktionärsstruktur

Zum 31. Dezember 2020 waren rund 20% der AIXTRON-Aktien im Besitz von Privatpersonen (2019: 30%), die größtenteils in Deutschland ansässig sind. Rund 79% der ausstehenden AIXTRON-Ak-tien befanden sich in der Hand institutioneller Anleger (2019: 69%). Der größte Teil dieser insti-tutionellen Anleger hat ihren Sitz in Nordamerika (34%), gefolgt von Großbritannien und Irland (32%) und Deutschland (16%). Die übrigen Investoren stammen aus anderen Teilen Europas und dem Rest der Welt. Gemäß den bis Ende 2020 erhaltenen Stimmrechtsmitteilungen waren unsere größten Aktionäre T. Rowe Price International, Artisan Partners und Invesco, die in ihren Fonds jeweils mehr als 5% der AIXTRON-Aktien hielten. 99% der Aktien befanden sich gemäß Definition der Deutschen Börse in Streubesitz und rund 1% der AIXTRON-Aktien wurde vom Unternehmen selbst gehalten.

Gemäß den Stimmrechtsmitteilungen und öffentlichen Angaben nach § 33 Abs 1 WpHG hiel-ten die folgenden institutionellen Investoren zum Jahresende 2020 Anteile von über 3% an der AIXTRON SE:

• • T. Rowe Price International Funds, Inc., Baltimore, Maryland, USA, 5,2%

• • Artisan Partners Funds, Inc., Madison, Wisconsin, USA, 5,0%

• • Artisan Partners Asset Management Inc., Wilmington, Delaware, USA, 5,0%

• • AIM International Mutual Funds - Invesco International Mutual Funds, Wilmington, Delaware, USA, 5,0%

• • Citigroup, Inc., Wilmington, Delaware, USA, 5,0%

• • Finanzministerium im Namen des Staates Norwegen, Oslo, Norwegen, 4,9%

• • Baillie Gifford & Co., Edinburgh, Großbritannien, 4,9%

• • Goldman Sachs Group, Inc., Wilmington, Delaware, USA, 4,4%

• • Invesco Ltd., Hamilton, Bermuda, 4,3%

• • BlackRock, Inc., Wilmington, Delaware, USA, 3,7%

• • Argonaut Capital Partners LLP, Edinburgh, Großbritannien, 3,5%

• • FIL Limited Pembroke, Bermuda, 3,2%

• • DWS Investment GmbH, Frankfurt, Deutschland, 3,2%

• • Varma Mutual Pension Insurance Company, Helsinki, Finnland, 3,1%

• • Fidelity Funds SICAV, Luxemburg, Luxemburg, 3,0%

Aktionärsstruktur

Regionale Aufteilung des Streubesitzes

20 %

18 %

32 %

1 %

16 %

1 %

79 %

34 %

Privataktionäre (20%)

Kontinentaleuropa (18%)

AIXTRON Treasury / Management (1%)

Deutschland (16%)

Institutionelle Investoren (79%)

Nordamerika (34%)

Rest der Welt (1%)

Großbritannien & Irland (32%)

Research-Coverage

Im Geschäftsjahr 2020 veröffentlichten insgesamt elf internationale Banken und Brokerhäuser (2019: elf) regelmäßig Aktienresearch-Berichte über AIXTRON und die Entwicklung der Halbleiter-industrie. Von den elf Finanzanalysten, die unsere Aktien bis Ende 2020 beobachteten, haben sie-ben eine Kaufempfehlung ausgesprochen, weitere zwei empfahlen die AIXTRON-Aktie zu halten und zwei Analysten bewerteten die Aktie als Verkauf. Das durchschnittliche Kursziel lag Ende De-zember 2020 bei EUR 12,52 (2019: EUR 10,34). Das Bankhaus Lampe zog sich Ende 2020 aus dem Aktiengeschäft zurück und hat in Folge dessen die Research Coverage unserer Aktie eingestellt.

Aktuell wird die AIXTRON-Aktie von folgenden Finanzanalysten beobachtet:

Institut	Analyst	Ort
Barclays Capital	Andrew Gardiner	Düsseldorf
Berenberg	Charlotte Friedrichs	London
Deutsche Bank	Uwe Schupp	London
DZ Bank	Harald Schnitzer	Frankfurt
Exane BNP Paribas	David O'Connor	Frankfurt
Independent Research	Markus Friebel	San Francisco
Liberum Capital	Janardan Menon	Frankfurt
MainFirst	Jürgen Wagner	London
Oddo BHF	Veysel Taze	Frankfurt
Warburg Research	Malte Schaumann	Frankfurt
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AIXTRON GESCHÄFTSBERICHT 2020

Unsere Investor Relations-Aktivitäten

Transparenz und Offenheit in einem kontinuierlichen Dialog mit unseren Aktionären und den Teilnehmern am Kapitalmarkt sind unser Anspruch. Unsere Investor Relations-Arbeit ist darauf gerichtet, das Vertrauen in unsere Aktie langfristig zu stärken und eine faire Bewertung am Ka-pitalmarkt zu erreichen. Hierfür stellen wir unseren Aktionären und dem Kapitalmarkt genaue, zeitnahe und relevante Informationen sowohl über das Geschäft der AIXTRON-Gruppe als auch über unser Marktumfeld zur Verfügung. Darüber hinaus verpflichtet sich AIXTRON zur Einhaltung der Grundsätze guter Corporate Governance.

In Einzel- oder Gruppengesprächen auf Investoren-Roadshows und -Konferenzen beantwortete unser Management und Investor Relations-Team die Fragen der nationalen und internationalen Investoren und Finanzanalysten zur Geschäftsstrategie und -entwicklung der AIXTRON-Gruppe sowie zu Branchen- und Markttrends. In Folge des Ausbruchs der COVID-19-Pandemie im Frühjahr 2020 fanden diese Roadshows und Konferenzen ausschließlich virtuell statt.

Trotz der Verlagerung sämtlicher Investor Relations-Aktivitäten auf virtuelle Plattformen kommu-nizierten der AIXTRON-Vorstand und das Investor Relations-Team ebenso intensiv mit den welt-weiten Finanzmärkten wie im Vorjahr, wenn auch die im Rahmen der Unternehmensbesuche, Investorenkonferenzen und Roadshows geschaffenen persönlichen Kontakte damit nicht völlig ersetzt werden können. Insgesamt wurden im Geschäftsjahr 2020 über 200 Gespräche, Telefonate und Telefonkonferenzen mit Finanzmarktakteuren geführt.

Aufgrund der COVID-19-Pandemie und der damit verbundenen Kontaktbeschränkungen fand auch die Hauptversammlung der AIXTRON SE am 20. Mai 2020 erstmals in virtueller Form statt. Die Hauptversammlung, die für Aktionäre vollständig live im Internet übertragen wurde, verfolgten über 300 Aktionäre und Interessenten online. 56,9 Prozent des Grundkapitals waren vertreten. Der Vorstand erläuterte dabei umfassend die Ergebnisse des Geschäftsjahres 2019, des ersten Quartals 2020 sowie die Technologien der Gruppe und beantwortete die im Vorfeld der Hauptver-sammlung eingereichten Fragen der Aktionäre.

CORPORATE GOVERNANCE

Erklärung zur Unternehmensführung

AIXTRON verpflichtet sich zu den Grundsätzen einer transparenten, verantwortungsvollen und auf die nachhaltige Wertschöpfung ausgerichteten Unternehmensführung. Durch entsprechende Lei-tung und Überwachung der Gesellschaft wollen wir - Vorstand und Aufsichtsrat - dem Vertrauen, das uns unsere Aktionäre, die Finanzmärkte, unsere Kunden, Geschäftspartner, Mitarbeiter und die Öffentlichkeit entgegenbringen, Rechnung tragen. Wir sind davon überzeugt, dass unsere gute Corporate Governance eine wesentliche Grundlage für den Erfolg unseres Unternehmens darstellt.

Sowohl die Erklärung zur Unternehmensführung entsprechend den Bestimmungen des Handels-gesetzbuches als auch die aktuelle gemeinsame Entsprechenserklärung von Vorstand und Auf-sichtsrat gemäß § 161 AktG werden im Geschäftsbericht sowie auf der Internetseite von AIXTRON in deutscher und englischer Sprache veröffentlicht. Auch werden Entsprechenserklärungen, auch wenn sie nicht mehr aktuell sind, mindestens fünf Jahre lang auf der AIXTRON-Internetseite zu-gänglich gemacht.

Entsprechenserklärung

Der Deutsche Corporate Governance Kodex wurde am 16. Dezember 2019 neu gefasst und ist mit Veröffentlichung im Bundesanzeiger am 20. März 2020 zur Grundlage der Entsprechenserklä-rung geworden ("DCGK 2020"). Vorstand und Aufsichtsrat der AIXTRON SE erklären, dass die AIX-TRON SE den Empfehlungen des DCGK 2020 entsprochen hat und ihnen auch künftig entsprechen wird, jeweils mit folgender Ausnahme:

Berücksichtigung des Vorsitzes und des stellvertretenden Vorsitzes im Auf-sichtsrat sowie des Vorsitzes und der Mitgliedschaft in Ausschüssen bei der Aufsichtsratsvergütung (G.17 DCGK 2020)

Nach G.17 DCGK 2020 soll die Vergütung des Aufsichtsrats den Vorsitz und den stellvertretenden Vorsitz im Aufsichtsrat sowie den Vorsitz und die Mitgliedschaft in den Ausschüssen berücksich-tigen. Die von der Hauptversammlung am 16. Mai 2018 beschlossene Aufsichtsratsvergütung be-rücksichtigt neben der Mitgliedschaft im Aufsichtsrat nur den Vorsitz und stellvertretenden Vorsitz im Aufsichtsrat sowie den Vorsitz im Prüfungsausschuss. Eine weitere Berücksichtigung des stell-vertretenden Vorsitzes im Prüfungsausschuss sowie eines Vorsitzes und stellvertretenden Vorsit-zes in den weiteren Ausschüssen wird nicht als sinnvoll angesehen, da der mit diesen Tätigkeiten anfallende Aufwand bereits mit der Aufsichtsratsvergütung angemessen abgegolten ist.

Ferner erklären Vorstand und Aufsichtsrat der AIXTRON SE, dass die AIXTRON SE bis zum 20. März 2020 den Empfehlungen der bis zu diesem Zeitpunkt geltenden Fassung des Deutschen Corporate Governance Kodex vom 7. Februar 2017 ("DCGK 2017") entsprochen hat, mit folgenden Ausnah-men (zusätzlich zu der bereits zuvor beschriebenen Abweichung von der Empfehlung Nr. 5.4.6 Abs. 1 Satz 2 DCGK 2017, welche der Empfehlung G.17 DCGK 2020 entspricht):

Zusammensetzung des Vorstands (4.2.1 Satz 1 DCGK 2017)

Nach Nummer 4.2.1 Satz 1 DCGK 2017 soll der Vorstand aus mehreren Personen bestehen und einen Vorsitzenden oder Sprecher haben. Der Vorstand der AIXTRON SE bestand im abgelaufenen Geschäftsjahr bis zum 30. September 2020 aus zwei Personen und wurde zum 1. Oktober 2020 um eine Person erweitert. Ein Vorsitzender oder Sprecher des Vorstands war für das Jahr 2020 nicht benannt. Im Zuge der Erweiterung des Vorstandes hat der Aufsichtsrat Herrn Dr. Grawert mit Wirkung zum 1. April 2021 zum Vorstandsvorsitzenden ernannt.

Höchstgrenzen für die Vorstandsvergütung (4.2.3 Abs. 2 Satz 6 DCGK)

Nach Nummer 4.2.3 Abs. 2 Satz 6 DCGK 2017 soll die Vergütung der Vorstandsmitglieder insge-samt und hinsichtlich ihrer variablen Vergütungsteile betragsmäßige Höchstgrenzen aufweisen. Die Gesamtvergütung der Vorstandsmitglieder der AIXTRON SE beinhaltet unter dem bisherigen Vergütungssystem, welches im hier relevanten Zeitraum bis zum 20. März 2020 noch galt, sowohl eine fixe Vergütung als auch diverse variable Vergütungsbestandteile. Die variable Vergütung ist danach hinsichtlich des variablen Bonus für den gesamten Vorstand auf maximal 6,5 Mio. Euro begrenzt, wobei bei der Zusage auf Aktien der Zeitpunkt der Zusage maßgeblich ist, also etwaige Wertzuwächse der Aktien nach ihrer Übertragung an das Vorstandsmitglied über die vorgenannte Höchstgrenze hinaus möglich sind.

Im aktuell geltenden Vergütungssystem, welches für nach dem 20. März 2020 abgeschlossene Vorstandsverträge gilt, sind betragsmäßige Höchstgrenzen vorgesehen.

Regelgrenze für die Zugehörigkeitsdauer zum Aufsichtsrat für Aufsichtsrats-mitglieder (5.4.1 Abs. 2 Satz 2 DCGK 2017)

Nach Nummer 5.4.1 Abs. 2 Satz 2 DCGK 2017 soll der Aufsichtsrat für seine Zusammensetzung konkrete Ziele benennen, die unter Beachtung der unternehmensspezifischen Situation u.a. eine festzulegende Regelgrenze für die Zugehörigkeitsdauer zum Aufsichtsrat berücksichtigen soll.

Eine optimale Zugehörigkeitsdauer ist schwierig zu definieren und der Aufsichtsrat hält es für vorteilhaft, die derzeit vorhandene Erfahrung und das Wissen im Gremium zu halten. Dieses um-fasst beispielsweise langjährige Kenntnisse des Unternehmens und der vom Unternehmen ad-ressierten Nischenmärkte sowie umfassende Kenntnisse über kapitalmarkt- und finanzrelevante Themenkomplexe eines global aufgestellten Konzerns. Der Aufsichtsrat hat daher im relevanten Zeitraum keine Regelgrenze für die Zugehörigkeitsdauer zum Aufsichtsrat festgelegt.

Herzogenrath, 22. Februar 2021

AIXTRON SE

Der Vorstand der AIXTRON SE

Dr. Jochen Linck

Dr. Bernd Schulte

Dr. Felix Grawert

Für den Aufsichtsrat der AIXTRON SE

Kim Schindelhauer

Vorsitzender des Aufsichtsrats

Angaben zu Unternehmensführungspraktiken

Compliance Management

Die AIXTRON SE verfügt bereits seit 2006 über einen Ethikkodex, der für die Mitglieder des Vor-stands sowie bestimmte Führungskräfte aus dem Bereich Finanzen gilt. Der Zweck dieses Kodex besteht in der Förderung von aufrichtigem und ethischem Verhalten einschließlich des ethischen Umgangs mit Interessenkonflikten, der vollständigen, fairen, genauen, zeitgerechten und ver-ständlichen Offenlegung von Quartals- und Jahresberichten, der Einhaltung von geltenden Geset-zen, Vorschriften und Regelungen, der gegebenenfalls unverzüglichen internen Berichterstattung von Verletzungen des Ethikkodex und der Verantwortlichkeit für die Einhaltung dieses Kodex. Der vollständige Text des Ethikkodex ist auf der AIXTRON Internetseite im Bereich Investoren / Corpo-rate Governance unter "Ethikkodex" einsehbar.

Darüber hinaus gilt für Vorstand, Aufsichtsrat, Senior Management Team und alle Mitarbeiter unternehmensweit ein Compliance-Verhaltenskodex, der zu einem verantwortungsbewussten und gesetzeskonformen Verhalten anhält. Dieser Kodex beinhaltet unter anderem die folgenden Themenbereiche: Verantwortung und Achtung gegenüber Mensch und Umwelt, Beachtung von rechtlichen Rahmenbedingungen, rechtmäßiges und ethisches Verhalten jedes einzelnen Mitar-beiters, Firmenloyalität, fairer und respektvoller Umgang mit Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern, Ablehnung jeglicher Form von Diskriminierung, verantwortungsbewusster Umgang mit Unter-nehmensrisiken, umweltbewusstes Handeln, Sicherheit in allen Arbeitsbereichen, professionelles Arbeiten, Verlässlichkeit und Fairness in allen Geschäftsbeziehungen, Einhaltung der Richtlinien bezüglich Vorteilsgewährung/ Vorteilsannahme, Umgang mit Insiderinformationen und Umgang mit Firmeneigentum. Der ausführliche Text des Compliance-Verhaltenskodex kann auf der AIX-TRON Internetseite im Bereich Investoren / Corporate Governance unter "Verhaltenskodex" ab-gerufen werden.

Ferner verfügt AIXTRON seit 2010 über ein unternehmensweites, für alle Mitglieder des Vorstands, des Aufsichtsrats sowie des Senior Management Teams maßgebliches Compliance-Handbuch, das auf den Prinzipien des Compliance-Verhaltenskodex gründet. Das Compliance-Handbuch um-fasst detaillierte Ausführungen zur Compliance-Organisation bei AIXTRON, zu gesetzlichen, regu-latorischen und unternehmensinternen Anforderungen sowie zu den Verhaltensanforderungen, die sich daraus für Vorstand, Aufsichtsrat, Mitglieder des Senior Management Teams und Mit-arbeiter ergeben. Das Compliance-Handbuch wird in regelmäßigen Abständen an neue und/oder veränderte gesetzliche, regulatorische und unternehmensinterne Vorgaben angepasst, zuletzt im Januar 2021. Die Vermittlung der Inhalte ist elementarer Bestandteil des unternehmensweiten Compliance-Schulungsangebots. Die Teilnahme an Compliance-Schulungen ist sowohl für die Mit-glieder des Senior Management Teams als auch für alle anderen Mitarbeiter des Unternehmens verpflichtend. Dies wird von unserer Compliance-Abteilung gesteuert und überwacht.

Des Weiteren bestätigen unternehmensweit alle Mitglieder des Senior Management Teams sowie ausgewählte Schlüsselmitarbeiter quartalsweise schriftlich, dass in ihrem Verantwortungsbereich die Compliance-Anforderungen eingehalten wurden. Im Falle einer Aktualisierung des Complian-ce-Handbuchs erklärt dieser Personenkreis außerdem, die aktualisierte Fassung zur Kenntnis zu nehmen, die Inhalte zu befolgen und in ihrem Verantwortungsbereich zu kommunizieren. Darü-ber hinaus wurden für die Führungskräfte des Unternehmens Führungsprinzipien definiert, wel-che Verhaltensanforderungen der Führungskräfte im Umgang mit ihren Mitarbeitern enthalten.

AIXTRON verfügt über ein Whistleblower-System. Mitteilungen über Verstöße gegen gesetzliche, regulatorische und unternehmensinterne Anforderungen können über eine festgelegte E-Mail-Ad-resse oder in Briefform vertraulich an den Vorsitzenden des Aufsichtsrats der AIXTRON SE gerichtet werden. Der Aufsichtsratsvorsitzende entscheidet in Abhängigkeit vom Meldungsgegenstand und -umfang gemeinsam mit der Compliance-Abteilung über die Einbindung weiterer Personen und/ oder Stellen. Bei erwiesenen Verstößen oder Missständen erarbeiten die eingebundenen Per-sonen/Stellen Lösungsvorschläge mit dem Ziel der umgehenden Behebung einschließlich ggfs. notwendiger Sanktionen und Verbesserungen der Management- und Überwachungsprozesse.

Eingehende Hinweise werden von den eingebundenen Personen/Stellen diskret, vertraulich und anonym behandelt. AIXTRON wird keinerlei Repressalien gegen Mitarbeiter anwenden, die auf Verstöße hinweisen.

Darüber hinaus hat AIXTRON einen Verhaltenskodex für Lieferanten etabliert, der ethische und rechtliche Standards im Zusammenhang mit dem Einkauf sowie der Verwendung so genannter Konfliktmineralien (Gold, Tantal, Wolfram, Zinn) innerhalb der AIXTRON-Lieferkette definiert. Die wesentlichen Inhalte dieses Kodex umfassen Informationen zu den US-amerikanischen Rege-lungen über die Verwendung von Konfliktmineralien, die Erwartungen an Lieferanten und die Konsequenzen bei Nicht-Beachtung.

Der vollständige Text des Verhaltenskodex für Lieferanten kann auf der AIXTRON-Internetseite unter dem Menüpunkt Unternehmen/Lieferanten im Bereich Compliance bzw. Lieferantenma-nagement abgerufen werden.

Arbeitsweise von Vorstand und Aufsichtsrat sowie Zusammen-setzung und Arbeitsweise der Ausschüsse

Die AIXTRON SE ist eine Europäische Aktiengesellschaft (Societas Europaea) und unterliegt neben dem deutschen Aktienrecht den vorrangig anzuwendenden europäischen SE-Regelungen und dem deutschen SE-Ausführungsgesetz. Die Gesellschaft verfügt über eine dualistische Führungs-und Kontrollstruktur, bestehend aus Vorstand und Aufsichtsrat.

Der Vorstand führt die Geschäfte der Gesellschaft in eigener Verantwortung und informiert den Aufsichtsrat regelmäßig, zeitnah und umfassend über alle für das Unternehmen relevanten Fra-gen der Strategie, der Planung, der Geschäftsentwicklung, der Risikolage, des Risikomanage-ments und der Compliance.

Der Aufsichtsrat bestellt die Vorstandsmitglieder und überwacht und berät den Vorstand bei der Geschäftsführung. Der Vorstand bedarf zur Ausführung bestimmter Geschäfte und Maßnahmen, die in der Satzung der AIXTRON SE oder der Geschäftsordnung für den Vorstand festgelegt sind, der vorherigen Zustimmung des Aufsichtsrats. Über Abschluss, Änderung und Beendigung von wichtigen Verträgen, die nicht gemäß der Satzung oder der Geschäftsordnung für den Vorstand zustimmungspflichtig sind, ist dem Aufsichtsrat zu berichten. Der Vorstand ist darüber hinaus verpflichtet, den Aufsichtsrat über alle wesentlichen Ereignisse, auch über jene, die nicht die Zu-stimmung des Aufsichtsrats erfordern, zu informieren.

Wie in den Vorjahren arbeiteten Vorstand und Aufsichtsrat auch im Jahr 2020 im Interesse des Unternehmens eng zusammen. Gemeinsames Ziel ist es, führende Marktpositionen von AIXTRON langfristig zu sichern, um von wachsenden Endmärkten nachhaltig profitieren zu können.

Der Vorstand der AIXTRON SE hat keine Ausschüsse eingerichtet.

Der Aufsichtsrat der AIXTRON SE hat vier Ausschüsse gebildet, einen Prüfungsausschuss, einen Nominierungsausschuss, einen Kapitalmarktausschuss und einen Vergütungsausschuss. Der Auf-sichtsrat ist befugt, aus seiner Mitte auch weitere Ausschüsse einzurichten.

Der Prüfungsausschuss besteht aus einer Vorsitzenden und zwei weiteren Mitgliedern. Die Prü-fungsausschussvorsitzende, Prof. Dr. Anna Gersbacher, verfügt als unabhängiges Mitglied über Sachverstand auf den Gebieten Rechnungslegung und Abschlussprüfung (§ 107 Abs. 4, § 100 Abs. 5 AktG) sowie über besondere Kenntnisse und Erfahrungen in der Anwendung interner Kon-trollverfahren. Die Mitglieder sind auch in ihrer Gesamtheit mit dem Sektor, in dem AIXTRON vertreten ist, vertraut, was sich zum Teil bereits aus ihrer langjährigen Erfahrung ergibt. Der Prü-fungsausschuss befasst sich insbesondere mit der Überwachung der Rechnungslegung, des Rech-nungslegungsprozesses, der Corporate Governance & Compliance, der Wirksamkeit des internen Kontrollsystems, des Risikomanagementsystems, des internen Revisionssystems sowie der Ab-schlussprüfung. Weiterhin legt der Prüfungsausschuss dem Aufsichtsratsplenum eine begründete Empfehlung für die Wahl des Abschlussprüfers vor. Er überwacht die erforderliche Unabhängigkeit des Abschlussprüfers und die vom Abschlussprüfer zusätzlich erbrachten Leistungen. Schließlich befasst er sich mit der Erteilung des Prüfungsauftrags an den Abschlussprüfer, der Bestimmung von Prüfungsschwerpunkten sowie der Honorarvereinbarung.

Die Ausschussvorsitzende, Prof. Dr. Anna Gersbacher, berichtet dem Aufsichtsrat regelmäßig über die Arbeit des Prüfungsausschusses.

Der Nominierungsausschuss, der aus drei Mitgliedern des Aufsichtsrats besteht, macht im Fal-le der Neubesetzung von Organmitgliedern Wahlvorschläge an den Gesamtaufsichtsrat und be-spricht Themen der Nachbesetzung von Positionen im Aufsichtsrat.

Zum Zwecke der Evaluierung, Unterstützung und Durchführung von Projekten mit Kapitalmarktre-levanz existiert seit 2014 ein Kapitalmarktausschuss, der aus zwei Mitgliedern besteht, dem Auf-sichtsratsvorsitzenden und einem weiteren aus dem Kreise des Aufsichtsrats gewählten Mitglied.

Zudem wurde ein Vergütungsausschuss eingerichtet, bestehend aus dem Vorsitzenden Kim Schin-delhauer und zwei weiteren Mitgliedern des Aufsichtsrats, welcher sich mit der Anwendung des neuen Vergütungssystems in Entsprechung des überarbeiteten DCGK befasst.

Weitere Ausführungen zur Arbeitsweise von Vorstand, Aufsichtsrat und Ausschüssen während des Geschäftsjahres 2020 finden sich im Bericht des Aufsichtsrats, welcher Teil des Geschäftsberichts ist und von der AIXTRON-Internetseite heruntergeladen werden kann. Die vollständigen Angaben zur Besetzung der Ausschüsse können dem Abschnitt "Aufsichtsrat und dessen Besetzung" ent-nommen werden.

Vorstand und dessen Besetzung

Nach § 8 der Satzung der AIXTRON SE besteht der Vorstand aus zwei oder mehr Personen. Die genaue Zahl der Vorstandsmitglieder bestimmt der Aufsichtsrat. Er entscheidet auch, ob es einen Vorsitzenden geben soll, ob stellvertretende Mitglieder oder ein stellvertretender Vorsitzender bestellt werden sollen.

Der Vorstand der AIXTRON SE besteht zum Zeitpunkt der Berichterstattung aus drei Personen, die als gleichberechtigte Vorstandsmitglieder die Geschäfte gemeinsam führen:

Vorstand

(zum 31. Dezember 2020)

Erstmalige

Name	Funktion	Bestellung	Bestellt bis
Dr. Felix Grawert	Vorstandsmitglied	14.08.2017	13.08.2025
Dr. Bernd Schulte	Vorstandsmitglied	01.04.2002	31.03.2021
Dr. Jochen Linck	Vorstandsmitglied	01.10.2020	30.09.2023

Die Bestellung des Vorstandsmitglieds Dr. Bernd Schulte endet regulär mit Ablauf des 31. März 2021. Dr. Bernd Schulte steht auf eigenen Wunsch für eine weitere Bestellung nicht mehr zur Ver-fügung. Am 21. Dezember 2020 hat der Aufsichtsrat Herrn Dr. Christian Danninger zum 1. Juli 2021 oder früher als neues Mitglied des Vorstands in der Funktion des Chief Financial Officers (CFO) bestellt. Die Beststellung erfolgte für drei Jahre.

Des Weiteren hat der Aufsichtsrat das Vorstandsmitglied Dr. Felix Grawert zum 1. April 2021 zum Vorstandsvorsitzenden ernannt.

Unbeschadet der gesetzlichen Gesamtverantwortlichkeit des Vorstands und der Verpflichtung sei-ner Vorstandsmitglieder zur engen, vertrauensvollen Zusammenarbeit mit dem Kollegium, sind die Zuständigkeiten der einzelnen Vorstandsmitglieder gemäß aktuell gültigem Geschäftsver-teilungsplan vom 1.10.2020 wie folgt geregelt:

Das Vorstandsmitglied Dr. Grawert verantwortet im AIXTRON-Konzern die Bereiche Strategische Planung, Marketing, Vertrieb, Kundendienst, Personalwesen, Finanzen und Berichtswesen.

Das Vorstandsmitglied Dr. Schulte hat im Konzern die Verantwortung für die Bereiche Forschung und Entwicklung, Investor Relations & Kommunikation, Corporate Governance, Umwelt, Soziales und Unternehmensführung, Compliance & Risikomanagement, Recht, und bis zum 30. September 2020 Informationstechnologie, Beschaffung, Qualitätsmanagement, Fertigung, Logistik und Faci-lity Management. Nach Ausscheiden von Herrn Dr. Schulte werden die nicht von Herrn Dr. Linck verantworteten Bereiche zunächst von Herrn Dr. Grawert übernommen.

Das Vorstandsmitglied Dr. Linck hat im Konzern seit dem 1. Oktober 2020 die Verantwortung für die Bereiche Beschaffung, Produktkostenmanagement, Fertigung und Logistik, Qualitätsmanage-ment, IT, Facility Management und - seit dem 1. Februar 2021 auch für Forschung und Entwicklung.

Der Vorstand hat sich mit Zustimmung des Aufsichtsrats eine Geschäftsordnung gegeben, die regelmäßig auf ihre Angemessenheit und Aktualität hin überprüft wird. Sie enthält unter an-derem eine Aufzählung von Angelegenheiten mit grundsätzlicher oder erheblicher Bedeutung, über die der Vorstand formal zu beschließen hat. Dies betrifft beispielsweise Entscheidungen über: Strategien, Unternehmenspläne und Budgets der Gesellschaft; wesentliche Änderungen der Unternehmens- und Konzernorganisation; Aufnahme oder Aufgabe von Tätigkeitsgebieten der Gesellschaft; Erwerb und Veräußerung von Grundstücken oder Grundstücksrechten; Abschluss, Änderung und Beendigung von Unternehmens- oder bedeutenden Lizenzverträgen; Vergabe von größeren externen Beratungs- und Forschungsaufträgen; grundsätzliche Fragen aus dem Perso-nalbereich und der Personalpolitik; Festlegung der Grundsätze für die Vertretung in Wirtschafts-organisationen und Verbänden; Besetzung der Geschäftsführung und der Aufsichtsorgane von Tochter- und Beteiligungsgesellschaften; wichtige Publikationen und Informationen an die Öf-fentlichkeit außerhalb der Regelpublizität; Einleitung von Prozessen und Rechtsstreitigkeiten; Ge-währung von Sicherheiten und Übernahme von Bürgschaften.

Die Geschäftsordnung für den Vorstand und die Satzung beinhalten jeweils einen Katalog von we-sentlichen Geschäften und Maßnahmen, die zusätzlich der vorherigen Zustimmung des Aufsichts-rats bedürfen. Zu den nach Satzung oder Geschäftsordnung zustimmungspflichtigen Geschäften und Maßnahmen gehören beispielsweise Entscheidungen über die Errichtung bzw. Veräußerung von Betriebsstätten, den Erwerb oder die Veräußerung von Grundstücken, die Aufnahme bzw. Aufgabe von Tätigkeitsgebieten oder die Gewährung bzw. Aufnahme von Krediten.

Sitzungen des Vorstands finden gemäß Geschäftsordnung mindestens zweimal im Monat statt und wenn es das Wohl des Unternehmens erfordert. Vorstandssitzungen werden durch den Vor-stand einberufen und geleitet. Jedes Vorstandsmitglied kann jederzeit eine zusätzliche Sitzung zu einem speziellen Thema veranlassen. Der Vorstand ist beschlussfähig, wenn alle Mitglieder ein-geladen und mehr als die Hälfte seiner Mitglieder bei der Beschlussfassung anwesend sind, wo-bei durch Telefon- oder Videokonferenz zugeschaltete Vorstandsmitglieder als anwesend gelten. Der Vorstand entscheidet, soweit nicht das Gesetz, die Satzung oder die Geschäftsordnung etwas anderes bestimmen, mit einfacher Mehrheit der abgegebenen Stimmen. Bei einem Vorstandbestehend aus zwei Vorstandsmitgliedern war im Falle von Stimmengleichheit der Aufsichtsrats-vorsitzende anzuhören und um Vermittlung zu ersuchen.

Jedes Mitglied des Vorstands wird gegenüber dem Aufsichtsrat Interessenkonflikte unverzüglich offenlegen und die anderen Mitglieder des Vorstands hierüber informieren. Vorstandsmitglieder dürfen Nebentätigkeiten, insbesondere Aufsichtsratsmandate außerhalb des Unternehmens, nur mit Zustimmung des Aufsichtsrats übernehmen.

Langfristige Nachfolgeplanung für den Vorstand und Altersgrenze für den Vorstand

AIXTRON ist ein global agierendes, in einem sehr dynamischen und technologisch anspruchs-vollen Marktumfeld aktives Unternehmen. Darum ist es für AIXTRON von strategischer Bedeu-tung, über einen kompetenten Vorstand zu verfügen und diesen mit entsprechend geeigneten Kandidaten zu besetzen. Nach dem vollständig erfolgten Generationswechsel im Vorstand wird der Aufsichtsrat zudem eine langfristige Nachfolgeplanung verfolgen. Im Rahmen der Nachfolge-planung werden sich Aufsichtsrat und Vorstand auch über geeignete interne Kandidatinnen und Kandidaten für eine Besetzung des Vorstands austauschen. Die Altersgrenze für den Vorstand liegt bei 65 Jahren und ist in der Geschäftsordnung des Vorstands festgeschrieben.

Aufsichtsrat und dessen Besetzung

Gemäß § 11 der Satzung der AIXTRON SE besteht der Aufsichtsrat aus fünf Mitgliedern. Die Amts-periode der Aufsichtsratsmitglieder läuft in der Regel bis zur Beendigung der Hauptversammlung, die über die Entlastung für das vierte Geschäftsjahr nach dem Beginn der Amtszeit beschließt, wobei das Geschäftsjahr, in dem die Bestellung erfolgt, nicht mitgerechnet wird.

Der Aufsichtsrat wählt aus seiner Mitte einen Vorsitzenden und einen Stellvertreter. Der Auf-sichtsratsvorsitzende, im Fall seiner Verhinderung sein Stellvertreter, beruft die Sitzungen des Aufsichtsrats ein und leitet sie.

Der Aufsichtsrat hat sich eine Geschäftsordnung gegeben. Sie regelt die Aufgaben, Rechte und Pflichten des Aufsichtsrats, die Organisation von Sitzungen und Beschlüssen sowie die Bildung von Ausschüssen. Die Geschäftsordnung des Aufsichtsrats wurde zuletzt im Geschäftsjahr 2020 überarbeitet. 2019 erfolgte eine Anpassung der Formulierung der zustimmungsbedürftigen Ge-schäfte in der Geschäftsordnung an den Wortlaut der Satzung. Der Prüfungsausschuss verfügt über eine durch den Aufsichtsrat festgelegte separate Geschäftsordnung.

Der Aufsichtsratsvorsitzende ist grundsätzlich bereit, mit Investoren über aufsichtsratsspezifische Themen Gespräche zu führen, allerdings nur insoweit diese in angemessenem Rahmen stattfin-den und die Themen in die alleinige Kompetenz des Aufsichtsrats fallen.

Um personelle Veränderungen im Aufsichtsrat schrittweise zu ermöglichen, wurden bei der Neu-wahl des Aufsichtsrats auf der Hauptversammlung im Mai 2016 die Wahlperioden nicht mehr ein-heitlich für das gesamte Gremium, sondern mit verschiedenen Laufzeiten festgelegt. Die Amtszeit der Aufsichtsratsmitglieder endet jeweils mit dem Ablauf der ordentlichen Hauptversammlung, bis zu deren Ende die jeweiligen Personen gewählt wurden.

Die satzungsmäßige und von der Hauptversammlung bestimmte Zusammensetzung des Auf-sichtsrats stellt sich derzeit wie folgt dar:

Besetzung des Aufsichtsrats

(zum 31. Dezember 2020)

Name

Funktion

Kim Schindelhauer1)2)3)4)5)

Vorsitzender des Aufsichtsrats

Mitglied seit 2002

Bestellt bis HV 2022

Prof. Dr. Anna Gersbacher1)

Vorsitzende des Prüfungsausschusses, unabhängige Finanzexpertin

2019

HV 2024

Prof. Dr. Andreas Biagosch1)4)

Prof. Dr. Petra Denk2)3)

2013 2011

HV 2021

HV 2021

Frits van Hout2)3)

Stv. Vorsitzender des Aufsichtsrats

2019

HV 2024

• 1) Mitglied des Prüfungsausschusses

• 2) Mitglied des Vergütungsausschusses

• 3) Mitglied des Nominierungsausschusses

• 4) Mitglied des Kapitalmarktausschusses

• 5) Ehemaliges AIXTRON-Vorstandsmitglied

Besetzung der Ausschüsse

Prüfungsausschuss

NominierungsauschussKapitalmarktausschussVergütungsausschuss

Prof. Dr. Anna Gersbacher (Vorsitzende)

Frits van Hout

Kim Schindelhauer

Kim Schindelhauer (Vorsitzender)

Kim Schindelhauer

Prof. Dr. Andreas Biagosch

Prof. Dr. Petra Denk Kim Schindelhauer

Prof. Dr. Andreas BiagoschProf. Dr. Petra Denk Frits van Hout

Sowohl Frau Prof. Dr. Denk als auch Herr Prof. Dr. Biagosch stellen sich auf der Hauptversammlung 2021 zur Wiederwahl in den Aufsichtsrat.

Unabhängigkeit der Aufsichtsratsmitglieder

Dem Aufsichtsrat soll eine nach seiner Einschätzung ausreichende Anzahl unabhängiger Mitglie-der angehören. Ein Aufsichtsratsmitglied ist als unabhängig anzusehen, wenn es unabhängig von der Gesellschaft und deren Vorstand und unabhängig von einem kontrollierenden Aktionär ist (Empfehlung C.6 Abs. 2 DCGK 2020). Gemäß Empfehlung C.7 Abs. 1 Satz 2 DCGK 2020 ist ein Auf-sichtsratsmitglied als unabhängig anzusehen, wenn es in keiner persönlichen oder geschäftlichen Beziehung zur Gesellschaft oder dem Vorstand steht, die einen wesentlichen und nicht nur vorü-bergehenden Interessenkonflikt begründen kann. Der Aufsichtsrat hat sich zum Ziel gesetzt, dass zumindest die Hälfte seiner Mitglieder unabhängig zu sein hat. Da sämtliche Mitglieder des Auf-sichtsrats, der ausschließlich aus gewählten Vertretern der Anteilseigner besteht, als unabhängig anzusehen sind, wird auch dieser Zielvorgabe entsprochen. Auf eine gesonderte namentliche Nennung der unabhängigen Aufsichtsratsmitglieder wird hier verzichtet, da die Liste das gesamte Aufsichtsratsgremium umfassen würde (siehe Tabelle der Aufsichtsratsmitglieder).

Dem Aufsichtsrat gehört mit Herrn Schindelhauer ein ehemaliges Vorstandsmitglied an, dessen Amtszeit als Mitglied des Vorstands allerdings mehr als zwei Jahre zurückliegt (vgl. auch C.7 DCGK 2020). Insbesondere gehören dem Aufsichtsrat damit nicht mehr als zwei ehemalige Mitglieder des Vorstands an (Empfehlung C.11 DCGK 2020).

Im Vorfeld der Aufsichtsratssitzung vom 11. Dezember 2020 haben die Aufsichtsratsmitglieder den vom Aufsichtsratsvorsitzenden jährlich vorbereiteten Fragebogen zur Selbstbeurteilung erhalten. Nach Auswertung des Fragebogens wurde festgestellt, dass der Aufsichtsrat seine Tätigkeit ge-mäß Empfehlung D.13 DCGK 2020 effizient ausübt.

Weitere Mandate der Vorstands- und der Aufsichtsratsmitglieder sind im Anhang des Konzernab-schlusses unter Ziffer 34. "Aufsichtsrat und Vorstand" aufgeführt.

Die Gesellschaft hat im Geschäftsjahr 2020 mit keiner nahestehenden Person wesentliche Ge-schäfte abgeschlossen oder durchgeführt.

Den Vorsitz des Prüfungsausschusses hat ein unabhängiges und sachkundiges Mitglied des Auf-sichtsrats gemäß Empfehlung D.4 DCGK 2020 inne. Es handelt sich dabei nicht um den Aufsichts-ratsvorsitzenden.

Der Aufsichtsrat hält, ebenso wie der Prüfungsausschuss, regelmäßig vier ordentliche Sitzungen im Kalenderjahr ab. Außerordentliche Aufsichtsratssitzungen sowie Sitzungen des Nominierungs-und des Kapitalmarktausschusses werden nach Bedarf einberufen.

Der Vorstand berichtet schriftlich und mündlich zu den einzelnen Tagesordnungspunkten und Beschlussvorlagen der Aufsichtsratssitzungen und beantwortet die Fragen der einzelnen Auf-sichtsratsmitglieder. Zwischen den Sitzungen erhalten alle Aufsichtsratsmitglieder vom Vorstand detaillierte Quartalsberichte zur Lage der Gesellschaft. Darüber hinaus lassen sich der Aufsichts-ratsvorsitzende bzw. die Vorsitzende des Prüfungsausschusses in Telefonaten und persönlichen Gesprächen vom Vorstand über wichtige Entwicklungen und anstehende wichtige Entscheidun-gen informieren.

Beschlüsse des Aufsichtsrats und seiner Ausschüsse werden in der Regel in den Sitzungen ge-fasst. In begründeten Ausnahmefällen können Aufsichtsratsmitglieder auch per Telefon- oder Videokonferenz an einer Sitzung des Aufsichtsrats oder eines Ausschusses teilnehmen. Der Auf-sichtsrat und seine Ausschüsse sind jeweils beschlussfähig, wenn zwei Drittel seiner Mitglieder an der Beschlussfassung teilnehmen (außerhalb von Sitzungen im Wege einer schriftlichen, per Telefax, telefonisch oder per E-Mail durchgeführten Abstimmung oder durch eine Kombination dieser vorgenannten Kommunikationsmedien, sofern kein Aufsichtsratsmitglied diesem Verfah-ren widerspricht). Beschlüsse bedürfen der einfachen Mehrheit der abgegebenen Stimmen. BeiStimmengleichheit gibt die Stimme des Sitzungsvorsitzenden den Ausschlag.

Jedes Aufsichtsratsmitglied legt Interessenkonflikte, insbesondere solche, die auf Grund einer Beratung oder Organfunktion bei Kunden, Lieferanten, Kreditgebern oder sonstigen Dritten ent-stehen können, dem Aufsichtsrat gegenüber offen. Wesentliche und nicht nur vorübergehende Interessenkonflikte in der Person eines Aufsichtsratsmitglieds führen dazu, dass diese Person ihr Mandat niederzulegen hat.

Selbstbeurteilung des Aufsichtsrats

Im Geschäftsjahr 2020 hat der Aufsichtsrat auf Basis eines Fragenkataloges unter Beachtung AIX-TRON-spezifischer Themen eine interne Selbstbeurteilung durchgeführt. Die Ergebnisse wurden im Gremium erörtert und bestätigten eine von einem hohen Maß an Vertrauen und Offenheit geprägte Zusammenarbeit sowohl innerhalb des Aufsichtsrats als auch mit dem Vorstand in stets professioneller und konstruktiver Weise. Auch wurden eine angemessene Informationsversor-gung und die Effizienz der Arbeit des Aufsichtsrats und seiner Ausschüsse konstatiert. Daher hat sich kein grundlegender Veränderungsbedarf ergeben.

Angaben zur gleichberechtigten Teilhabe von Männern und Frauen gemäß § 76 Absatz 4 und § 111 Absatz 5 AktG

Gemäß §§ 76 Abs. 4, 111 Abs. 5 AktG müssen Aufsichtsrat und Vorstand von Gesellschaften, die börsennotiert sind oder der Mitbestimmung unterliegen, Zielgrößen für den Frauenanteil in Auf-sichtsrat, Vorstand und den beiden Führungsebenen unterhalb des Vorstands festlegen. Der DCGK spiegelt diese Regelungen in Grundsatz 9 Satz 2 DCGK 2020 für den Vorstand und in der Empfeh-lung C.1 Satz 2 DCGK 2020 für den Aufsichtsrat wider.

AIXTRON strebt an, sowohl den Frauenanteil als auch die Internationalität der Mitarbeiter und Führungskräfte zu steigern. Dabei ist das Unternehmen in erster Linie der fachlichen und sozialen Qualifikation aller Mitarbeiter verpflichtet. Insbesondere aufgrund des weiterhin geringen Frau-enanteils in technischen Studiengängen ist die Verfügbarkeit qualifizierter Bewerberinnen stark eingeschränkt.

Der Aufsichtsrat der AIXTRON SE hatte jeweils folgende Zielgrößen für den Frauenanteil zur Erreichung bis zum 31. Dezember 2021 festgelegt:

Zielgröße

Frauenanteil zum

Ebene	zum 31.12.2021	31.12.2020	Festgelegt durch
Aufsichtsrat	16,7%	40%	Aufsichtsrat
Vorstand	0%	0%	Aufsichtsrat

Seit der erstmaligen Festlegung der Zielgrößen zur Erreichung bis zum 31.12.2021 ist der Aufsichts-rat der AIXTRON SE von sechs auf fünf Mitglieder verkleinert worden. Dem fünfköpfigen Aufsichts-rat gehören zwei Frauen an, womit sich der Anteil der weiblichen Aufsichtsräte auf 40% belief.

Der Vorstand der AIXTRON SE hat es sich zum Ziel gesetzt, Frauen im Unternehmen gezielt zu fördern. Dieser Vorgabe entsprechend hat der Vorstand die Zielgrößen für den Frauenanteil nun auf 10% für die erste Ebene unter dem Vorstand und auf 20% für die zweite Ebene unter dem Vorstand angehoben. Diese Ziele sollen bis zum 31. Dezember 2025 erreicht werden.

Ebene

Neue Zielgröße zum 31.12.2025

Bisherige Zielgröße zum 31.12.2021

Frauenanteil zum 31.12.2020

Festgelegt durch

• 1. Führungsebene

• 2. Führungsebene

10% 20%

3% 17%

4% 17%Vorstand Vorstand

Die Zielgröße für den Vorstand entsprach zum Zeitpunkt der Beschlussfassung dem aktuellen Stand. Der Frauenanteil auf der ersten Ebene unterhalb des Vorstands lag zum 31. Dezember 2020 bei 4% (Geltende Zielgröße zum 31.12.2020: 3%) und auf der zweiten Ebene unterhalb des Vor-stands bei 17% (Geltende Zielgröße zum 31.12.2020: 13%).

Die Gesellschaft hat die gesetzten Zielgrößen somit erreicht.

Diversitätskonzept für Vorstand und Aufsichtsrat; Ziele für die Zusammensetzung des Aufsichtsrats und Stand der Umsetzung

Vorstand

Wie vom DCGK 2020 vorgesehen hat sich AIXTRON mit Zielen im Hinblick auf eine angemessene Vielfalt ("Diversity") in der Unternehmensführung (Empfehlung B. 1 und Empfehlung C. 1) befasst.

Bei Vorschlägen für die Bestellung von Mitgliedern des Vorstands durch den Nominierungsaus-schuss, achtet der Aufsichtsrat auf deren persönliche und fachliche Eignung, internationale Erfah-rung und Führungsqualität, die für die Mitglieder des Vorstands festgelegte Altersgrenze und auf Vielfalt (Diversity) auch in Bezug auf Aspekte wie Alter, Geschlecht sowie Bildungs- und Berufs-hintergrund. Der Vorstand sollte aus Mitgliedern bestehen, die unterschiedliche, sich gegenseitigergänzende Kompetenzprofile als auch eine hinreichende Altersmischung aufweisen und über unterschiedliche Persönlichkeiten verfügen.

Neben den genannten Eigenschaften, sollten Mitglieder des Vorstands jeweils einzeln und in ihrer Gesamtheit als Team möglichst über unterschiedliche Kenntnisse und Erfahrungen sowie Ausbildungs- und Berufshintergründe verfügen. Auslandserfahrung ist vor dem Hintergrund der internationalen Ausrichtung des Unternehmens von Vorteil.

Bei der Suche nach geeigneten Kandidaten zur Besetzung offener Posten im Vorstand hat der Aufsichtsrat das Diversitätskonzept berücksichtigt und im Rahmen dessen auch insbesondere weibliche Kandidatinnen in Betracht gezogen. Der Aufsichtsrat hat die Herren Dr. Linck und Dr. Danninger jeweils in Abwägung des Unternehmensinteresses als Mitglieder des Vorstands be-stellt. Aufgrund der nun vorliegenden Struktur sind keine Änderungen in der Zusammensetzung geplant, so dass die bis zum 31. Dezember 2021 geltende Zielvorgabe für den Anteil von Frauen im Vorstand konsequenterweise auf 0% Prozent festgelegt wurde.

Aufsichtsrat

Der Aufsichtsrat hat die Zielgröße für den Frauenanteil im Aufsichtsrat auf 16,7% und die Frist zur Erreichung dieses Ziels auf den 31.12.2021 festgelegt. Mit Prof. Dr. Petra Denk und Prof. Dr. Anna Gersbacher sind derzeit zwei von fünf Mitgliedern des Aufsichtsrats Frauen (40%).

Die Zielvorgaben für die Zusammensetzung des Aufsichtsrats sind nachfolgend ausführlich dargestellt:

• • Bei Vorschlägen zur Wahl von Aufsichtsratsmitgliedern achtet der Nominierungsausschuss darauf, dass dem Aufsichtsrat jederzeit Mitglieder angehören, die jeweils einzeln und in ihrer Gesamtheit als Team über die zur ordnungsgemäßen Wahrnehmung der Aufgaben erforderlichen Kenntnisse, Fähigkeiten und fachlichen Erfahrungen verfügen. Darüber hinaus sollten die Mitglieder unabhängig sein. Damit trägt der Nominierungsausschuss zu einer Steigerung der Effizienz und Erhöhung der Transparenz des Auswahlverfahrens bei. Die Aufsichtsräte sollen in der Regel für die längste satzungsgemäß zulässige Zeit gewählt werden.

• • AIXTRON ist stark exportorientiert. Erfahrungen in den AIXTRON-spezifischen globalen Elektronik- und Halbleitermärkten sind daher von großem Vorteil.

• • In der Regel sollte für Aufsichtsräte eine Altersgrenze von 70 Jahren bei ihrem Ausscheiden angemessen sein. Neue Aufsichtsräte sollten dem Unternehmen für mindestens zwei Wahlperioden zur Verfügung stehen.

• • Es ist anzustreben, dass die einzelnen Aufsichtsräte möglichst unterschiedliche Ausbildung, Qualifikation, Sachkenntnis und Auslandserfahrung haben, um insgesamt über die zur ordnungsgemäßen Wahrnehmung der Aufgaben erforderlichen Kenntnisse, Fähigkeiten und fachliche Erfahrung zu verfügen. Eine firmen- und produktorientierte Abdeckung

mit Verständnis des Geschäftsmodells, der branchenspezifischen Besonderheiten und der Abläufe in den verschiedenen Unternehmensbereichen Betriebswirtschaft, Rechnungslegung, Abschlussprüfung, Unternehmensentwicklung, Kapitalmarkt, Technologie, Sondermaschinenfertigung, Märkte/Vertrieb, Halbleitermarkt etc. sind vorteilhaft.

• • Es entspricht dem Wohl des Unternehmens, das Potenzial von gut ausgebildeten und motivierten Mitarbeitern unterschiedlicher Nationalitäten und Geschlechter zu nutzen. Der Aufsichtsrat hält eine angemessene Beteiligung von Frauen im Aufsichtsrat für sehr wichtig, was sich in dem aktuellen Anteil von Frauen im Aufsichtsrat von 40% widerspiegelt.

• • Dem Aufsichtsrat soll eine nach seiner Einschätzung ausreichende Anzahl unabhängiger Mitglieder angehören, wobei ein Aufsichtsratsmitglied insbesondere dann nicht als unabhängig anzusehen ist, wenn es in einer geschäftlichen oder persönlichen Beziehung zur Gesellschaft, deren Organen, einem kontrollierenden Aktionär oder einem mit diesem verbundenen Unternehmen steht, die einen wesentlichen und nicht nur vorübergehenden Interessenkonflikt begründen kann.

• • Der Aufsichtsrat soll mindestens zur Hälfte mit unabhängigen Mitgliedern besetzt sein.

• • Dem Aufsichtsrat sollen nicht mehr als zwei ehemalige Mitglieder des Vorstands angehören.

• • Die Aufsichtsratsmitglieder sollen keine Organfunktion oder Beratungsaufgaben bei wesentlichen Wettbewerbern des Unternehmens ausüben.

• • Der Aufsichtsrat muss zwingend über mindestens ein gemäß den Empfehlungen des DCGK 2020 unabhängiges Mitglied mit Sachverstand auf dem Gebiet Rechnungslegung, interne Kontrollverfahren und Abschlussprüfung verfügen. Dieses Aufsichtsratsmitglied gehört dann auch dem Prüfungsausschuss an.

• • Aufgrund der gestiegenen Anforderungen an die Professionalisierung der Aufsichtsräte und um gleichzeitig größtmögliche Effizienz der Aufsichtsratstätigkeit wie in den Vorjahren zu gewährleisten, sollten neue Aufsichtsräte nicht mehr als fünf Mandate in anderen börsennotierten Unternehmen oder anderen Unternehmen, wenn diese vergleichbare Anforderungen aufweisen, innehaben.

Zusätzlich zu den Zielen für seine Zusammensetzung hat der Aufsichtsrat auch ein Kompetenzpro-fil für das Gesamtgremium erarbeitet. In Anbetracht der Geschäftstätigkeit von AIXTRON und der vom Unternehmen adressierten Märkte soll der Aufsichtsrat über Kompetenzen in den Bereichen Technologie, Finanzen/Rechnungslegung, Kapitalmarkt sowie Strategie und Unternehmensfüh-rung verfügen. Daneben sind ein gewachsenes Beziehungsnetzwerk und langjährige Erfahrung in den jeweiligen Disziplinen von Vorteil.

Der Forderung nach Vielfalt ("Diversity") innerhalb des Aufsichtsrats (Empfehlung C.1 Satz 2 DCGK 2020) wird u.a. aufgrund der vielseitigen Kompetenzen der einzelnen Aufsichtsratsmitglieder (im Hinblick auf Bereiche wie Finanzen, Kapitalmarkt, M&A sowie Technologie und Märkte) Rechnung getragen.

Vorstand und Aufsichtsrat der AIXTRON SE sind davon überzeugt, dass der Aufsichtsrat in seiner Zusammensetzung sowohl die eigene Zielsetzung nebst Kompetenzprofil als auch die Forderung des DCGK nach angemessener Vielfalt ("Diversity") und einer angemessenen Anzahl unabhängi-ger Aufsichtsratsmitglieder vollständig erfüllt.

Angaben zur Vergütung von Vorstand und Aufsichtsrat und zum Vergütungs-system des Vorstands

Genaue Angaben zur Vergütungsstruktur und Vergütung der einzelnen Vorstandsmitglieder ge-mäß Grundsatz 25 DCGK 2020 und zur Vergütung der Aufsichtsratsmitglieder sowie eine genaue Auflistung der ausstehenden Vorstandsoptionen finden sich im Vergütungsbericht als Teil des Konzernlageberichts der Gesellschaft.

Das von der Hauptversammlung 2020 gebilligte, neue Vergütungssystem ge-mäß § 87a Abs. 1 und 2 Satz 1 AktG ist auf der Internetseite der Gesellschaft unterhttps://www.aixtron.com/de/investoren/corporate-governance/vorstandsvergütungssystem öf-fentlich zugänglich gemacht. Ein nach § 162 AktG erstatteter Vergütungsbericht über das letzte Geschäftsjahr nebst eines Vermerks des Abschlussprüfers gemäß § 162 AktG sowie ein Vergü-tungsbeschluss Hauptversammlung gemäß § 113 Abs. 3 AktG liegen im Einklang mit den Über-gangsvorschriften nach § 26j Abs. 1 und 2 EGAktG derzeit noch nicht vor. Die Vergütung der Vorstandsmitglieder ist gemäß §§ 289a Abs. 2, 285 Nr. 9 HGB in der gemäß Art. 83 Abs. 1 EGHGB anwendbaren Fassung im Vergütungsbericht nach den Bestimmungen des Handelsgesetzbuches als Teil des Konzernlageberichts beschrieben.

Aktionäre und Hauptversammlung

Im Geschäftsjahr 2020 fand die ordentliche Hauptversammlung am 20. Mai 2020 aufgrund der COVID-19-Pandemie und der damit verbundenen Kontaktbeschränkungen erstmals in rein vir-tueller Form statt. Die Einladung zur Hauptversammlung wurde gemäß den gesetzlichen Anfor-derungen fristgerecht im Bundesanzeiger bekannt gemacht und enthielt u.a. die Tagesordnung mit den Beschlussvorschlägen der Verwaltung bzw. des Aufsichtsrats sowie die Bedingungen für die Teilnahme an der Hauptversammlung und die Ausübung des Stimmrechts. Alle vom Gesetz verlangten Berichte und Unterlagen standen ab der Einberufung der Hauptversammlung auf der AIXTRON-Internetseite zur Verfügung. Direkt im Anschluss an die Hauptversammlung veröffent-lichte AIXTRON die Präsenz und die Abstimmungsergebnisse in einer Pressemitteilung sowie auf der Internetseite.

Es standen fünf von sechs Tagesordnungspunkten zur Abstimmung. Alle Beschlussvorlagen wur-den mit deutlichen Mehrheiten angenommen, wobei knapp 57% des AIXTRON-Grundkapitals auf der Hauptversammlung vertreten waren.

Transparenz

Zur Gewährung einer größtmöglichen Transparenz informiert AIXTRON seine Interessengruppen wie Kunden, Lieferanten, Aktionäre, Aktionärsvereinigungen, potenzielle Investoren, Finanzana-lysten sowie die Medien aktuell und regelmäßig über den Geschäftsverlauf des Konzerns. Zu diesem Zweck wird hauptsächlich das Internet als Kommunikationsmedium genutzt.

Die Berichterstattung über die Lage und die Ergebnisse der AIXTRON SE und des AIXTRON-Kon-zerns erfolgt in deutscher und/oder englischer Sprache durch:

• • den Geschäftsbericht mit Konzernabschluss, Konzernlagebericht und Bericht des Aufsichtsrats, inklusive des Jahresabschlusses und des zugehörigen Lageberichts der AIXTRON SE,

• • den nichtfinanziellen Konzernbericht (Nachhaltigkeitsbericht),

• • Zwischenfinanzberichte,

• • Quartalsweise Telefonkonferenzen für die Presse und Analysten und deren jeweilige Abschrift,

• • Unternehmenspräsentationen,

• • Veröffentlichung von Insiderinformationen sowie

• • Unternehmens- und Pressemitteilungen.

Der Termin der Hauptversammlung oder die Erscheinungstermine der Finanzberichte sind im Finanzkalender des Unternehmens auf der AIXTRON-Internetseite im Bereich Investoren/ Ver-anstaltungen und Termine zusammengefasst. Dieser sowie die oben aufgezählten Berichte, Re-demanuskripte, Präsentationen, Webcasts und Mitteilungen lassen sich über die AIXTRON-Inter-netseite für eine bestimmte Zeit frei einsehen.

Rechnungslegung und Abschlussprüfung

Die Erstellung der Quartalsmitteilungen zum 31. März, 30. Juni, 30. September sowie des Konzern-abschlusses zum 31. Dezember 2020 erfolgte in Übereinstimmung mit den International Financial Reporting Standards IFRS. Der Einzelabschluss der AIXTRON SE für das Geschäftsjahr 2020 wurde nach den Vorschriften des deutschen Handelsgesetzbuches (HGB) sowie Vorschriften des Aktien-gesetzes (AktG) erstellt.

Der Konzernabschluss und der Einzelabschluss der AIXTRON SE wurden vom Abschlussprüfer ge-prüft sowie vom Aufsichtsrat gebilligt. Mit dem Abschlussprüfer wurde vereinbart, dass der Vor-sitzende des Aufsichtsrats bzw. der Vorsitzende des Prüfungsausschusses über Ausschluss- oder Befreiungsgründe bzw. über Unrichtigkeiten der Entsprechenserklärung, die während der Prüfung auftreten, unverzüglich informiert wird. Solche Informationspflichten wurden im Berichtsjahr nicht ausgelöst.

Vergütungsbericht

Mit Billigung der Hauptversammlung am 20. Mai 2020 hat die AIXTRON SE ein neues Vorstands-vergütungssystem ("neues Vergütungssystem") eingeführt. Dieses findet Anwendung auf alle Verträge des Vorstands der Gesellschaft, die nach dem 20. Mai 2020 abgeschlossen werden. Da-neben gilt für bestehende Altverträge des Vorstands weiterhin das bisherige Vergütungssystem, das von der ordentlichen Hauptversammlung am 16. Mai 2018 gebilligt wurde ("bisheriges Ver-gütungssystem"). Somit kommen für das Berichtsjahr 2020 zwei Vergütungssysteme zur Anwen-dung. Der nachfolgende Vergütungsbericht beschreibt die Grundzüge dieser im Berichtsjahr 2020 geltenden Vergütungssysteme für den Vorstand und Aufsichtsrat der AIXTRON SE und erläutert die Struktur sowie die Höhe der Vergütung. Dabei wurde die Beschreibung des bisherigen Vergü-tungssystems auf die Elemente reduziert, die im Geschäftsjahr 2020 zur Anwendung gekommen sind. Zudem werden im Rahmen des Vergütungsberichtes die Vergütungen der einzelnen Mit-glieder des Vorstands und des Aufsichtsrats individualisiert offengelegt. Der Vergütungsbericht enthält darüber hinaus Angaben nach den Erfordernissen des deutschen Handelsgesetzbuchs (HGB), der International Financial Reporting Standards (IFRS) sowie auf freiwilliger Basis bereits ausgewählte Angaben im Einklang mit den inhaltlichen Anforderungen des Gesetzes zur Umset-zung der zweiten Aktionärsrechterichtlinie (ARUGII).

Grundzüge des bisherigen Vergütungssystems (Anwendung auf Altverträge des Vorstands)

Das bisherige Vergütungssystem der Vorstandsmitglieder der AIXTRON SE orientiert sich sowohl an der wirtschaftlichen und finanziellen Lage sowie den Zukunftsaussichten des Unternehmens als auch an der üblichen Höhe und Struktur der Vorstandsvergütung bei vergleichbaren Unter-nehmen sowie an der Vergütungsstruktur, die ansonsten im Unternehmen gilt. Zusätzlich werden bei der Bemessung der Vergütung auch die Aufgaben des jeweiligen Vorstandsmitglieds, dessen Erfahrung und persönliche Leistung sowie die langfristige Bindung an das Unternehmen berück-sichtigt.

Die Vorstandsvergütung besteht aus drei Komponenten: einer festen Vergütung (einschließlich Sachbezügen und Zuschüssen für eine individuelle private Altersvorsorge), einer variablen Ver-gütung und einer aktienbasierten Vergütung.

Umfang der Anwendung in 2020

Das bisherige Vergütungssystem wurde im Geschäftsjahr 2020 wie folgt für Altverträge des Vor-stands angewendet:

• • Dr. Bernd Schulte vom 1.1.2020 bis zum 31.12.2020

• • Dr. Felix Grawert vom 1.1.2020 bis zum 13.08.2020.

Feste Vergütung im bisherigen Vergütungssystem

Für die feste Vergütung ist im Vorstandsdienstvertrag ein Jahreseinkommen festgelegt. Das Fixum als erfolgsunabhängige Grundvergütung wird monatlich als Gehalt ausgezahlt. Hinzu kommen Sachbezüge, im Wesentlichen aus der Dienstwagennutzung, sowie Zuschüsse für eine individuel-le private Altersversorgung.

Variable Vergütung im bisherigen Vergütungssystem

Die nach oben begrenzte variable Vergütung (Tantieme) für den gesamten Vorstand orientiert sich am Konzernjahresüberschuss. Er wird aus einem "Gesamttantiemetopf" gezahlt, der insgesamt bis zu 10% des Konzernjahresüberschusses, jedoch maximal EUR 6,5 Mio., ausmachen kann. Der Konzernjahresüberschuss ergibt sich aus dem vom Abschlussprüfer testierten Konzernabschluss (IFRS) der Gesellschaft.

Die variable Vergütung, die aus dem dargestellten "Gesamttantiemetopf" gezahlt wird, beläuft sich pro Vorstand auf 2,5% des Konzernjahresüberschusses und wird zur Hälfte in bar und zur Hälfte in Aktien geleistet. Der auf den Aktienanteil entfallende Betrag der Tantieme wird in eine ganze Zahl von Aktien der Gesellschaft umgerechnet und am dritten Bankarbeitstag nach der ordentlichen Hauptversammlung, im dritten Geschäftsjahr nach Gewährung, an das Vorstands-mitglied übertragen. Die Zahl der als Aktienanteil zu gewährenden Aktien wird dabei festgelegt nach dem Schlusskurs der Aktie am dritten Bankarbeitstag nach der ordentlichen Hauptversamm-lung, welcher der Jahres- und Konzernabschluss für das Geschäftsjahr vorgelegt wird, für das die Tantieme gewährt wird. Der Aktienanteil wird aus eigenen Aktien der Gesellschaft bedient. Durch diese Vergütungsregelung nehmen die Vorstandsmitglieder während der mehrjährigen Wartefrist nicht nur an positiven, sondern auch an negativen Entwicklungen des Aktienkurses teil, so dass eine deutliche Ausrichtung der variablen Vergütungsbestandteile auf die nachhaltige Unterneh-mensentwicklung gegeben ist.

Aktienbasierte Vergütung im bisherigen Vergütungssystem

Zusätzlich können die Mitglieder des Vorstands als variable Komponente mit langfristiger Anreiz-wirkung und Risikocharakter eine aktienbasierte Vergütung in Form von Aktien oder Options-rechten aus den Aktienoptionsprogrammen oder von AIXTRON-Aktien beziehen. So erhält Dr. Grawert gemäß seinem Altvertrag Aktien des Unternehmens im Gegenwert von EUR 50.000 pro Geschäftsjahr. Die Anzahl der Aktien wird nach dem Schlusskurs der Aktie der Gesellschaft amdritten Bankarbeitstag nach der ordentlichen Hauptversammlung, welcher der Jahresabschluss und Konzernabschluss für das entsprechende Geschäftsjahr vorgelegt wird, festgelegt. Im Ge-schäftsjahr 2020 wurden keine Aktienoptionen ausgegeben. Eine genaue Auflistung der ausste-henden Vorstandsoptionen sowie eine Zuordnung zu den einzelnen Aktienoptionsprogrammen und Tranchen finden sich weiter unten im Abschnitt "Vergütung der Mitglieder des Vorstands im Geschäftsjahr 2020".

Regelungen bei Beendigung der Tätigkeit

Im Falle einer vorzeitigen Beendigung des Vorstandsmandats aufgrund Widerrufs der Bestellung erhält das Vorstandsmitglied eine Abfindung in Höhe der für die Restlaufzeit des Anstellungsver-trages von der Gesellschaft voraussichtlich geschuldeten festen und variablen Bezüge, maximal jedoch in Höhe von zwei Jahresbezügen (Abfindungs-Cap). Über diese Abfindung hinausgehende Leistungen sind ausgeschlossen.

Im Falle einer vorzeitigen Beendigung des Vorstandsmandats aufgrund einer einvernehmlichen Aufhebung des Anstellungsvertrags darf der Gesamtwert der von der Gesellschaft im Rahmen einer solchen Vereinbarung gegenüber dem Vorstandsmitglied zugesagten Leistungen den Wert der Abfindung, den das Vorstandsmitglied bei Widerruf der Bestellung erhalten würde, unter Be-rücksichtigung des Abfindungs-Caps nicht überschreiten.

Bei Beendigung der Tätigkeit nach Kündigung des Vorstandsmitglieds wegen Vorliegens eines sogenannten "Change of Control"-Tatbestandes erhält das Vorstandsmitglied eine Abfindung in Höhe der für die Restlaufzeit des Anstellungsvertrages von der Gesellschaft voraussichtlich geschuldeten festen und variablen Bezüge, maximal aber in Höhe des Abfindungs-Caps von zwei Jahresbezügen. Über diese Abfindung hinausgehende Leistungen sind ausgeschlossen. Ein "Change of Control"-Tatbestand im vorgenannten Sinne liegt vor, wenn ein Dritter oder eine Grup-pe von Dritten, die ihre Anteile vertraglich zusammenlegen, um dann als ein Dritter aufzutreten, mehr als 50% des Grundkapitals der Gesellschaft direkt oder indirekt hält.

Sonstiges zum bisherigen Vergütungssystem

Die derzeitigen Vorstandsmitglieder verfügen im bisherigen Vergütungssystem über keine indi-viduellen Pensionszusagen, daher werden für sie keine Pensionsrückstellungen gebildet. Auch erhalten sie keine Kredite von der Gesellschaft.

Grundzüge des neuen Vergütungssystems (Anwendung auf Neuverträge des Vorstands)

Das neue Vergütungssystem wurde mit Billigung der Hauptversammlung am 20. Mai 2020 für die AIXTRON SE eingeführt. Es berücksichtigt ausgewählte Anforderungen des Gesetzes zur Um-setzung der zweiten Aktionärsrechtelichtlinie (ARUG II) und orientiert sich an den Empfehlungen des neuen am 20. März 2020 in Kraft getretenen Deutschen Corporate Governance Kodex (DCGK 2020).

Umfang der Anwendung in 2020

Das neue Vergütungssystem wurde im Geschäftsjahr 2020 wie folgt für Neuverträge des Vor-stands angewendet:

• • Dr. Felix Grawert vom 14.08.2020 bis zum 31.12.2020

• • Dr. Jochen Linck vom 1.10.2020 bis zum 31.12.2020.

Grundzüge des neuen Vergütungssystems

Die Struktur der Vorstandsvergütung der AIXTRON SE ist darauf ausgerichtet, Anreize sowohl für eine nachhaltige und langfristige Entwicklung der Gesellschaft als auch für ein langfristiges Enga-gement der Vorstandsmitglieder zu leisten.

Auf Basis des Vergütungssystems bestimmt der Aufsichtsrat die konkrete Vergütung der einzelnen Vorstandsmitglieder. Im Rahmen des rechtlich Zulässigen möchte der Aufsichtsrat den Vorstands-mitgliedern damit eine marktübliche und zugleich wettbewerbsfähige Vergütung anbieten, um herausragende Persönlichkeiten für die AIXTRON SE gewinnen und auf Dauer binden zu können.

Auf Basis des Vergütungssystems legt der Aufsichtsrat jeweils für das bevorstehende Geschäfts-jahr für jedes Vorstandsmitglied eine Ziel-Gesamtvergütung fest, welche aus drei Komponenten besteht:

• • der Festvergütung,

• • der kurzfristig orientierten, erfolgsabhängigen variablen Vergütung, dem so genannten Short Term Incentive, oder kurz STI und

• • der langfristig orientierten, erfolgsabhängigen variablen Vergütung, dem so genannten Long Term Incentive, oder kurz LTI.

Vergütungsstruktur

Die Festvergütung umfasst eine feste, erfolgsunabhängige Grundvergütung, die monatlich als Gehalt ausgezahlt wird. Weitere Bestandteile der Festvergütung sind Nebenleistungen wie Dienst-wagen, Zuschüsse für die private Altersversorgung und Kostenübernahme für Versicherungen.

Die variable Vergütung ist an den Erfolg des AIXTRON-Konzerns gebunden und setzt sich aus dem kurzfristig orientierten STI sowie dem langfristig orientierten LTI zusammen. Die Höhe der beiden variablen Vergütungselemente hängt vom Erreichen finanzieller und nicht-finanzieller Leistungsmerkmale ab.

Kurzfristig orientierte, erfolgsabhängige variable Vergütung im neuen Vergütungssystem

Die auch Short Termin Incentive (STI) genannte kurzfristig orientierte, erfolgsabhängige Ver-gütung richtet sich nach den erzielten Erfolgen des AIXTRON-Konzerns im Geschäftsjahr und wird vollständig in bar gewährt.

Der STI wird nach den Kennziffern Konzernjahresüberschuss, Marktposition des AIXTRON-Kon-zerns sowie finanziellen und operativen Zielen bemessen. Dabei beträgt die relative Gewichtung 70 % für den Konzernjahresüberschuss, sowie jeweils 15 % für die Marktposition und 15 % für finanzielle und operative Ziele.

Kurzfristig orientierte Vergütung (STI)

Zielfestlegung

Ermittlung

Zielwert (Betrag)

Zielerreichung

Ziele (Kennziffern)

Geschäftsjahr

Betrag (bar)Auszahlung

Vor Beginn eines Geschäftsjahres erfolgt die Zielfestlegung: der Aufsichtsrat legt den betrags-mäßigen Zielwert des STI und die Ziele anhand von Kennziffern fest. Bei 100 % Zielerreichung bewegt sich der Ziel-STI zwischen 1,1 % und 1,75 % des Konzernjahresüberschusses gemäß des vom Aufsichtsrat verabschiedeten Budgets für das Geschäftsjahr.

Nach Ablauf des Geschäftsjahres wird die Zielerreichung des STI ermittelt. Sie ist auf maximal 250 % Zielerreichung begrenzt und der STI entfällt bei negativem Konzernjahresüberschuss, also in einem Jahr mit Verlusten. Der STI wird in bar ausgezahlt, nachdem der Aufsichtsrat den Kon-zernabschluss festgestellt hat.

Langfristig orientierte, erfolgsabhängige variable Vergütung im neuen Vergütungssystem

Die Long Term Incentive (LTI) genannte langfristig orientierte, erfolgsabhängige variable Vergü-tung bestimmt sich der Höhe nach durch die über eine 3-jährige Referenzperiode erzielten Er-folge des AIXTRON-Konzerns und wird vollständig in AIXTRON-Aktien gewährt. Über diese Aktien können die Vorstandsmitglieder nach einer Halteperiode von vier Jahren, gerechnet ab Beginn der Referenzperiode, verfügen.

Vor Beginn eines Geschäftsjahres legt der Aufsichtsrat für jedes Vorstandsmitglied die langfris-tigen Ziele für die kommende Referenzperiode fest. Jedes Vorstandsmitglied erhält verfallbare Aktienzusagen im Wert des Ziel-LTI, der sich zwischen 1,4 % bis 2,25 % des Konzernjahres-überschusses gemäß des vom Aufsichtsrat verabschiedeten Budgets für das Geschäftsjahr be-wegt. Die Anzahl der verfallbaren Aktienzusagen errechnet sich dabei aus dem Durchschnitt der Schlusskurse an allen Börsen-Handelstagen im letzten Quartal des Vorjahres. Beträgt laut Budget der Konzernjahresüberschuss null oder ist er negativ, kann der Aufsichtsrat bei erwarteter Rück-kehr zur Profitabilität innerhalb der Referenzperiode in angemessenem Rahmen einen LTI-Wert für das Geschäftsjahr festlegen.

Langfristig orientierte Vergütung (LTI)

Die Zielerreichung des LTI wird an den Kennziffern Konzernjahresüberschuss und Total Share-holder Return, kurz TSR, sowie an Nachhaltigkeitszielen gemessen. Dabei beträgt die relative Gewichtung 50 % für den Konzernjahresüberschuss, 40 % für den TSR und 10 % für Nachhaltig-keitsziele.

Für die erste Kennziffer des LTI, den Konzernjahresüberschuss, legt der Aufsichtsrat vor Beginn jeden Geschäftsjahres einen Zielwert fest, der in der Referenzperiode als Summe der Konzern-jahresüberschüsse zu erreichen ist. Nach Ablauf der Periode werden erreichter Istwert und dieser Zielwert verglichen. Die Zielerreichung beträgt bei genauer Übereinstimmung 100%. Sie ist be-grenzt auf maximal 250%. Sie beträgt 0% wenn der Istwert null oder negativ ist. Zwischen 0% und 250% wird linear interpoliert.

Die zweite Kennziffer des LTI, der TSR, bezeichnet die Gesamtaktionärsrendite über die Re-ferenzperiode und berechnet sich aus dem Verhältnis der Kursentwicklung zuzüglich bezahlterDividende am Ende der Referenzperiode zum Wert am Anfang der Referenzperiode. Der TSR der AIXTRON-Aktie wird am gewichteten TSR einer Vergleichsgruppe gemessen, die aus Aktien von den sechs Halbleiteranlagenherstellern Veeco Instruments, Applied Materials, Tokyo Electron, Lam Research, ASML und ASMI besteht und diese proportional zu ihrer Marktkapitalisierung gewichtet. Die Kursentwicklungen werden bestimmt als Differenz zwischen den Durchschnittswerten der Schlusskurse an allen Börsen-Handelstagen im letzten Quartal vor Beginn und im letzten Quartal der Referenzperiode. Nach Ablauf der Referenzperiode wird das Verhältnis aus der TSR-Entwi-cklung der AIXTRON-Aktie zur TSR-Entwicklung der Vergleichsgruppe ermittelt. Die Zielerreichung ist auf maximal 250% begrenzt. Sie beträgt 0% bei einem Verhältnis von weniger als 50%. Zwi-schen diesen Werten wird linear interpoliert. Sollte es bei den Unternehmen der Vergleichsgruppe während des Betrachtungszeitraums zu außergewöhnlichen Veränderungen kommen wie etwa zu Zusammenschlüssen, Änderungen des Geschäftsfeldes, etc., so kann der Aufsichtsrat dies bei der Zusammensetzung der Vergleichsgruppe berücksichtigen. In einem solchen Fall wird der Auf-sichtsrat darüber im jährlichen Vergütungsbericht berichten.

Die dritte Kennziffer des LTI wird aus Nachhaltigkeitszielen errechnet, die der Aufsichtsrat zu Beginn jeder Referenzperiode festlegt. Sie umfassen die Bereiche Umwelt, Soziales und gute Unternehmensführung. Die Zielerreichung entspricht dem Verhältnis aus erreichten Ist-Werten und den Ziel-Werten. Sie ist bei 250% begrenzt. Vor Beginn jedes Geschäftsjahres legt der Auf-sichtsrat zwei bis drei Nachhaltigkeits-Ziele fest, die bis zum Ende der Referenzperiode zu er-reichen sind. Zu den Nachhaltigkeits-Zielen, aus denen der Aufsichtsrat für die Festlegung für das jeweilige Vorstandsmitglied vor Beginn des Geschäftsjahres auswählen kann, gehören unter anderem: effizienter Umgang mit Energie und Rohstoffen, Reduktion von Emissionen, Mitarbei-terzufriedenheit und -entwicklung, Kundenzufriedenheit, Innovationsleistung, Nachfolgeplanung sowie Compliance.

Nach Ablauf der 3-jährigen Referenzperiode wird die Zielerreichung des LTI durch den Aufsichtsrat festgesellt. Dann werden die verfallbaren Aktienzusagen - je nach Zielerreichung - in unverfall-bare Aktienzusagen gewandelt oder verfallen teilweise. Die maximale Anzahl von unverfallbaren Aktienzusagen im Rahmen des LTI ist dabei auf 250% der zu Beginn der Referenzperiode verfall-bar zugesagten Aktien begrenzt.

Nach Ablauf der vierjährigen Sperrfrist werden die Aktien an das Vorstandsmitglied übertragen. Dabei werden die unten genannten Vergütungs-Höchstgrenzen eingehalten. Während der Sperr-frist ist das Vorstandsmitglied nicht dividendenberechtigt.

Vergütungsgrenzen im neuen Vergütungssystem

Das Vergütungssystem zielt darauf ab, dass erfolgreiche Vorstandsarbeit angemessen honoriert wird, so dass der Vorstand ebenso wie die Aktionäre von einer positiven Unternehmensentwick-lung profitiert. Um zugleich das Eingehen unangemessener Risiken zu vermeiden und ein ange-messenes Verhältnis zur Lage der AIXTRON SE zu wahren, wird die Vorstandsvergütung durch die Festlegung einer Maximalvergütung und einer Vergütungshöchstgrenze begrenzt.

Die Maximalvergütung (Aufwands-Cap), das ist die für ein Geschäftsjahr geschuldete Gesamt-vergütung des Vorstands, darf 6,5 Mio. Euro bei zwei Vorständen bzw. 10 Mio. Euro für drei oder mehr Vorstände nicht überschreiten. Dies ist die Aufwands-Begrenzung, also der maximale Aufwand für die Gesellschaft.

Zusätzlich gibt es eine Vergütungshöchstgrenze (Zufluss-Cap) für die Summe aus Festvergü-tung, STI, und LTI. Der tatsächliche Zufluss jedes einzelnen Vorstands für ein Geschäftsjahr, ist auf das 4-fache der Ziel-Gesamtvergütung begrenzt. Das ist die Zufluss-Begrenzung. Sollte die Vergütungshöchstgrenze überschritten werden, verfällt ein Teil der zuvor festgelegten Aktienzu-sagen, um die Einhaltung zu gewähren.

Die Festvergütung wird in der Regel bei 20% bis 40% der Ziel-Gesamtvergütung liegen, die va-riable Vergütung zwischen 60% und 80%. Dabei entfällt ein größerer Anteil auf die langfristige Vergütung, um Anreize für langfristig orientiertes und nachhaltiges Handeln zu setzen. Konzern-interne Mandate, etwa bei Tochtergesellschaften, werden nicht zusätzlich vergütet.

Weitere Bestimmungen zum neuen Vergütungssystem

Um sicherzustellen, dass die Interessen des Vorstands und die Interessen der Aktionäre gleich-gerichtet sind, gibt es eine Richtlinie zum Aktienbesitz. Jeder Vorstand ist verpflichtet, nach einer vierjährigen Aufbauphase während seiner Zugehörigkeit zum Vorstand dauerhaft 100 % der Grundvergütung in AIXTRON-Aktien zu halten. Der Wert von unverfallbaren Aktienzusagen wird auf die jeweilige Zielgröße des Aktienbesitzes angerechnet. Es dürfen nur Aktien verkauft wer-den, wenn diese über die jeweilige Zielgröße hinausgehen.

Hinzu kommt ein Sanktionsmechanismus bei Pflicht- oder Compliance-Verstößen, eine so genannte Claw-Back Regelung. Nach dieser kann der Aufsichtsrat die im Falle der genannten Ver-stöße die nicht ausgezahlten, variablen Vergütungsbestandteile reduzieren, Aktienzusagen ver-fallen lassen oder sogar zurück zu fordern. Von diesen Möglichkeiten kann auch dann Gebrauch gemacht werden, wenn das Amt oder das Anstellungsverhältnis mit dem Vorstandsmitglied be-reits beendet ist.

Der Aufsichtsrat kann in wohlbegründeten Ausnahmefällen wie etwa schweren Wirtschaftskrisen, deren Effekte die ursprünglichen Unternehmensziele hinfällig werden lassen beschließen, vorü-bergehend von dem Vergütungssystem abzuweichen, wenn dies im Interesse der AIXTRON SE ist. Die Ziele und die Zielwerte ändern sich während der jeweiligen für die Zielerreichung maßgeb-lichen Zeiträume grundsätzlich nicht, auch nicht im Fall von allgemein ungünstigen Marktent-wicklungen.

Eine ausführliche Darstellung des von der Hauptversammlung am 20. Mai 2020 gebilligten neuen Vergütungssystems für den Vorstand findet sich auf der Website der AIXTRON SE unterwww.aixtron.com/de/investoren/corporate-governance/vorstandsvergütungssystem.

Vergütungsvergleich im neuen Vergütungssystem

Die Angemessenheit der Vergütungsbestandteile wird jährlich durch den Aufsichtsrat überprüft.

Im Falle wesentlicher Änderungen des Vergütungssystems, mindestens jedoch alle vier Jahre, wird das Vergütungssystem der Hauptversammlung zur Billigung vorgelegt.

Für den externen Vergleich werden die Vergütungsdaten der Halbleiter-Anlagenhersteller Veeco Instruments, Applied Materials, Lam Research, ASML, ASMI sowie der TecDAX-Unternehmen he-rangezogen, deren Marktkapitalisierung zwischen 50% und 200% der Marktkapitalisierung der AIXTRON SE beträgt.

Für den internen Vergleich wurden die zehn außertariflich vergüteten Führungskräfte mit größter Führungsverantwortung und Entscheidungsbefugnis als oberer Führungskreis definiert.

Berichterstattung im neuen Vergütungssystem

Vorstand und Aufsichtsrat erstellen jährlich einen Vergütungsbericht nach den gesetzlichen Be-stimmungen. Der Vergütungsbericht für das Geschäftsjahr 2020 enthält auf freiwilliger Basis be-reits ausgewählte Angaben im Einklang mit den inhaltlichen Anforderungen des Gesetzes zur Umsetzung der zweiten Aktionärsrechterichtlinie (ARUGII). Ein aktienrechtlicher Vergütungsbe-richt gem. § 162 AktG in der Fassung des ARUG II wird erstmalig für das Geschäftsjahr 2021 vorgelegt werden. Darin wird der Aufsichtsrat erläutern, welche Leistungskriterien angewendet wurden und wie sich die jeweilige Höhe der variablen Vergütungsbestandteile errechnet.

Der Vergütungsbericht zum abgelaufenen Geschäftsjahr enthält jeweils einen Ausblick auf die Anwendung des Vergütungssystems im laufenden Geschäftsjahr. In diesem Ausblick wird vorab über die Auswahl der finanziellen Leistungskriterien berichtet. Nicht-finanzielle Leistungskriterien werden hingegen, wie auch die konkrete Zielsetzung für die finanziellen Kennzahlen, nach Ab-lauf der jeweils für STI und/oder LTI maßgeblichen Zeiträume erläutert, um wettbewerbsrelevante strategische Vorhaben nicht vorab preiszugeben.

Regelungen bei Beendigung der Tätigkeit

Im Falle der Beendigung eines Vorstandsvertrags werden noch offene variable Vergütungsbe-standteile, die auf die Zeit bis zur Vertragsbeendigung entfallen, nach den ursprünglich vereinbar-ten Zielen und Vergleichsparametern und nach den im Vertrag festgelegten Fälligkeitszeitpunkten oder Haltedauern gewährt. Endet ein Vorstandsvertrag unterjährig in einem Geschäftsjahr, so werden der STI und der LTI pro rata anteilig der geleisteten Dienstzeit in diesem Geschäftsjahr gewährt.

Dies gilt nicht für die Fälle, dass der Dienstvertrag aus einem in der Person des Vorstandsmitglieds liegenden und von ihm zu vertretenden wichtigen Grund fristlos gekündigt wird; in einem solchen wird eine variable Vergütung für das Jahr des Wirksamwerdens der Kündigung nicht gewährt.

Das Vorstandsmitglied erhält im Falle einer vorzeitigen Beendigung des Vorstandsmandats aufgrund des Widerrufs der Bestellung eine Abfindung in Höhe der für die Restlaufzeit des An-stellungsvertrags von der Gesellschaft voraussichtlich geschuldeten Vergütung, maximal jedoch in Höhe von zwei Jahresvergütungen (Abfindungs-Cap).

Der Aufsichtsrat kann im Vorstandsdienstvertrag vorsehen, dass nach Kündigung des Vorstands-mitglieds wegen Vorliegens eines sogenannten "Change of Control"-Tatbestandes eine Ab-findung in der vorstehend genannten Maximalhöhe gewährt wird. Ein "Change of Control"-Tat-bestand im vorgenannten Sinne liegt vor, wenn ein Dritter oder eine Gruppe von Dritten, die ihre Anteile vertraglich zusammenlegen, um dann als ein Dritter aufzutreten, mehr als 50 % des Grundkapitals der Gesellschaft direkt oder indirekt hält bzw. halten.

Über diese Abfindung hinausgehende Leistungen sind ausgeschlossen.

Im Falle einer vorzeitigen Beendigung des Vorstandsmandats aufgrund einer einvernehmlichen Aufhebung des Anstellungsvertrags soll der Gesamtwert der von der Gesellschaft im Rahmen einer solchen Vereinbarung gegenüber dem Vorstandsmitglied zugesagten Leistungen die Höhe der für die ursprüngliche Restlaufzeit des Anstellungsvertrags von der Gesellschaft voraussichtlich geschuldeten Vergütung, maximal jedoch den Wert zwei Jahresvergütungen nicht überschreiten.

Vergütung der Mitglieder des Vorstands für das Geschäftsjahr 2020

Vorstandsvergütung

Der nachfolgende Teil beschreibt die konkrete Anwendung des Vergütungssystems für die Mit-glieder des Vorstands der AIXTRON SE im Geschäftsjahr 2020. Er enthält detaillierte Informationen und Hintergründe zur Gesamtvergütung des Vorstands, zur Zielsetzung und Zielerreichung der variablen Vergütung sowie individualisierte Angaben zur Vergütung der einzelnen Vorstandsmit-glieder für das Geschäftsjahr 2020.

Gesamtvergütung für das Geschäftsjahr 2020

Die Gesamtvorstandsbezüge für das Geschäftsjahr 2020 beliefen sich auf EUR 2.956.429 (2019:

EUR 2.459.339; 2018: EUR 3.133.032). Die erfolgsunabhängige Festvergütung des Vorstands für das Geschäftsjahr 2020, bestehend aus einer Grundvergütung, Zuschüssen zur Altersvorsorge und Sachbezügen, belief sich auf insgesamt EUR 911.530 (2019: EUR 785.469; 2018: EUR 789.932).

Grundvergütung für das Geschäftsjahr 2020

Die Grundvergütung betrug im Geschäftsjahr 2020:

• • für Dr. Felix Grawert 343.000 EUR

• • für Dr. Bernd Schulte 390.000 EUR

• • für Dr. Jochen Linck 75.000 EUR (1.10.2020 - 31.12.2020)

Versorgungszusage für das Geschäftsjahr 2020

Die im Berichtsjahr amtierenden Mitglieder des Vorstands verfügen nicht über individuelle Pen-sionszusagen, so dass keine Pensionsrückstellungen gebildet werden. Stattdessen werden Zu-schüsse zur Altersvorsorge für die Vorstandsmitglieder mit dem Gehalt ausgezahlt oder in einen Versicherungsvertrag mit Unterstützungskassenzusage eingezahlt.

Die Zuschüsse zur Altersvorsorge sind Teil der erfolgsunabhängigen Festvergütung des Vorstands. Sie betragen im Jahr 2020:

• • für Dr. Felix Grawert 30.000 EUR

• • für Dr. Bernd Schulte 40.000 EUR

• • für Dr. Jochen Linck 7.500 EUR (1.10.2020 - 31.12.2020)

Variable Vergütung für das Geschäftsjahr 2020 nach dem bisherigen Vergütungssystem

Das bisherige Vergütungssystem fand im Jahr 2020 Anwendung zur Bestimmung der variablen Vergütung für Dr. Felix Grawert vom 1.1.2020 bis zum 13.08.2020 und für Dr. Bernd Schulte vom 1.1.2020 bis zum 31.12.2020. Die variable Vergütung nach dem bisherigen Vergütungssystem be-läuft sich pro Vorstand pro rata temporis auf 2,5% des Konzernjahresüberschusses und wird zur Hälfte in bar und zur Hälfte in Aktien geleistet. Damit ergibt sich im Jahr 2020 nach dem bisheri-gen Vergütungssystem für 2020 eine variable Vergütung:

• • für Dr. Felix Grawert von 267.000 EUR in bar und 267.000 EUR zu gewähren in Aktien

• • für Dr. Bernd Schulte von 431.000 EUR in bar und 431.000 EUR zu gewähren in Aktien

Zusätzlich erhielt Dr. Felix Grawert gemäß seinem Altvertrag AIXTRON-Aktien im Gegenwert von EUR 50.000 pro vollem Geschäftsjahr. Anteilig für den Zeitraum vom 1.1.2020 bis 13.08.2020 ergibt sich damit ein Anspruch für

• • Dr. Felix Grawert von 31.000 EUR zu gewähren in Aktien.

Kurzfristig variable Vergütung (STI) für das Geschäftsjahr 2020 nach dem neuen Vergütungssystem

Das neue Vergütungssystem fand im Jahr 2020 Anwendung zur Bestimmung der kurzfristigen variablen Vergütung für Dr. Felix Grawert vom 14.08.2020 bis zum 31.12.2020 und Dr. Jochen Linck vom 1.10.2020 bis zum 31.12.2020.

Ziel-Dimension "Konzernjahresüberschuss"

Für den Konzernjahresüberschuss 2020 hat der Aufsichtsrat im Dezember 2019 einen Ziel-Wert von 19.000 TEUR festgelegt. Aus dem tatsächlich erreichten Wert von 34.470 TEUR ergibt sich eine Zielerfüllung von 181%.

Ziel-Dimension "Marktposition"

Für die Ziel-Dimension "Marktposition" hat der Aufsichtsrat für 2020 Ziele in den Bereichen der Bestandsmärkte als auch der neu zu durchdringenden Wachstumsmärkte festgelegt. Gute Ver-triebsleistung in den Bestandsmärkten und Erfolge in den Wachstumsmärkten führten zu einer Zielerreichung von 162%.

Ziel-Dimension "Finanzielle und operative Ziele"

Die Ziel-Dimension "Finanzielle und operative Ziele" wurde durch Leistungskriterien im Bereich des OLED-Geschäfts und weiterer strategischer Zielsetzungen bestimmt. Hier betrug die Zielerrei-chung im abgelaufenen Geschäftsjahr 11%.

Aus der Zielerreichung in diesen drei Zieldimensionen errechnet sich für das Geschäftsjahr 2020 nach dem neuen Vergütungssystem eine kurzfristige variable Vergütung (STI)

• • für Dr. Felix Grawert in Höhe von 193 TEUR in bar,

• • für Dr. Jochen Linck in Höhe von 81 TEUR in bar.

Langfristig variable Vergütung (LTI) für das Geschäftsjahr 2020 nach dem neuen Vergütungssystem

Das neue Vergütungssystem fand im Jahr 2020 Anwendung bei den Neuverträgen von Dr. Felix Grawert und Dr. Jochen Linck.

Die Zielerreichung der LTI-Tranche 2020 wird an den erreichten Ergebnissen in der Periode vom 1.1.2020 bis zum 31.12.2022 berechnet. Für sie gelten die Leistungskriterien

• • Konzernjahresüberschüsse der Geschäftsjahre 2020, 2021 und 2022 (50% Anteil),

• • Entwicklung des Total Shareholder Return (TSR) von Q4 / 2019 bis Q4 / 2022 (40% Anteil),

• • Nachhaltigkeit (10% Anteil), bemessen am Energieverbrauch in kWh normiert auf die wichtigsten Verbrauchstreiber sowie die Weiterbildung der Mitarbeiter gemessen in Lernstunden.

Der für die TSR-Zielvergütung 2020 maßgebliche Aktienkurs der AIXTRON SE beträgt EUR 8,682. Er entspricht dem Durchschnitt der XETRA-Schlusskurse an allen Börsen-Handelstagen im 4. Quartal 2019. Der Erfüllungsgrad der Leistungskriterien wird vom Aufsichtsrat nach Ablauf des Geschäfts-jahres 2022 bestimmt. Dann werden die verfallbaren Aktienzusagen je nach Zielerreichung in unverfallbare Aktienzusagen gewandelt. Die Übertragung von Aktienzusagen an den Vorstand findet nach einer mindestens 4-jährigen Sperrfrist statt, die frühestens am 31.12.2024 für das Ge-schäftsjahr 2020 endet.

Für die langfristig variable Vergütung (LTI) 2020 hat der Aufsichtsrat den Wert des Ziel-LTI wie folgt festgesetzt:

• • für Dr. Felix Grawert von 163 TEUR für die Periode 14.08.2020 - 31.12.2020 in verfallbaren Aktienzusagen

• • für Dr. Jochen Linck von 66 TEUR für die Periode 1.10.2020 - 31.12.2020 in verfallbaren Aktienzusagen

Abweichungen vom neuen Vergütungssystem

Im Jahr 2020 gab es keine Abweichungen und keine Anpassungen an die Vergleichsgruppe von Unternehmen, verglichen mit dem HV-Beschluss zum Vergütungssystem im Mai 2020.

Gewährte Zuwendungen und geleistete Zahlungen im Geschäftsjahr 2020

In den nachfolgenden Tabellen sind die Werte der dem jeweiligen amtierenden Mitglied des Vorstands im Geschäftsjahr 2020 nach DCGK gewährten Zuwendungen neben den tatsächlich im Geschäftsjahr 2020 an das jeweilige Mitglied des Vorstands geleisteten Zahlungen (Spalte "Zu-fluss") im Einzelnen aufgeführt. Im Abschnitt "Gewährte Zuwendungen" erfolgt auch der Ausweis der individuell möglichen Minimal- und Maximalwerte der Vergütung gemäß DCGK für das Ge-schäftsjahr 2020.

Den Anforderungen des DCGK entsprechend ist für die einjährige variable Vergütung als gewährte Zuwendung der Zielwert, der bei einer Zielerreichung von 100% gewährt wird, für das Berichtsjahr angegeben. Zudem sind die Festvergütung sowie die einjährige variable Vergütung entsprechend den Empfehlungen des DCGK als Zufluss für das jeweilige Geschäftsjahr anzugeben. Für Bezugs-rechte und sonstige aktienbasierte Vergütungen gilt als Zeitpunkt des Zuflusses und Zufluss-Be-trag der nach deutschem Steuerrecht maßgebliche Zeitpunkt und Wert.

Gewährte Zuwendungen und geleistete Zahlungen je Vorstandmitglied

Erfolgsabhängige Vergütung

Summe erfolgsunabhängige / erfolgsabhängige Vergütung

Versorgungsaufwand

Gesamtvergütung

*: Angabe zur LTI-Tranche des neues Vergütungssystems

**: Fair Value-Bewertung der LTI-Tranche 2020

Dr. Felix Grawert	Zufluss
Vorstandsmitglied
Vorstand seit 14. August 2017
2020	2020
(Zielerreichung	(Maximum)
in T€	2019	2020	100%)*	2019	2020
330	373	373	373	330	373
12	11	11	11	12	11
342	384	384	384	342	384
406	460	127	1.323	406	460
406	267	0	1.006	406	267
193	127	317	193
456	546	163	1.413	0	42
0	0	0	0	0	42
456	0	0	0	0	0
0	298	0	1.006	0	0
0	248**	163	407	0	0
1.204	1.390	674	3.120	748	886
0	0	0	0	0	0
1.204	1.390	674	3.120	748	886

Gewährte Zuwendung

Erfolgsunabhängige VergütungFestvergütungNebenleistungen Summe

Kurzfristige variable Vergütung

Nach Altvertrag (01.01.-13.08.2020)

Nach Neuvertrag (14.08.-31.12.2020)

STI-Tranche 2020

Langfristige variable Vergütung

Aktienbasierter Anteil aus einjähriger variabler Vergütung (Sperrfrist 2017-2020)

Aktienbasierter Anteil aus einjähriger variabler Vergütung (Sperrfrist 2019-2023)

Aktienbasierter Anteil aus einjähriger variabler Vergütung (Sperrfrist 2020-2024)

anteilig 01.01.-13.08.2020

Nach Neuvertrag (14.08.-31.12.2020) LTI-Tranche 2020 (Sperrfrist 2020-2025)

Die theoretische Minimal- bzw. Maximalvergütung gem. dem bisherigem Vergütungssystem betrug für Dr. Felix Grawert 0 T€ bzw. 2.012 T€ (Altvertrag 1.1.-13.8.2020).

Gewährte Zuwendungen und geleistete Zahlungen je Vorstandsmitglied

Dr. Bernd Schulte Vorstandsmitglied Vorstand seit 7. März 2002

in T€

Erfolgsunabhängige VergütungFestvergütungNebenleistungen Summe

Erfolgsabhängige Vergütung

Aktienbasierter Anteil auseinjähriger variabler Vergütung (Sperrfrist 2020-2024)

Kurzfristige variable Vergütung Langfristige variable Vergütung

Aktienbasierter Anteil aus einjähriger variabler Vergütung (Sperrfrist 2019-2023)

Summe erfolgsunabhängige / erfolgsabhängige Vergütung

Versorgungsaufwand

Gesamtvergütung

2019

430

13 443 406 406

406

Gewährte Zuwendung

2020

430

13 443 431 431

431

1.255 0 1.255

1.305 0 1.305

2020

(Zielerreichung

100%)*

2020

(Maximum)*

430

2019

430

13 443 0 0

13 443 1.625 1.625

0

13 443 406 0

0

0

1.625

443 0 443

3.693 0 3.693

849 0 849

*: Theoretische Minimal- bzw. Maximalvergütung gem. dem für Dr. Bernd Schulte gültigen bisherigen Vergütungssystem.

Dr. Jochen Linck Vorstandsmitglied

Vorstand seit 1. Oktober 2020 in T€

Erfolgsunabhängige VergütungErfolgsabhängige Vergütung

LTI-Tranche 2020 (Sperrfrist 2020-2024)FestvergütungNebenleistungen Summe

Kurzfristige variable Vergütung Langfristige variable Vergütung

Summe erfolgsunabhängige / erfolgsabhängige Vergütung

Versorgungsaufwand

Gesamtvergütung

*: Angabe zur LTI-Tranche des neues Vergütungssystems **: Fair Value-Bewertung der LTI-Tranche 2020

Gewährte Zuwendung

2020

(Zielerreichung

2019

2020

0

83

0 0 0

100%)*

83

2 85 81

0 0

2 85 52

96 96**

0 0 0

66 66

262 0 262

2020

(Zielerreichnung 250%)*

83

2 85 130

165 165

203 0 203

380 0 380

Zufluss

2020

430

0

0

Zufluss

2019

0

0 0 0

0 0

430

13 443 431 0

0

0

874 0 874

2020

83

2 85 81

0 0

0 0 0

166 0 166

Aktienoptionsprogramme

Aktienoptionen sind weder Bestandteile des "bisherigen Vergütungssystems" noch des oben be-schriebenen "neuen Vergütungssystems". Daher halten Dr. Felix Grawert und Dr. Jochen Linck kei-ne Aktienoptionen. Lediglich aus Perioden vor der Gültigkeit der hier beschriebenen Vergütungs-systeme hält Dr. Bernd Schulte zum 31.12.2020 eine Bestandsposition von 50.000 Aktienoptionen.

Der Bestand der den Optionen unterliegenden Aktien setzt sich wie folgt zusammen:

Aktienoptionsprogramme

Optionswert bei

AusstehendVorstandsmitglied Dr. Bernd SchulteZuteilungsdatum

(Aktien)Ausübbar (Aktien)

BewilligungAusübungspreis

(EUR)

(EUR)FälligkeitVerfallene Aktien

Okt 2014

50.000

Nov 2010

0

Nov 2009

0

50.000 0 0

189.000

13,14 Okt 2024

0

26,60 Nov 2020 52.000

24,60 Nov 2019 52.000

Gesamt

50.000

50.000

104.000

Von den Aufwendungen für aktienoptionsbasierte Vergütung entfielen auf Dr. Bernd Schulte fol-gende Beträge:

in Tausend Euro	2020	2019	2018
Dr. Bernd Schulte	0	0	34

Im Geschäftsjahr 2020 sind 52.000 Optionsrechte zum Erwerb von AIXTRON-Aktien verfallen (2019: 52.000; 2018: 0).

Die im Berichtsjahr 2020 amtierenden Mitglieder des Vorstands haben im Jahr 2020 keine Op-tionsrechte ausgeübt (2019: 0; 2018: 0).

Ausblick auf die Anwendung des neuen Vergütungssystems für 2021

Kurzfristige variable Vergütung (STI)

Für das laufende Geschäftsjahr 2021 hat der Aufsichtsrat für die kurzfristige variable Vergütung (STI) folgenden Ziel-Dimensionen und Leistungskriterien festgelegt:

• • Ziel-Dimension "Konzernjahresüberschuss": Für den Konzernjahresüberschuss 2021 hat der Aufsichtsrat im Dezember 2020 einen Ziel-Wert im Rahmen der Prognose festgelegt.

• • Ziel-Dimension "Marktposition": Für die Ziel-Dimension "Marktposition" hat der Aufsichtsrat für 2021 Ziele für einzelne Marktsegmente festgelegt.

• • Ziel-Dimension "Finanzielle und operative Ziele": Für die Ziel-Dimension "Finanzielle und operative Ziele" wurde durch Leistungskriterien im Bereich der operativen Performance, der Markteinführung neuer Produkte sowie für den OLED-Geschäftsbereich festgelegt.

Langfristige variable Vergütung (LTI)

Für die langfristige variable Vergütung (LTI) hat der Aufsichtsrat die Leistungskriterien

• • Konzernjahresüberschüsse der Geschäftsjahre 2021, 2022 und 2023 (50% Anteil)

• • Entwicklung des Total Shareholder Return (TSR) vom Q4 / 2020 bis zum Q4 / 2023 (40% Anteil)

• • Nachhaltigkeit (10% Anteil), bemessen am Energieverbrauch in kWh normiert auf die wichtigsten Verbrauchstreiber sowie die Weiterbildung der Mitarbeiter gemessen in Lernstunden

Die Zielerreichung der LTI-Vergütung 2021 wird anhand der erreichten Ergebnisse in der Periode vom 1.1.2021 bis zum 31.12.2023 berechnet werden. Der für die LTI-Zielerreichung maßgebliche Aktienkurs der AIXTRON SE beträgt EUR 11,582. Er entspricht dem Durchschnitt der XETRA-Schluss-kurse an allen Börsen-Handelstagen im 4. Quartal 2020. Die Erreichung der Leistungskriterien wird vom Aufsichtsrat nach Ablauf des Geschäftsjahres 2023 bestimmt. Dann werden die verfallbaren Aktienzusagen je nach Zielerreichung in unverfallbare Aktienzusagen gewandelt. Die Übertra-gung von Aktienzusagen an den Vorstand findet nach einer 4-jährigen Sperrfrist statt, die für das Geschäftsjahr 2021 am 31.12.2024 endet.

Vergütung der Mitglieder des Aufsichtsrats

Die Vergütung des Aufsichtsrats ist in § 17 der Satzung der AIXTRON SE geregelt. Das aktuell gülti-ge Vergütungssystem für den Aufsichtsrat wurde zuletzt von der ordentlichen Hauptversammlung am 16. Mai 2018 gebilligt. Danach beträgt die jährliche feste Vergütung für das einzelne Mitglied des Aufsichtsrats EUR 60.000, für den Vorsitzenden das Dreifache dessen und für den stellvertre-tenden Vorsitzenden das Eineinhalbfache der Vergütung eines einfachen Aufsichtsratsmitglieds.

Der Vorsitzende des Prüfungsausschusses erhält eine zusätzliche jährliche Vergütung in Höhe von EUR 20.000.

Die Mitglieder des Aufsichtsrats, die nur während eines Teils des Geschäftsjahres dem Aufsichtsrat angehören oder den Vorsitz oder stellvertretenden Vorsitz im Aufsichtsrat oder Prüfungsausschuss führen, erhalten zeitanteilig ein Zwölftel der oben genannten Vergütung für jeden angefangenen Monat der entsprechenden Tätigkeit im Aufsichtsrat.

Die Gesellschaft übernimmt Versicherungsprämien, die für eine Haftpflicht- und Rechtsschutzver-sicherung zur Abdeckung von Haftungsrisiken aus der Aufsichtsratstätigkeit für die Mitglieder des Aufsichtsrats geleistet werden, sowie die darauf zu zahlende Versicherungssteuer.

Die Mitglieder des Aufsichtsrats erhalten vom Unternehmen keine Kredite.

Die in den Geschäftsjahren 2019 und 2020 auf die einzelnen Mitglieder des Aufsichtsrats entfal-lende Vergütung wird in der nachfolgenden Tabelle individualisiert dargestellt. Wie in den Vor-jahren erfolgte auch im Geschäftsjahr 2020 keine Vergütung für persönlich erbrachte Leistungen von Aufsichtsratsmitgliedern.

2019 2018 2020

Aufsichtsratsvergütung

Aufsichtsratsmitglied

Kim Schindelhauer1)2)3)4)5)6)7) (Aufsichtsratsvorsitzender)Prof. Dr. Anna Gersbacher1) (seit 15. Mai 2019)

(Vorsitzende des Prüfungsausschusses) (Unabhängige Finanzexpertin)

Dr. Andreas Biagosch1)4)7)Prof. Dr. Petra Denk2)3)6)Frits van Hout2)3) (seit 15. Mai 2019) (Stellv. Aufsichtsratsvorsitzender)Prof. Dr. Wolfgang Blättchen1)4) (Stellv. Aufsichtsratsvorsitzender) (Vorsitzender des Prüfungsausschusses) (Unabhängiger Finanzexperte)

Dr. Martin Komischke (bis 15. Mai 2019)Prof. Dr. Rüdiger von Rosen8) (bis 16. Mai 2018)

• 1) Mitglied des Prüfungsausschusses

• 2) Mitglied des Vergütungsausschusses

• 3) Mitglied des Nominierungsausschusses

• 4) Mitglied des Kapitalmarktausschusses

• 5) Ehemaliges AIXTRON-Vorstandsmitglied

• 6) Vorsitzende des Technologieausschusses bis Februar 2018

• 7) Mitglied des Technologieausschusses bis Februar 2018

• 8) Vorsitzender des Nominierungsausschusses bis 16. Mai 2018

CORPORATE GOVERNANCE
Fest	Variabel	Sitzungsgeld	Gesamt
(EUR)	(EUR)	(EUR)
0	0	180.000
0	0	180.000
0	0	180.000
0	0	80.000
0	0	53.333
0	0	0
0	0	60.000
0	0	60.000
0	0	60.000
0	0	60.000
0	0	60.000
0	0	60.000
0	0	90.000
0	0	60.000
0	0	0
0	0	0
0	0	45.833
0	0	110.000
0	0	0
0	0	25.000
0	0	60.000
0	0	0
0	0	0
0	0	25.000
0	0	470.000
0	0	484.166
0	0	495.000

53.333 0 60.000

Jahr 2020

(EUR) 180.000

2019 2018 2020

180.000 180.000 80.000

2019 2018 2020

2019 2018 2020

60.000 60.000 60.000

2019 2018 2020

60.000 60.000 90.000

2019 2018 2020

60.000 0 0

2019 2018 2020

45.833 110.000 0

2019 2018 2020

25.000 60.000 0

0 25.000 470.000

Wie in den Vorjahren gab es auch im vergangenen Geschäftsjahr 2020 keine Vergütungen für persönlich erbrachte Leistungen von Aufsichtsratsmitgliedern.

Directors- & Officers-Versicherung (D&O)

Die Gesellschaft hat für alle Vorstands- und Aufsichtsratsmitglieder eine D&O-Versicherung abge-schlossen. In Übereinstimmung mit den Vorgaben des § 93 Abs. 2 AktG sowie der entsprechend angepassten Empfehlung in Nummer 3.8 des Deutschen Corporate Governance Kodex 2017 gilt für alle Mitglieder des Vorstands und des Aufsichtsrats ein Selbstbehalt in Höhe von mindestens 10% des jeweils eingetretenen Schadens, jedoch maximal bis zur Höhe des Eineinhalbfachen der jeweiligen festen jährlichen Vergütung.

ZUSAMMENGEFASSTER LAGEBERICHT

ZUM 31. DEZEMBER 2020

Dieser Lagebericht umfasst sowohl den Konzernlagebericht als auch den Lagebericht der AIXTRON SE. Wir berichten darin über den Geschäftsverlauf sowie über die Lage und die voraus-sichtliche Entwicklung des AIXTRON-Konzerns (im Folgenden auch als "AIXTRON", "AIXTRON-Kon-zern", "die Gruppe" bezeichnet) sowie der AIXTRON SE (auch als "das Unternehmen" oder "die Gesellschaft" bezeichnet). Die Ausführungen zur AIXTRON SE sind in einem eigenen Abschnitt im Wirtschaftsbericht mit Angaben nach HGB enthalten.

Der Konzernabschluss der Gesellschaft ist unter Anwendung von § 315e HGB in Übereinstimmung mit den International Financial Reporting Standards (IFRS), wie sie in der Europäischen Union an-zuwenden sind, erstellt. Mit Ausnahme der HGB-Angaben im Kapitel Lagebericht der AIXTRON SE sind alle in diesem zusammengefassten Lagebericht enthaltenen Finanzzahlen, einschließlich der Vergleichszahlen für das Vorjahr, nach IFRS ausgewiesen. Der Deutsche Rechnungslegungsstan-dard 20 (DRS 20) "Konzernlagebericht" wurde angewendet.

Im Kapitel "Wesentliche Bilanzierungs- und Bewertungsmethoden" des Konzernanhangs werden zusätzliche Angaben zu den zugrunde liegenden Rechnungslegungsvorschriften gemacht.

Aufgrund von Rundungsdifferenzen ist es möglich, dass bei der Summierung von Einzelpositionen Unterschiede zu den angegebenen Summen auftreten und aus diesem Grunde auch Prozentsätze nicht genau den absoluten Zahlen entsprechen.

Grundlagen des Konzerns

Geschäftsmodell

Die Geschäftstätigkeit von AIXTRON umfasst die Entwicklung, Produktion und Installation von Anlagen für die Abscheidung (Deposition) komplexer Halbleitermaterialien, die Entwicklung von Abscheideverfahren auf diesen Anlagen, die Beratung und Schulung sowie die Kundenbetreuung und den Service für diese Anlagen. AIXTRON bietet darüber hinaus Peripheriegeräte und Dienst-leistungen zum Betrieb seiner Anlagen an.

Dabei liefert AIXTRON sowohl Depositionsanlagen für die Volumenfertigung als auch Anlagen für die Forschung und Entwicklung (F&E) und Vorserienproduktion.

Die Nachfrage nach den AIXTRON-Anlagen wird maßgeblich durch Anforderungen an höhere Energieeffizienz, eine weiter steigende Verarbeitungs- und Übertragungsgeschwindigkeit von Daten sowie den Einsatz neuer 3D-Sensorik oder innovativer Displaytechnologien in der Unter-haltungselektronik und der Notwendigkeit zur Kostensenkung bei bestehenden und zukünftigen leistungs- und optoelektronischen Bauelementen beeinflusst. Mit seinen Technologien zur Mate-rialbeschichtung versetzt AIXTRON seine Kunden in die Lage, die Leistungsfähigkeit und die Quali-tät modernster Bauelemente der Leistungs- und Optoelektronik zu verbessern und die Ausbeute bei der Produktion zu steigern.

@Fraunhofer IISB/Kurt Fuchs

Organisationsstruktur

Standorte und rechtliche Unternehmensstruktur

Der AIXTRON-Konzern umfasst die Muttergesellschaft AIXTRON SE mit Hauptsitz in Herzogenrath, Deutschland, und deren Tochtergesellschaften. Die AIXTRON SE war zum 31. Dezember 2020 di-rekt oder indirekt an 10 Gesellschaften beteiligt, die zum AIXTRON-Konzern gehören und voll konsolidiert werden. Eine Übersicht der Beteiligungsverhältnisse findet sich in Abschnitt 30 des Konzernanhangs.

Standort

Nutzung

Herzogenrath (Eigentum) Cambridge, Großbritannien Santa Clara, CA, USA Hwaseong, Südkorea Asan, Südkorea Shanghai, China Hsinchu, Taiwan Tainan, Taiwan Tokio, Japan

Unternehmenszentrale, F&E, Produktion, Konstruktion F&E, Produktion, Konstruktion, Kundendienst Vertrieb, Kundendienst

Vertrieb, Kundendienst F&E

Vertrieb, Kundendienst Vertrieb, Kundendienst Vertrieb, Kundendienst Vertrieb, Kundendienst

Cambridge

Großbritannien

Hwaseong, Asan

Südkorea

Konzernführung

Die AIXTRON SE verfügt als Europäische Aktiengesellschaft über ein dualistisches System der Leitungsorgane bestehend aus Vorstand und Aufsichtsrat. Der Vorstand hat die Leitung der Ge-sellschaft inne und führt die laufenden Geschäfte in eigener Verantwortung, während er vom Aufsichtsrat beraten und überwacht wird. Im Geschäftsjahr 2020 gab es folgende personelle Ver-änderungen der Geschäftsführungs- und Aufsichtsorgane der Gesellschaft:

In seiner Sitzung vom 8. Mai 2020 hat der Aufsichtsrat zum 1. Oktober 2020 Dr. Jochen Linck zum Vorstand und Chief Operating Officer (COO) bestellt. Vorstandsmitglied Dr. Bernd Schulte tritt mit Ablauf seines Vertrages zum 31. März 2021 auf eigenen Wunsch in den Ruhestand. Des Weiteren hat der Aufsichtsrat den Vertrag von Dr. Felix Grawert für fünf Jahre erneuert und ihn mit Wirkung ab 1. April 2021 zum Vorstandsvorsitzenden (CEO) ernannt. Schließlich wurde die Erweiterung des Vorstands um einen Finanzvorstand auf drei Mitglieder beschlossen. Mit dem Beschluss der Be-stellung von Dr. Christian Danninger in die Funktion des Chief Financial Officers (CFO) spätestens zum 1. Juli 2021 wurde der Generationswechsel für den Vorstand der AIXTRON SE im Dezember 2020 erfolgreich abgeschlossen.

Detaillierte Informationen zur Zusammensetzung von Vorstand und Aufsichtsrat, zu deren Aufgabenverteilung untereinander, zur Arbeitsweise der Ausschüsse des Aufsichtsrats so-wie zum Diversitätskonzept der Gesellschaft sind der Erklärung zur Unternehmensführung nach § 289f in Verbindung mit §315d HGB einschließlich der Entsprechenserklärung nach § 161 AktG zu entnehmen. Sie ist Teil des Geschäftsberichts und auch auf unserer Website unterhttps://www.aixtron.com/de/investoren/corporate-governance/erklärung-zur-unternehmens-führung zu finden.

Technologie und Produkte

Die AIXTRON-Produktpalette umfasst kundenspezifische Anlagen für die Abscheidung komplexer Halbleitermaterialien. Hierbei können Substrate unterschiedlicher Materialien und Größen be-schichtet werden.

Zur Herstellung von leistungs- und optoelektronischen Komponenten wie beispielsweise LEDs, Lasern, anderen optoelektronischen Bauteilen oder Leistungselektronik aus Verbindungshalblei-ter-Materialien wird das MOCVD-Verfahren (Metall-Organische Gasphasenabscheidung) an-gewendet.

Auf unseren Anlagen im Bereich Optoelektronik fertigen Kunden unter anderem Laser für die optische Datenübertragung und die 3D-Sensorik, sei es für die Gesichtserkennung und Umge-bungserkennung in Smartphones oder für die Umgebungserfassung bei Robotern, bei autonomen Fahrzeugen oder anderen Anwendungen die eine Kontexterkennung erfordern. Zu weiteren An-wendungen unserer Anlagen gehören die Herstellung von Spezial-LEDs, wie z.B. Micro LEDs oder rote, orange und gelbe LEDs (ROY) u. a. für Display-Anwendungen, Hochleistungs-LEDs für die Automobilbeleuchtung oder UV-LEDs zur umweltfreundlichen Desinfektion von Wasser oder Luft.

Unsere Anlagen im Bereich der Leistungselektronik werden zum einen z.B. für die Fertigung von Galliumnitrid (GaN) Halbleiterbauelementen für kompaktere und leistungsfähigere Netzteile in der Unterhaltungselektronik, zur effizienten Stromversorgung von Datencentern und der Mobil-funkinfrastruktur genutzt. Zudem wird GaN zum anderen für die drahtlose Datenübertragung im Mobilfunk (vor allem im Bereich 5G) genutzt. Die hierfür benötigten GaN-Bauelemente werden ebenfalls auf unseren Anlagen hergestellt. Schließlich fertigen Kunden auf unseren CVD-Anlagen Siliziumkarbid (SiC) Bauelemente, die z. B. in Elektrofahrzeugen sowie deren Ladeinfrastruktur und in Wechselrichtern für erneuerbare Energien (Solar und Wind) eingesetzt werden.

Zur Herstellung komplexer Kohlenstoff-Nanostrukturen (Kohlenstoff-Nanoröhren und -drähte oder Graphen) wird das PECVD-Verfahren (Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung) ein-gesetzt.

Daneben bietet AIXTRON über seine Tochtergesellschaft APEVA das OVPD-Verfahren (Organische Gasphasenabscheidung) zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien für die Herstellung organi-scher Elektronikanwendungen, einschließlich organischer lichtemittierender Dioden (OLEDs), an.

AIXTRON arbeitet kontinuierlich an der Verbesserung seiner existierenden Technologien und Pro-dukte. In den vergangenen Jahren hat AIXTRON mehrere neue Systemgenerationen und Technolo-gien eingeführt, wie beispielsweise die vollautomatisierte AIX G5+C für opto- und leistungselek-tronische Anwendungen oder die AIX G5 WW C für die Großserienproduktion von Epitaxie-Wafern der nächsten Generation aus Siliziumkarbid (SiC), die z. B. in der Leistungselektronik Anwendung finden.

Geschäftsprozesse

Produktion und Beschaffung

AIXTRON konzentriert sich bei der Produktion auf die Montage sowie das Testen und Qualifizieren von Prototypen- und Kundenanlagen. Die zur Herstellung der Anlagen erforderlichen Kompo-nenten und die Mehrzahl der vormontierten Baugruppen bezieht die Gesellschaft von externen Lieferanten und Dienstleistern. Ziel ist in der Regel, für jede AIXTRON-Komponente bzw. jede Baugruppe mehrere Lieferanten zu qualifizieren. Für einige wenige Schlüsselkomponenten mit ausgeprägten technischen Merkmalen bestehen Abhängigkeiten von einzelnen Zulieferern. Die Montage der Anlagen wird unter Zuhilfenahme externer Dienstleister in den eigenen Produk-tionsstätten und unter Anleitung und Überwachung von AIXTRON-Mitarbeitern durchgeführt. Der abschließende Test erfolgt durch AIXTRON-Mitarbeiter.

Beide Produktionsstandorte von AIXTRON verfügen über ein gemäß ISO 9001:2015 zertifiziertes prozessorientiertes Qualitätsmanagementsystem. In 2020 haben externe Prüfer die Zertifizierung der Qualitätsmanagementsysteme sowohl der AIXTRON SE als auch der AIXTRON, Ltd. ohne jeg-liche Abweichung bestätigt.

Mitarbeiter

Der Erfolg des Unternehmens wird maßgeblich durch die Leistung und Motivation seiner Mit-arbeiter bestimmt. Die Mitarbeiterauswahl bei AIXTRON erfolgt nach fachlichen und persönlichen Qualifikationen sowie Erfahrung. Zur Gewinnung neuer, qualifizierter Mitarbeiter nutzt AIXTRON die verschiedensten Kommunikationswege und Rekrutierungskanäle. Neben direkten Stellenan-geboten ist das Unternehmen regelmäßig auf Jobmessen und ähnlichen Veranstaltungen vertre-ten, in der lokalen Presse präsent und kooperiert darüber hinaus eng mit Universitäten weltweit, wie z.B. der RWTH Aachen und der Cambridge-Universität, um neue Mitarbeiter zu gewinnen.

Die Führungskultur einer Organisation hat ebenfalls großen Einfluss auf den Erfolg des Unterneh-mens. Daher fördert AIXTRON diese gezielt durch individuelle Maßnahmen, bei denen Führungs-kräfte Kenntnisse und Qualifikationen zur Mitarbeiterführung und Teamentwicklung erwerben.

Die stetige Weiterbildung unserer Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter ist wichtig und selbstver-ständlich. Unser Angebot reicht von individuellen Trainingsmaßnahmen zum Erwerb fachlicher und persönlicher Kompetenzen über ein breites innerbetriebliches Trainingsangebot bis hin zu persönlichem Coaching.

Im Geschäftsjahr 2020 stieg die Zahl der Mitarbeiter im Konzern von 688 zum Ende des Jahres 2019 (2018: 628) um ca. 6 % auf 728 zum 31. Dezember 2020. Dies ist insbesondere auf Neuein-stellungen infolge der positiven Geschäftsentwicklung zurückzuführen. Der größte Teil der Mit-arbeiter ist wie in den Vorjahren in Europa angesiedelt.

Kunden und Regionen

AIXTRONs Kunden konzentrieren sich unter anderem auf die Herstellung von LEDs, Lasern, Hoch-frequenzbauteilen, Leistungshalbleitern sowie von anderen optoelektronischen Bauelementen. Einige dieser Kunden sind vertikal integriert und beliefern die gesamte Wertschöpfungskette bis hin zum Endverbraucher. Andere wiederum sind unabhängige Hersteller von Bauelementen oder von Epitaxie-Wafern, die auf AIXTRON-Anlagen produzierte Produkte an Unternehmen der nächsten Stufe in der Wertschöpfungskette, die Hersteller elektronischer Komponenten, liefern. Zu AIXTRONs Kunden zählen auch zahlreiche Forschungsinstitute und Universitäten. Die führen-den Hersteller für Bauelemente produzieren vorwiegend in Asien und daher wird dort auch der Großteil der Umsätze von AIXTRON erzielt.

Das Kapitel "Umsatzentwicklung" enthält eine detaillierte Aufstellung der Umsätze nach Regio-nen.

Ziele und Strategie

Als anerkannter Technologieführer auf dem Gebiet komplexer Depositionsverfahren fokussiert sich AIXTRON derzeit auf seine Kernkompetenzen in diesem Bereich. Mit der Entwicklung, Herstel-lung, dem Vertrieb und der Wartung von Anlagen zur Dünnschicht-Abscheidung komplexer Mate-rialien adressiert AIXTRON wachsende Zukunftsmärkte entlang vieler Endanwendungsfelder, wie z.B. Konsumelektronik, Automobilindustrie, Telekommunikation und Datenübertragungstechnik.

Technologieportfolio zur Abscheidung komplexer Materialien

OLED: OVPD® / PVPD®

Karbon - PECVD

LEDs/Optoelektronik

.

kinortkelesgnutsieL

Unser Ziel ist es, durch Innovation und Technologieführerschaft unsere Marktposition in den ad-ressierten Fokusmärkten langfristig zu sichern und weiter auszubauen sowie durch Übertragung unserer Kernkompetenzen angrenzende Märkte zu erschließen. Die Erhöhung des Umsatzes so-wie die Steigerung der Profitabilität stehen dabei im Fokus unserer strategischen Planung.

Die Strategie von AIXTRON besteht unverändert zum Vorjahr in der zielgenauen Adressierung der Anwendungen und von Märkten, die hinsichtlich Größe, Wachstum, Profitabilität und Diffe-renzierungspotenzial für AIXTRON attraktiv sind. Diese Anwendungen aus den Bereichen Unter-haltungselektronik, IT-Infrastruktur und Elektromobilität unterliegen voneinander weitgehend unabhängigen Wachstumsdynamiken. AIXTRON ist nicht nur von einem einzelnen Segment ab-hängig, sondern strebt über die Breite der Anwendungen eine Robustheit gegen Schwankungen in einzelnen Anwendungsmärkten an. Zu diesem Zweck entwickelt AIXTRON aktiv ein breites Technologieportfolio durch eigene oder geförderte Entwicklungen, durch Kooperationen oder ge-zielte Zukäufe. Darüber hinaus arbeitet AIXTRON eng mit seinen Kunden zusammen, um neue Technologien zu etablieren, die wiederum neue Anwendungen erschließen.

Dabei legt AIXTRON seinen Fokus auf Märkte, in denen der Einsatz der AIXTRON-Technologie eine klare Differenzierung gegenüber Wettbewerbern ermöglicht und somit einen entscheidenden Mehrwert für den Kunden bietet. Dazu zählt unter anderem das Erreichen einer hohen Ausbeu-te auf dem Wafer (Yield). Diese wird erzielt durch eine hohe Homogenität der physikalischen Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten, bei gleichzeitig hohem Durchsatz und niedrigen Material- und Wartungskosten. In Märkten, die kein ausreichendes technisches Differenzierungs-potenzial bieten, können nur niedrige Margen erzielt werden.

AIXTRON verfolgt mit seinen auf dem Planetenprinzip beruhenden Anlagenfamilien AIX 2800G4, AIX G5 und AIX G5WW eine Plattformstrategie. Bei einem hohen Anteil von Gleichteilen können die Anlagen kundenspezifisch angepasst werden. Dies ermöglicht wie im vorherigen Abschnitt skizziert eine breite Diversifizierung und die Bedienung zahlreicher Anwendungen. Neben den Anlagenfamilien AIX 2800G4 und AIX G5/G5WW, die Kunden mit hohem Produktionsvolumen ad-ressieren, vertreibt AIXTRON auf dem Showerheadprinzip beruhende Anlagen in Universitäts- und Nischenmärkten. Dies ermöglicht uns u. a. früh bei der Entwicklung neu entstehender Anwen-dungen mitzuwirken und die entstehenden Kundenbedürfnisse in neuen Märkten zu verstehen.

Neben der Produktlinie MOCVD erschließt AIXTRON eine weitere Produktlinie im Anwendungs-bereich der Dünnschichtabscheidung organischer Materialien in erster Linie für OLED-Displays. Dazu hat die AIXTRON SE im Geschäftsjahr 2018 eine Joint Venture-Vereinbarung mit der H&IRUJA Co. Ltd., Südkorea, zur Investition in die für diesen Anwendungsbereich verantwortliche APEVA geschlossen. Es folgte die Evaluierung von APEVAs OVPD-(Organic Vapor Phase Deposition) Tech-nologie in Zusammenarbeit mit einem großen asiatischen OLED-Displayhersteller, bei der ein Prototyp in Gen1-Größe und ein größerer Gen2-Prototyp bei diesem Kunden zum Einsatz kamen. Im Dezember 2020 erhielt APEVA die endgültige Abnahme der Gen2-Depositionsanlage durch den Kunden. Damit ist diese Phase des Qualifizierungsprojekts auf dem Weg zur Kommerzialisierung von APEVAs proprietärer Technologie erfolgreich abgeschlossen. Über ein letztes Qualifizierungs-projekt zur Serienreife führt APEVA derzeit Kundengespräche.

Darüber hinaus arbeitet AIXTRON an Innovationsprojekten zur Entwicklung und Industrialisierung von neuartigen Technologien, beispielsweise zur Herstellung von Graphen und Kohlenstoff-Nano-röhren auf Basis des plasmaunterstützten CVD-Verfahrens (PECVD).

Steuerungssystem

Da zahlreiche Geschäftsaktivitäten innerhalb des Konzerns auf operativer Ebene weitestgehend integriert sind, steuert der Vorstand der AIXTRON SE die Gruppe auf Ebene des Gesamtkonzerns. Die vom Vorstand für den Konzern prognostizierten Entwicklungen treffen somit auch für die AIXTRON SE zu.

Bedeutende finanzielle Steuerungskennzahlen

Die zentralen finanziellen Steuerungskennzahlen der AIXTRON-Gruppe sind Auftragseingang, Um-satzerlöse, Bruttomarge und das Ergebnis vor Steuern und Finanzergebnis im Verhältnis zum Um-satz (EBIT-Marge). Sie werden im Berichtswesen von AIXTRON grundsätzlich monatlich ermittelt und dem Management in einem umfangreichen Bericht zur Verfügung gestellt. Auf diese Weise kann der Vorstand Wachstumsträger frühzeitig identifizieren, unterjährige Entwicklungen analy-sieren und im Falle von erkennbaren Abweichungen zeitnah gegensteuern.

AIXTRON strebt ein organisches Wachstum der Umsatzerlöse an; etwaige Wechselkurseffekte werden bei der Festlegung der Umsatzziele ausgeklammert. Der Auftragseingang bildet das In-vestitionsverhalten unserer Kunden ab und dient damit als Frühindikator für die Umsatzerlöse. Der Zeitraum zwischen dem Eingang und der Lieferung eines Auftrags für eine MOCVD-Anlage liegt in der Regel zwischen sechs bis acht Monaten.

Die Bruttomarge, die das Bruttoergebnis ins Verhältnis zum Umsatz setzt, gibt Aufschluss über die Profitabilität und Rentabilität des operativen Geschäfts bei AIXTRON. Als bedeutende Größe für die operative Steuerung und Analyse der Ertragslage wird zudem die EBIT-Marge herangezogen.

Weitere Steuerungskennzahlen

Der Free Cashflow wird bei AIXTRON seit dem Geschäftsjahr 2020 nicht mehr als zentrale Steue-rungskennzahl eingesetzt, da sich der exakte Zeitpunkt von großen Zahlungseingängen aus lau-fenden Kundenaufträgen schwer prognostizieren lässt. Gleichwohl legt das Management weiter-hin großen Wert darauf, mittel- und langfristig stets einen ausreichenden Cashflow zur Sicherung der finanziellen Mittel des Konzerns zu erzielen.

Mit Einführung des von der Hauptversammlung am 20. Mai 2020 gebilligten neuen Vorstands-vergütungssystems hat AIXTRON erstmals Nachhaltigkeits-Ziele für den Vorstand definiert und entsprechende nichtfinanzielle Leistungsindikatoren in die Konzernsteuerung miteinbezogen. Für die Geschäftsjahre 2020 und 2021 wurden die folgenden nichtfinanziellen Leistungsindikatoren festgelegt:

• • der Energieverbrauch des AIXTRON-Konzerns

  (gemessen in kWh normiert auf die wichtigsten Verbrauchstreiber)

• • die Weiterbildung der Mitarbeiter des AIXTRON-Konzerns (gemessen in absolvierten Weiterbildungsstunden)

Forschung und Entwicklung (F&E)

Neben dem F&E-Zentrum am Hauptsitz in Herzogenrath unterhält AIXTRON ein weiteres For-schungs- und Entwicklungslabor in Cambridge (Großbritannien). Diese mit AIXTRON-Anlagen aus-gestatteten Labore dienen der Erforschung und Entwicklung neuer Anlagen, Materialien und Ver-fahren zur Produktion von Halbleiterstrukturen.

Fokus auf Innovation

Die F&E-Aktivitäten des Konzerns umfassten im Jahr 2020 erneut Entwicklungsprogramme für neue Produkte genauso wie kontinuierliche Verbesserungsprogramme für die bereits bestehen-den Produkte von AIXTRON. Um die Kosten stetig zu senken, wurden Design-to-Cost-Aktivitäten und strategische Ansätze zur Optimierung der Wartungsintervalle in zahlreichen F&E-Projekten umgesetzt, z.B. durch Designverbesserungen bei extern bereitgestellten Komponenten oder durch verbesserte Datenanalysen. Zudem arbeitet AIXTRON an kundespezifischen Entwicklungs-projekten und forscht an neuen Technologien, oft auch im Rahmen öffentlich geförderter Projekte.

Die hohe F&E-Kompetenz bleibt für AIXTRON von großer strategischer Bedeutung, da sie für ein wettbewerbsfähiges Portfolio von Spitzentechnologien sorgt und die zukünftige Geschäftsent-wicklung unterstützt. AIXTRON investiert gezielt in Forschungs- und Entwicklungsprojekte, um die führende technologische Stellung bei MOCVD-Systemen für Anwendungen wie Laser, Spezi-al-LEDs und die Produktion von Materialien mit großem Bandabstand (Wide-Band-Gap) für Leis-tungselektronik zu erhalten bzw. auszubauen. Zudem wird an neuartigen 2D-Nanostrukturen gearbeitet, denen in der Forschung im Einklang mit internationalen Vorhersagen (Roadmaps) großes Potenzial beigemessen wird.

APEVA evaluiert weiterhin die OVPD-Technologie, um eine Kundenqualifikation für die Herstellung von OLED-Displays zu erreichen. Im 4. Quartal 2020 wurde das Gen2-OLED-Qualifikationsprojekt gemeinsam mit Ingenieuren eines renommierten Displayherstellers abgeschlossen. Weitere In-formationen zum Tätigkeitsfeld von APEVA finden sich u.a. im Chancenbericht und im Kapitel Er-gebnisentwicklung dieses Berichts.

Für die konsequente technologische Weiterentwicklung unseres Produktportfolios haben wir auch im herausfordernden Jahr 2020 mit 58 Mio. Euro mehr als jeden fünften Euro (rd. 22%) des Um-satzes in Forschung und Entwicklung (F&E) investiert. Zum Jahresende 2020 waren 254 der insge-samt 728 Mitarbeiter der AIXTRON-Gruppe mit Forschung und Entwicklungsaufgaben beschäftigt.

Schutz der Technologie durch Patente

AIXTRON strebt an, seine Technologien über entsprechende Patente zu sichern, sofern diese für das Unternehmen strategisch sinnvoll sind. Zum 31. Dezember 2020 verfügte der Konzern über 274 (davon AIXTRON SE: 250) Patentfamilien (31. Dezember 2019: 248 Patentfamilien). Im Berichtszeit-raum wurden für 34 (davon AIXTRON SE: 22) Patentfamilien Patente neu beantragt. Patentschutz für Erfindungen wird üblicherweise jeweils in den für AIXTRON wesentlichen Absatzmärkten, ins-besondere in Europa, China, Japan, Südkorea, Taiwan und den USA angestrebt. Patente werden jährlich erneuert und laufen zwischen 2021 und 2040 aus. AIXTRON führt kontinuierlich eine welt-weite Patentanalyse durch, um Veränderungen im Wettbewerbsumfeld frühzeitig feststellen und einschätzen zu können.

Forschungsprojekte 2020

AIXTRON arbeitet zielgerichtet an Forschungsprojekten in Bereichen, denen Wachstumspoten-ziale in der Zukunft beigemessen werden. Während das Forschungsprojekt "HEA2D" 2019 erfolg-reich abgeschlossen wurde, läuft die Bearbeitung des Vorjahresprojekts "UltimateGaN" weiter. Das Forschungsthema "MOCVD 4.0" wurde mit dem Projekt "MOCVD 4.2" im Geschäftsjahr 2020 fortgesetzt.

Beispielhaft für die Forschungsarbeit des Konzerns im Jahr 2020 seien an dieser Stelle die Projekte "MOCVD 4.2", "MehrSi" und "SiTaSol" sowie "2D-EPL" und "AdaptAR" erwähnt:

Unsere 2019 begonnenen Forschungsarbeiten zur Optimierung der Produktion von Verbindungs-halbleitern "MOCVD 4.2" liefern bereits wichtige Ergebnisse für die Digitalisierung und Opti-mierung der industriellen Produktion. Aus den gesammelten und analysierten Daten ergeben sich Eingangswerte für vernetzte und automatisierte Maschinenkonzepte, intelligenter Software und eine verbesserte Prozesskontrolle. Die hierbei erarbeiteten Grundlagen sollen der Einführung neuer Softwarebasierter Dienstleistungen dienen. Ziel ist es, das Projekt Ende 2021 erfolgreich abzuschließen.

Ein Steigerung der Ausbeute in Solarzellen wird im Rahmen des geförderten Projekts "MehrSi" zusammen mit dem Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme ISE, der TU Ilmenau, der Philipps Universität Marburg von AIXTRON angestrebt. Hier wurde zum Beispiel mit einer di-rekt auf einem Siliziumsubstrat gewachsenen Mehrfachsolarzelle erstmals ein Wirkungsgrad von 25,9 Prozent erzielt. Damit wurde nun eine zentrale Etappe bei der Entwicklung von wirtschaft-lichen Lösungen für die industrielle Nutzung von Mehrfachsolarzellen für die Stromerzeugung erreicht. Dies gelang in dem Projekt dank der von AIXTRON entwickelten verbesserten Anlagen-technologie und der guten Zusammenarbeit mit den Projektpartnern.

In dem von der EU geförderten Projekt "SiTaSol", ebenfalls zum Thema effiziente Energieerzeu-gung mit Solarzellen, soll durch kostengünstige Verfahren die Tandem-Solarzellen-Technologie für die breite Photovoltaik zugänglich gemacht werden. An solchen III-V-Mehrfachsolarzellen auf Silizium arbeitet AIXTRON mit einigen Verbundpartnern bereits seit mehreren Jahren. Im Rahmen des Projektes hat AIXTRON eine speziell optimierte Epitaxie-Anlage im eigenen Labor aufgebaut und getestet.

AIXTRON engagiert sich als einer von elf Partnern in der Initiative 2D Experimental Pilot Line "2D-EPL" des "Graphene Flagship"-Projekts der Europäischen Kommission. Das Projekt wurde am 1. Oktober 2020 gestartet und zielt darauf ab, ein geeignetes europäisches Umfeld für die Proto-typ-Produktion von Elektronik, Photonik und Sensorik aus Graphen und verwandten Materialien zu schaffen. Um Graphen- und 2D-Materialien zur Marktreife zu bringen und in Halbleiterbau-elemente zu integrieren, wird AIXTRON im Rahmen dieser Initiative einen MOCVD-Reaktor ent-wickeln. Mit Hilfe dieser Wachstumstechnologie können 2D-Materialien und die damit verbunde-nen Heterostrukturen in Industriequalität hergestellt werden. Künftige Anwendungsbereiche für die Integration von Graphen und 2D-Materialien im großen Maßstab könnten Logik-, Speicher-, Photonik- und Sensorbauelemente sein.

Auch an innovativen Fertigungsverfahren arbeitet AIXTRON im Rahmen von Forschungsprojekten. So wird zum Beispiel im Rahmen des Forschungsprojekts "AdaptAR" ein Augmented-Reality-Sys-tem mit Digitalem Zwilling als Datengrundlage erarbeitet. Bei dem durch das Bundesministeriumfür Bildung und Forschung (BMBF) im Programm "Innovationen für die Produktion, Dienstleistung und Arbeit von morgen" geförderten Projekt erhält jedes Produkt in der Fabrik einen sogenannten digitalen Zwilling oder digitalen Schatten. Mit einer Lösung aus Augmented Reality (AR) und Di-gitalem Zwilling, so die Erwartung von AIXTRON, werden sich z.B. technische Anleitungen leichter und intelligenter erstellen, nutzen und pflegen lassen als bisher. Die AR-gestützte Technik kann zur Effizienzsteigerung mit einem Remote-Service-Angebot verknüpft werden.

Wirtschaftsbericht

Weltwirtschaft

Als Investitionsgüterhersteller kann AIXTRON von der Entwicklung des allgemeinen wirtschaft-lichen Umfelds betroffen sein, da sich dieses auf die eigenen Lieferanten, auf die Herstellungs-kosten und auf die Absatzmöglichkeiten, getrieben durch die Investitionsbereitschaft der Kunden, auswirken könnte.

Die Weltwirtschaft befindet sich nach starker Kontraktion in 2020 noch nicht wieder in einer er-hofften breiten Erholungsphase. Nach verhalten positivem Start in das Jahr 2020 wurde die COVID-19-Pandemie in vielen Branchen schnell zum beherrschenden Faktor für die wirtschaftliche Ent-wicklung. Die weltweite Ausbreitung des Virus und seiner Mutationen sowie die teils drastischen Maßnahmen zu deren Eindämmung haben zu starken Verwerfungen auf Absatz- und Beschaf-fungsmärkten sowie bei internationalen Lieferketten geführt und dabei Staaten, Unternehmen und Verbraucher mit einer vielschichtigen Krise konfrontiert. Eine Reihe von Impfstoffzulassungen und der Start der Impfungen in einigen Ländern haben die Hoffnung auf ein mögliches Ende der Pandemie geweckt. Die Hauptlast des wirtschaftlichen Abschwungs lag im ersten Halbjahr 2020. Beispiellose fiskalische, geldpolitische und regulatorische Maßnahmen halfen dabei, die wirt-schaftlichen Folgen der Pandemie vielerorts wesentlich abzumildern und eine zügige Erholung zu ermöglichen. Dies spiegelt sich auch in der Prognose des Internationalen Währungsfonds (IWF) in seinem World Economic Outlook vom Januar 2021 wider. Für das Gesamtjahr 2020 rechnet der IWF mit einem Einbruch der weltweiten Wirtschaftsleistung von -3,5% nach 2,8% Wachstum in 2019. Für die Industrienationen liegt die erwartete Wachstumsrate bei -4,9% (2019: +1,6%), die Wachstumsrate für die Schwellen- und Entwicklungsländer soll bei -2,4% (2019: +3,6%) liegen. Der Welthandel soll um 9,6% schrumpfen. Entsprechend schwierig ist auch die Lage im stark exportorientierten deutschen Maschinen- und Anlagenbau. Gemäß Berichten des Verbands Deut-scher Maschinen- und Anlagenbau e. V. (VDMA) steht für die ersten elf Monate des Jahres 2020 ein Rückgang der Auftragseingänge um 12%1 zu Buche. Im Gegensatz dazu stiegen die Investitio-nen in Fertigungsanlagen für Halbleiterwafer (Wafer Frontend Equipment) laut Schätzungen der Investmentbank UBS AG im Jahr 2020 um 17% auf fast USD 59 Milliarden.

1) VDMA: Auftragseingang im Maschinenbau: Ostdeutschland und Deutschland, November 2020

Auf die Geschäftsentwicklung des AIXTRON-Konzerns hatte die Eintrübung des allgemeinen welt-wirtschaftlichen Umfelds im Jahr 2020 in Folge der COVID-19-Pandemie nur geringe Auswirkun-gen. Die Nachfrage nach AIXTRON-Produkten hängt im Wesentlichen von branchenspezifischen Entwicklungen ab, wie z.B. der Einführung neuer Anwendungen in der Unterhaltungselektronik oder der Nachfrage in Teilsegmenten des globalen Halbleitermarktes, welche sich - auch auf-grund des durch die Pandemie verstärkten Trends zur Digitalisierung - insgesamt weiterhin stabil zeigten. Wie viele Technologie-Hardware-Unternehmen haben wir die COVID-19-Pandemiewelle bislang ohne wesentliche Beeinträchtigungen der Wertschöpfung überstanden. Zudem konnte der operative Betrieb im abgelaufenen Geschäftsjahr unter Einhaltung strenger Schutzmaßnah-men für die Sicherheit unserer Mitarbeiter durchgehend aufrechterhalten werden. Daneben konn-ten wir durchgehend und ohne Unterbrechungen auf eine stabile Lieferkette zugreifen.

Nachdem der US-Dollar-Wechselkurs sich während der ersten Welle der COVID-19-Pandemie im Frühjahr mit Kursen um 1,08 USD/EUR noch sehr stark zeigte, schwächte er sich im weiteren Ver-lauf des Jahres 2020 deutlich ab. Hierzu trugen auch Aussagen der amerikanischen Notenbank Fed bei, sich künftig stärker auf hohe Beschäftigung zu fokussieren und die Zinsen auch bei anziehender Wirtschaftsleistung und Inflation länger niedrig zu halten. So schloss der US-Dollar zum Jahresende am 31. Dezember 2020 bei 1,2232 USD/EUR (2019: 1,122 USD/EUR) und wertete damit insgesamt um knapp 9% ab. AIXTRON wendete im Geschäftsjahr 2020 einen durchschnitt-lichen USD/EUR-Wechselkurs von 1,14 USD/EUR (Q1/2020: 1,11 USD/EUR; Q2/2020: 1,10 USD/EUR; Q3/2020: 1,17 USD/EUR; Q4/2020: 1,18 USD/EUR) an, der damit knapp 2 Prozent über dem Vorjah-resdurchschnitt lag (2019: 1,12 USD/EUR).

Dies hatte entsprechend negative Auswirkungen auf die in US-Dollar-fakturierten Umsatzerlöse des Konzerns.

Der AIXTRON-Vorstand analysiert die Entwicklung der Weltwirtschaft und der Finanzmärkte fort-laufend und entscheidet darauf aufbauend, welche Maßnahmen zu ergreifen sind, um AIXTRON vor nachteiligen exogenen Einflüssen zu schützen. Im Jahr 2020 wurden keine Devisenterminge-schäfte oder sonstige Kurssicherungsgeschäfte durchgeführt. Daher bestanden zum 31. Dezember 2020 keine Kurssicherungsverträge. Der Vorstand behält sich vor, in Zukunft Kurssicherungsge-schäfte durchzuführen, sollte dies als sinnvoll erachtet werden.

Wettbewerbsposition

Wettbewerber im Markt für CVD/MOCVD-Anlagen sind Veeco Instruments, Inc. (USA) ("Veeco''), Taiyo Nippon Sanso (Japan) ("TNS"), Tokyo Electron Ltd. (Japan) ("TEL"), Advanced Micro-Fabrica-tion Equipment Inc. (China) ("AMEC"), Tang Optoelectronics Equipment Corporation Limited (Chi-na) ("TOPEC") sowie LPE (Italien) und Nuflare Technology Inc. (Japan) ("Nuflare"). Auch andere Unternehmen versuchen weiterhin, eigene MOCVD-Anlagen bei ihren Kunden zu qualifizieren. So haben beispielsweise Technology Engine of Science Co. Ltd. (Südkorea) ("TES") und HERMES Epitek (Taiwan) ("HERMES") an der Entwicklung eigener MOCVD-Anlagenlösungen gearbeitet und versuchen, diese im Markt zu etablieren.

Auf der Basis der veröffentlichen Geschäftszahlen der Wettbewerber sowie eigener Schätzun-gen sieht AIXTRON seine weltweite Marktführerschaft für MOCVD-Anlagen im Jahr 2019 bestätigt. AIXTRON belegt damit im vierten Jahr in Folge den Spitzenplatz: Der Marktanteil von AIXTRON betrug demnach 56%, gefolgt von AMEC (China) mit 25% und Veeco (USA) mit 14%. Gleichzeitig stagnierte der weltweite Markt für MOCVD-Anlagen 2019 im Vergleich zum Vorjahr bei insge-samt USD 524 Mio. (2018: USD 553 Mio.).

Aufgrund des begrenzten Differenzierungspotenzials im Markt für blaue LEDs konzentriert sich AIXTRON verstärkt auf Märkte für hochqualitative Produkte, wie Laser für Sensoren oder die opti-sche Datenkommunikation, Wide-Band-Gap-Leistungselektronik oder andere LED-Anwendungen (ROY-LEDs oder Micro LEDs).

Bei Anlagen zur Herstellung von Anwendungen organischer Halbleiter konkurriert APEVA mit eta-blierten Herstellern von vakuumthermischen Verdampfungstechnologien wie Canon Tokki Cor-poration (Japan), Ulvac, Inc. (Japan), SNU Precision (Südkorea), Sunic System (Südkorea), YAS (Südkorea) sowie Herstellern von nasschemischen Drucktechnologien für z.B. Polymer-OLEDs wie Kateeva(USA),Panasonic(Japan),SEMES(Südkorea)undTokyoElectronLtd.(Japan)("TEL")sowie einer Anzahl kleinerer Unternehmen. Während diese vakuumthermische Verdampfungstechno-logien (Vacuum Thermal Evaporation, "VTE") und Polymertechnologien zur Herstellung von OLEDs einsetzen, verwendet APEVA die innovative Technologie der organischen Gasphasenabscheidung OVPD für großflächige Beschichtungen. APEVA ist davon überzeugt, dass diese Technologien den herkömmlichen VTE- und polymertechnischen Verfahren technisch überlegen sind und niedrigere Herstellungskosten für OLEDs ermöglichen. APEVA positioniert sich selbst als alternativen Liefe-ranten von Depositionsanlagen zur großflächigen Herstellung von OLEDs der nächsten Generation für Anwendungen wie z.B. Displays, Solarzellen und andere OLED-Anwendungen.

Zielmärkte

Markt für LEDs

Der Markt für LEDs, die mit AIXTRON-Verbindungshalbleiteranlagen produziert werden können, gliedert sich in verschiedene Anwendungen, die von AIXTRON mit entsprechend angepassten Strategien adressiert werden.

Rote, orange und gelbe LEDs (ROY-LEDs) werden in Mini LED-Displays unter anderem in Großfor-mat-Farbdisplays für Sportstadien, Flughäfen und Einkaufszentren sowie in Automobilrückleuch-ten oder für die Agrartechnologie eingesetzt. Zudem werden zunehmend Fernseher und Monitore im Premiumsegment mit Mini LEDs ausgestattet. Infolgedessen ist der Markt für rote, orange und gelbe LEDs (ROY-LEDs) im Jahr 2019 um 9% auf USD 1,6 Mrd. gewachsen. Der Markt für Anlagen zur Herstellung von Infrarot- und ROY-LEDs soll sich von 2020 bis 2025 verdoppeln und USD 108 Mio. erreichen (Epitaxy Growth Equipment for More than Moore Devices Report, Yole, 2020). Der Bedarf an weltweit eingesetzter Fläche von direkt emittierenden, großflächigen LED-Display-Wänden wächst gemäß Yole mit durchschnittlich 63% im Jahr zwischen 2017 und 2024.

Das größte Wachstumspotential im LED-Bereich stellt gemäß LEDinside der Markt für Micro LEDs dar. Analysten erwarten den Einsatz von Micro LEDs zunächst in sehr kleinen Displays wie etwa Smartwatches und sehr großen Displays wie etwa großflächige Premium-TVs. Langfristige Ein-satzmöglichkeiten bieten darüber hinaus Displays in Smartphones, Tablets und Notebooks. Die Micro LED Technologie befindet sich derzeit noch im Entwicklungsstadium, so dass die Abschät-zungen zur künftigen Marktgröße verschiedener Analysten stark divergieren. So sagt zum Bei-spiel LEDInside ein Wachstum des Micro LED-Marktes von USD 318 Mio. in 2020 auf USD 2,9 Mrd. im Jahr 2025 voraus. Mit zunehmender Reife der Micro LED-Technologie erwartet AIXTRON, dass sowohl die einzelnen Anwendungsfelder als auch Marktgrößen und die technischen Anforderun-gen klarer hervortreten.

Ein weiteres, kleines Segment im LED-Markt, das AIXTRON adressiert, ist der Markt für Ultravi-olett-LEDs (UV-LEDs). Diese werden für das Aushärten von Kunstoffen und - getrieben besonders im Jahr 2020 durch die COVID-19-Pandemie - zur Desinfektion von Oberflächen, von zirkulierender Luft und von (Trink-)Wasser eingesetzt. Aufgrund des gesteigerten Hygiene-Bewusstseins könnte dieser Markt in der Zukunft an Bedeutung gewinnen. Der Markt für UV-LEDs wird laut LEDInside (Deep UV LED Application Market and Branding Strategies, LEDInside 2020) mit einer sehr schnel-len Wachstumsrate von USD 305 Mio. im Jahr 2019 auf USD 1.021 Mio. im Jahr 2024 anwachsen, bei einem jährlichen Wachstum von 27 %.

Für die Anwendung der blauen LEDs für Allgemeinbeleuchtung wird aufgrund von Sättigung der erforderlichen Produktionskapazität einerseits und aufgrund der kontinuierlich sinkenden Preise andererseits nur mäßiges Wachstum prognostiziert. Aus dieser Anwendung hat sich AIXTRON insbesondere wegen des vorherrschenden, niedrigen Preisniveaus bereits 2017 zurückgezogen.

Markt für laserbasierte 3D-Sensoren

Laserbasierte 3D-Sensoren werden zunehmend in Mobiltelefonen eingesetzt, seit sie im Jahr 2017 mit dem iPhone X in den Markt eingeführt wurden. Apple nutzt diese Technologie in sei-nen Smartphones in der dritten Generation und setzt sie nun auch in den Tablet-Baureihen ein. Darüber hinaus statten zunehmend weitere Mobiltelefonhersteller ihre Modelle mit 3D-Sensoren aus. Neben Sensoren auf der Display-Seite des Mobiltelefons für die Gesichtserkennung werden in immer mehr Modellen zusätzliche 3D-Sensoren mit größerer Reichweite auf der Rückseite der Mobiltelefone eingesetzt, mit denen die Umgebung dreidimensional erfasst werden kann. So ist die Unterhaltungselektronik in den nächsten Jahren gemäß dem Marktforschungsunternehmen Yole Développement (Yole) der wesentliche Nachfragetreiber für laserbasierte 3D-Sensoren. Yole erwartet ein Wachstum für oberflächenemittierende Laser von USD 738 Mio. im Jahr 2018 auf 3,775 Mrd. USD im Jahr 2024, was einer durchschnittlichen jährlichen Wachstumsrate (Compound Annual Growth Rate "CAGR") von 31% entspricht.

Neben den Anwendungsbereichen in der Unterhaltungselektronik werden Kanten- und oberflä-chenemittierende Laser im Bereich der 3D-Sensorik zunehmend in der Industrie und der Auto-mobilbranche verwendet. Yole erwartet bis 2024 eine stark ansteigende Nachfrage für diese Bauelemente vor allem aus der Automobilbranche, als Element zur Distanzmessung in Fahrer-assistenzsystemen und in automobilen Fahrzeugen.

Markt für Laser zur optischen Datenübertragung

Das Volumen der mittels Glasfaserkabel übertragenen Daten wächst nach wie vor exponentiell, angetrieben von der zunehmenden Nutzung von Cloud-Computing und von Internet-Dienstleis-tungen. Insbesondere die zunehmende Nutzung von Video-on-Demand sowie die Kommunika-tion vernetzter Geräte über das Internet ("Internet-of-Things") tragen zu steigenden Datenvolu-mina bei. Neben den Datenvolumina, spielt auch die bei optischer Datenübertragung enorm hohe Übertragung mit Lichtgeschwindigkeit eine große Rolle. Laser, die auf Anlagen von AIXTRON her-gestellt werden können, sind wesentliche Bauelemente für die schnelle optische Datenübertra-gung. Das Anwachsen des weltweiten Datenverkehrs durch die mobile Telekommunikation, die Umstellung auf 5G-Standards und der Datentransfer per Glasfaser erhöhen den Bedarf an Lasern als optische Signalgeber, Photodioden als Empfänger sowie optischen Verstärkern und Schaltern.

Marktforschungsunternehmen wie OVUM, IDC oder Frost & Sullivan erwarten, dass Investitio-nen in die laserbasierte Kommunikation weiter zunehmen, um den wachsenden Datenverkehr zu ermöglichen. Aus diesem Grund geht das Marktforschungsunternehmen Strategies Unlimited davon aus, dass die Gesamtzahl der in der Telekommunikation eingesetzten Laser von 2020 bis 2025 mit einer jährlichen Wachstumsrate von 20,9 % wachsen wird. Das gesamte Marktvolumen im Jahr 2025 wird von Strategies Unlimited auf über USD 5,8 Mrd. prognostiziert.

Markt für Leistungshalbleiter auf Basis von Wide-Band-Gap (WBG) Materialien Galliumnitrid (GaN) und Siliziumkarbid (SiC)

Leistungshalbleiter auf Basis von Wide-Band-Gap (WBG) Materialien, welche mit AIXTRON-An-lagen hergestellt werden können, ermöglichen die Herstellung von sehr kompakten und hoch-effizienten Wandlern zwischen Gleich- und Wechselstrom. Sie finden daher zunehmende Verwen-dung in einem breiten Spektrum von Applikationen, die den Bereich von niedrigen (z.B. Netzteil von Smartphones) bis hin zu höchsten Leistungen (z.B. Schnellladestation für Elektrofahrzeuge) umfassen. WBG-Leistungshalbleiter reduzieren die Wandlungsverluste um bis zu 50% und tragen somit signifikant zu einer Steigerung der Energieeffizienz und Reduktion des CO2-Ausstoßes bei.

GaN-Halbleiterbauelemente werden vor allem im Bereich niedriger und mittlerer Leistungs- und Spannungsklassen eingesetzt, wie etwa in Netzteilen für Smartphones und Laptops, im Bereich des drahtlosen Ladens oder in Netzteilen für Server und andere IT-Infrastruktur. Nach einer län-geren Qualifikations-Phase haben GaN-Bauelemente in kompakten Netzteilen für Smartphones und Notebooks im Jahr 2020 erstmals signifikantes Volumen erzielt. Kompakte Ladegeräte auf Basis von GaN-Bauelementen werden nunmehr von einer Vielzahl von Aftermarket-Firmen an-geboten. Ebenso wurden Leistungsschalter auf GaN-Basis für eine Vielzahl von hocheffizienten Server-Netzzeilen qualifiziert, die in den kommenden Jahren im Volumen produziert werden. Wei-tere Anwendungen von GaN-Bauelementen wie etwa der Einsatz im kompakte On-Board Charger (OBC) für Elektrofahrzeuge werden derzeit von Kunden vorbereitet.

Aufgrund der vielfältigen Einsatzmöglichkeiten erwarten Omdia-Analysten, dass der Markt für GaN-Leistungshalbleiter im Jahr 2020 um 63% auf USD 41,4 Mio. steigen würde. Das jährliche Wachstum würde auch 2022 und in den Folgejahren sehr hoch bleiben, mit einem durchschnitt-lichen jährlichen Wachstum (CGAR) von 49,1 % von 2019 bis 2029, um USD 1.376 Mio. im Jahr 2029 zu erreichen.

Ferner finden GaN-Halbleiterbauelemente zunehmenden Einsatz im Bereich der Hochfrequenz-technik. In 5G-Telekommunikationsnetzwerken und - voraussichtlich - auch in nachfolgenden Netzwerk-Generationen kommt der Vorteil der GaN-Technologie von geringeren Leistungsver-lusten bei hohen Frequenzen zum Tragen. Daher stellen immer mehr Hersteller ihre Produktion von Hochfrequenzschaltern auf GaN um. Yole- Analysten erwarten, dass der Markt für GaN-Hoch-frequenz-Halbleiterbauelemente von USD 740 Mio. im Jahr 2019 auf USD 2 Mrd. im Jahr 2025 mit einem durchschnittlichen jährlichen Wachstum (CAGR) von +12 % wachsen wird.

Auch WBG-Leistungsbauelemente aus Siliziumkarbid (SiC) haben im Jahr 2020 starken Rücken-wind verzeichnen können. Sie eignen sich besonders für den Einsatz in höheren Leistungs- und Spannungsklassen. Anwendungsbereiche sind vor allem Elektrofahrzeuge und deren Schnell-La-destationen, aber auch Wandler im Bereich der Photovoltaik und Windenergie und andere elekt-rische Antriebe. In diesen Anwendungen ermöglicht SiC eine deutliche Reduktion der Wandlungs-verluste, was bei Fahrzeugen zu einer größeren Reichweite pro Batterieladung und im Bereich der Energieerzeugung zu einer höheren Menge an abgegebener Energie führt.

Getrieben durch deutlich gesteigertes Bewusstsein der Bedeutung von CO2-Reduktion, sowohl in der Regulatorik als auch im privaten Sektor, haben Fahrzeughersteller weltweit ihre Ziele für die Elektrifizierung des Antriebsstranges angezogen. So erwarten etwa Volkswagen und BMW bis 2030 30% und 50% ihrer Fahrzeuge mit einem elektrischen Antriebsstrang auszuliefern.

Aufgrund dieses Trends prognostiziert der Finanzdienstleister Canaccord Genuity, dass der Markt für SiC-Bauelemente von derzeit unter USD 1 Mrd. auf USD 10 Mrd. im Jahre 2030 anwächst. Ge-mäß Cannacord ist dies insbesondere auf die Entwicklung von Elektroautos und die entsprechen-de Schnell-Ladeinfrastruktur zurückzuführen.

Markt für OLED-Displays

Der Markt für OLED-Displays wurde in den letzten Jahren maßgeblich durch die Nutzung in Mobil-telefonen geprägt. Für die kommenden Jahre erwartet APEVA eine weiter zunehmende Nutzung der OLED-Displays in mobilen Endgeräten, besonders auf dem chinesischen Markt. Zusätzlich wird weiteres Wachstum im OLED-Markt durch die zunehmende Verbreitung von OLED-Fernsehern er-wartet.

Aufgrund steigender Nachfrage nach OLED-Displays wird in diesem Marktsegment mittel- bis langfristig substanzielles Wachstumspotenzial erwartet. So erwarten etwa die Analysten von DSCC (Display Supply Chain Consultants), dass der Markt für OLED-TV-Panels von ca. 4 Millionen Quadratmeter im Jahr 2020 auf ca. 15 Millionen Quadratmeter im Jahr 2025 ansteigen soll. Einenweiteren Wachstumstreiber im Bereich OLED stellt die zunehmende Verwendung von flexiblen und faltbaren Displays in mobilen Applikationen dar. Für diese Formfaktoren sagen die Analysten von DSCC eine jährliche Wachstumsrate (Compound Annual Growth Rate CAGR) von 23 % voraus; die hierfür verwendete OLED-Displayfläche steigt von 2,5 Millionen Quadratmetern im Jahr 2020 auf rund 7 Millionen Quadratmeter im Jahr 2025.

Geschäftsverlauf

Das Geschäftsjahr 2020 war maßgeblich geprägt von den anhaltenden Spannungen im globalen Handel und Unsicherheiten um den Austritt Großbritanniens aus der EU (BREXIT) einerseits und vom Ausbruch der COVID-19-Pandemie andererseits. Beide Ereignisse hatten einen erheblichen Einfluss auf die wirtschaftliche Lage vieler Unternehmen und die weltweiten Handelsaktivitäten. Bei AIXTRON beschränkten sich die negativen Auswirkungen auf vereinzelte Verzögerungen von Anlageninstallationen bei Kunden, vornehmlich in der ersten Jahreshälfte. Sowohl unsere Liefer-ketten als auch unsere Produktion und Verwaltung funktionierten im Verlauf der Pandemie wei-testgehend reibungslos. Dem BREXIT begegneten wir mit einer präventiv erhöhten Lagerhaltung wichtiger Komponenten sowohl in Großbritannien als auch in Deutschland. So konnten wir unsere vor Beginn der COVID-19-Pandemie abgegebene und im Jahresverlauf gehaltene Prognose aus-nahmslos erfüllen.

Die Nachfrage nach AIXTRON-Produkten lag auf einem hohen Niveau. Die hohe Kundennachfrage zeigte sich hauptsächlich bei Anlagen zur Herstellung von Lasern für die optische Datenkommuni-kation und 3D-Sensorik sowie bei Anlagen zur Herstellung energieeffizienter Leistungselektronik basierend auf Galliumnitrid (GaN) und Siliziumkarbid (SiC), ebenso bei Anlagen zur Herstellung von LEDs für Display Anwendungen. Insgesamt verzeichneten wir im Geschäftsjahr 2020 mit Auf-trägen im Gesamtwert von EUR 301,4 Mio. (2019: EUR 231,9 Mio.) ein Auftragsvolumen auf dem Niveau von 2018 mit EUR 302,5 Mio. Die Umsatzerlöse entwickelten sich wie erwartet und lagen mit EUR 269,2 Mio. (2019: EUR 259,6 Mio.) um rund 4% über dem Niveau des Vorjahres. Die er-zielte Bruttomarge lag mit 40% im Rahmen der Erwartungen. Die leicht gestiegenen Betriebs-kosten bei weiterhin signifikanten Zukunftsaufwendungen in F&E führten zu einem operativen Ergebnis von EUR 34,8 Mio. bei einer operativen Marge von 13% (2019: EUR 39,0 Mio.; 15%). Daraus resultierten ein Jahresüberschuss in Höhe von EUR 34,5 Mio. (2019: EUR 32,5 Mio.). Für das Geschäftsjahr 2020 wurde ein Free Cashflow (Cashflow aus betrieblicher Tätigkeit, bereinigt um Veränderungen bei Finanzanlagen - Investitionen + Erlöse aus Veräußerungen) von EUR 14,0 Mio. (2019: EUR 35,1 Mio.) ausgewiesen.

Bei der Ende 2019 vorgestellten, vollautomatisierten Planetenanlage AIX G5 WW C für die effizi-ente Großserienfertigung leistungsstarker Siliziumkarbid-Leistungselektronik haben wir im Ge-schäftsjahr 2020 wichtige Meilensteine erzielt. So wurde die Anlage bereits von zwei Kunden für die Produktion von SiC-Leistungshalbleitern qualifiziert und weitere Kunden haben die Anlage zur Qualifikation unserer Technologie erworben. Siliziumkarbid ist ein wichtiger Baustein moderner Leistungselektronik-Systeme, die derzeit in Elektrofahrzeugen der nächsten Generation einge-setzt werden und eine entscheidende Rolle für den elektrischen Antriebsstrang von Fahrzeugen spielen werden.

Im Rahmen unseres OLED-Qualifikationsprojektes, das gemeinsam von Ingenieuren unseres Kun-den und unserer Tochtergesellschaft APEVA betrieben wird, konnten wir im 4. Quartal 2020 einen wichtigen Meilenstein erreichen: Mit der endgültigen Abnahme der Gen2-Depositionsanlage durch den Kunden ist diese Phase des Qualifizierungsprojekts auf dem Weg zur Kommerzialisie-rung von APEVAs proprietärer Technologie erfolgreich abgeschlossen. Über ein letztes Qualifizie-rungsprojekt zur Serienreife führt APEVA derzeit Kundengespräche.

Um auch in der Zukunft eine nachhaltig profitable Entwicklung der AIXTRON-Gruppe zu erreichen, fokussiert sich unser Produktportfolio ausschließlich auf Produktlinien mit einem positiven Er-gebnisbeitrag oder solche, die in absehbarer Zeit einen signifikanten Return on Invest (ROI) ver-sprechen.

Ertragslage

Auftragsentwicklung

2020	2019	2018	2020-2019
Mio. EUR	Mio. EUR	Mio. EUR	Mio. EUR	%
Auftragseingang inkl. Ersatzteilen & Service	301,4	231,9	302,5	69,5	+30
Anlagen-Auftragsbestand (Periodenende)	150,9	116,7	138,3	34,1	+29

In 2020 erhaltene, US-Dollar basierte Auftragseingänge und der Anlagenauftragsbestand wur-den jeweils zum Jahres-Budgetkurs von 1,20 USD/EUR erfasst (2019: 1,20 USD/EUR; 2018: 1,20 USD/ EUR). Ersatzteil- und Serviceaufträge sind im Auftragsbestand nicht enthalten.

Der Gesamtauftragseingang inklusive Ersatzteilen & Service lag im Geschäftsjahr 2020 mit EUR 301,4 Mio. deutlich über dem Vorjahreswert. Diese Entwicklung wurde insbesondere durch die gestiegene Nachfrage aus dem Gebieten der Leistungselektronik, hier insbesondere der GaN-Leistungselektronik, aus der Optoelektronik, hier der optischen Datenkommunikation, getrieben. Im 4. Quartal 2020 lag der Auftragseingang mit EUR 92,2 Mio. um 30% über dem Vorquartal (3. Quartal 2020: EUR 70,8 Mio.).

Der Anlagenauftragsbestand zum 31. Dezember 2020 lag mit EUR 150,9 Mio. ebenfalls über dem Auftragsbestand am Jahresanfang 2020 von EUR 116,7 Mio. (jeweils zum Budgetkurs von 1,20 USD/EUR). Im Vergleich zum Ende des Vorquartals verringerte sich der Auftragsbestand per Jahresende um 8% (30. September 2020: EUR 164,1 Mio.).

Im Rahmen eines strengen internen Prozesses hat AIXTRON klare Bedingungen definiert, die für die Erfassung von Anlagenaufträgen im Auftragseingang und Auftragsbestand erfüllt sein müs-sen. Diese Bedingungen umfassen die folgenden Anforderungen:

• 1. das Vorliegen einer festen schriftlichen Bestellung,

• 2. den Eingang oder die Absicherung der vereinbarten Anzahlung,

• 3. die Verfügbarkeit aller für die Lieferung benötigten Dokumente,

• 4. die Vereinbarung eines vom Kunden bestätigten Lieferdatums.

Darüber hinaus und unter Einbeziehung aktueller Marktbedingungen behält sich der Vorstand das Recht vor zu prüfen, ob die tatsächliche Umsetzung jedes Auftrags innerhalb eines angemesse-nen Zeitraums auch hinreichend wahrscheinlich ist. Wenn der Vorstand im Rahmen dieser Prüfung zu dem Schluss kommt, dass die Realisierung eines Auftrags nicht hinreichend wahrscheinlich oder mit einem übermäßig hohen Risiko behaftet ist, wird dieser spezifische Auftrag oder ein Teil dieses Auftrags nicht in den Auftragseingang aufgenommen bzw. so lange von der Erfassung als Auftragseingang und Auftragsbestand ausgeschlossen, bis das Risiko auf ein vertretbares Maß gesunken ist. Der Auftragsbestand wird regelmäßig bewertet und - falls notwendig - entspre-chend möglicher Auslieferungsrisiken angepasst.

Umsatzentwicklung

Die Entwicklung der Umsatzerlöse im Geschäftsjahr 2020 wurde in erster Linie beeinflusst durch die Nachfrage nach MOCVD-Anlagen zur Herstellung von Optoelektronik, insbesondere von Lasern für die optische Datenkommunikation, zur Herstellung von Leistungselektronik, insbesondere von GaN- Leistungselektronik, sowie von Spezial-LEDs.

Die Umsatzerlöse im Geschäftsjahr 2020 beliefen sich auf EUR 269,2 Mio. und lagen somit rund 4% über dem Vorjahresniveau (2019: EUR 259,6 Mio.; 2018: EUR 268,8 Mio.). EUR 46,2 Mio. oder 17% der Umsatzerlöse wurden im Geschäftsjahr 2020 durch den Verkauf von Ersatzteilen und Serviceleistungen erzielt. Während sich die Umsatzerlöse im Geschäft mit MOCVD-Anlagen für Leistungselektronik gegenüber dem Vorjahr stark steigerten, blieb der Bereich Optoelektronik insbesondere aufgrund der erwartet niedrigen Nachfrage nach Laseranlagen für die 3D-Sensorik unter Vorjahresniveau. Der Bereich Spezial-LEDs lag insgesamt ebenfalls unter dem Vorjahres-niveau. Die Anlagen zur Herstellung von optoelektronischen Komponenten leisteten mit 33% des Anlagenumsatzes weiterhin den größten Umsatzbeitrag. 31% des Anlagenumsatzes trugen Anlagen zur Herstellung von Leistungselektronik bei, während 27% des Anlagenumsatzes von Anlagen zur Herstellung von LEDs, inkl. ROY-LEDs, ausmachten.

Umsatzerlöse nach Anlagen, Ersatzteilen & Kundendienst

2020 Mio. EUR

2019 % Mio. EUR

2018 % Mio. EUR

%

2020-2019 Mio. EUR

%

Anlagen-Umsatzerlöse

Sonstige Umsatzerlöse (Kundendienst, Ersatzteile etc.)

223,0 46,2

83 17

207,3 52,4

80 20

221,8 47,1

82 18

15,7 -6,1

8 -12

Gesamt

269,2

100

259,6

100

268,8

100

9,6

4

Mit EUR 197,0 Mio. entfiel weiterhin der Hauptanteil der gesamten Umsatzerlöse in 2020 auf die Nachfrage von Kunden aus Asien. Der geringere Anteil von nicht-asiatischen Kunden ist zurück-zuführen auf die regionale Verteilung der Kunden, welche die oben genannten Nachfragetreiber bedienen.

Umsatzerlöse nach Regionen

Mio. EUR

2020 % Mio. EUR

2019 % Mio. EUR

2018 %

2020-2019 Mio. EUR %

Asien Europa Amerika Gesamt

197,0 41,0 31,3 269,2

73 15 12 100

177,5 40,3 41,9 259,6

68 16 16 100

144,7 69,7 54,4 268,8

54 26 20 100

19,5 0,7 -10,6 9,6

11 2 -25 4

Ergebnisentwicklung

Herstellungskosten, Bruttoergebnis, Bruttomarge

Die Herstellungskosten betrugen im abgelaufenen Geschäftsjahr EUR 161,0 Mio. (2019: EUR 150,9 Mio.) und stiegen im Verhältnis zum Umsatz auf 60% (2019: 58%). Dies ist im Wesentli-chen auf einen ungünstigeren USD/EUR Wechselkurs vor allem im zweiten Halbjahr, einem verän-derten Produktmix sowie Kosten der Unterauslastung in Produktion und Service im ersten Halb-jahr zurückzuführen. Somit ergab sich im Geschäftsjahr ein Bruttoergebnis von EUR 108,3 Mio. was einer Bruttomarge von 40% entspricht.

Kostenstruktur

Mio. EUR

2020 % Ums. Mio. EUR

2019 % Ums. Mio. EUR

2018 % Ums. Mio. EUR

+/-%

Herstellungskosten Bruttoergebnis Betriebsaufwendungen Vertriebskosten

Allgemeine Verwaltungskosten

Forschungs- und Entwicklungskosten

161,0 108,3 73,5 9,7 18,0 58,4

60 40 27 4 7

58 42 27 4 6

22

150,9 108,7 69,7 9,9 16,5 55,0

151,2 117,6 76,2 9,4 18,4

56 44 28 4 7

10,1 -0,4 3,8 -0,2 1,5

7 0 5 -2 9

21

52,2

19

3,4

6

Sonstige betriebliche Aufwendungen (Erträge)

(12,6)

5

(11,6)

4

(3,8)

1

1,0

9

Betriebsaufwendungen

Die Betriebsaufwendungen haben sich im Geschäftsjahr 2020 sowohl absolut als auch im Ver-hältnis zum Umsatz gegenüber dem Vorjahr leicht erhöht. In absoluten Zahlen stiegen die Be-triebsaufwendungen von EUR 69,7 Mio. in 2019 auf EUR 73,5 Mio. im abgelaufenen Geschäftsjahr. Dies ist im Wesentlichen auf höhere F&E-Aufwendungen sowie einen Anstieg der Allgemeinen Verwaltungskosten zurückzuführen.

Folgende Einzeleffekte sind dabei zu berücksichtigen:

Die Vertriebs- und Verwaltungskosten lagen im Jahresvergleich mit EUR 27,7 Mio. leicht über dem Vorjahresniveau (2019: EUR 26,4 Mio.; 2018: EUR 27,7 Mio.). Im Verhältnis zum Umsatz lagen die Vertriebs- und Verwaltungskosten stabil bei 10% (2019: 10%; 2018: 10%). Die höheren Kos-ten waren hauptsächlich auf höhere variable Kostenbestandteile sowie höhere Personalbeschaf-fungskosten für neue Mitarbeiter sowie die Neubesetzung des Vorstands zurückzuführen.

Die Forschungs- und Entwicklungskosten, einschließlich der Aufwendungen für die Entwick-lungsaktivitäten im Bereich OLED, stiegen im Vergleich zum Vorjahr um 6% auf EUR 58,4 Mio. Der Anstieg ist vor allem auf die Entwicklung von MOCVD-Anlagen der nächsten Generation für Anwendungen im Rahmen der definierten Kernmärkte zurückzuführen. Die Forschungs- und Ent-wicklungskosten für die OLED-Aktivitäten in 2020 lagen bei EUR 17,3 Mio. (2019: EUR 16,7 Mio.; 2018: EUR 23,7 Mio.).

F&E-Eckdaten

2020	2019	2018	2020-2019
F&E-Aufwendungen (Mio. EUR)	58,4	55,0	52,2	6%
F&E-Aufwendungen als % der Umsatzerlöse	22	21	19

Die saldierten sonstigen betrieblichen Erträge und Aufwendungen resultierten im Geschäfts-jahr 2020 in einem stabilen betrieblichen Ertrag in Höhe von EUR 12,6 Mio. (2019: Ertrag von EUR 11,6 Mio., 2018: Ertrag von EUR 3,8 Mio.).

Diese beinhalten Zuwendungen für öffentlich geförderte Entwicklungsprojekte in Höhe von EUR 8,1 Mio. (2019: EUR 7,9 Mio.; 2018: EUR 4,7 Mio.). Weitere Informationen hierzu finden Sie im Abschnitt Forschung und Entwicklung im Kapitel "Grundlagen des Konzerns". Darüber hinaus er-gab sich aufgrund einer Nutzungsänderung für eine der beiden Produktionsstätten in Deutschland eine Wertaufholung, die zu einem sonstigen betrieblichen Ertrag in Höhe von EUR 2,9 Mio. führte.

Im Geschäftsjahr 2020 wurde ein saldierter Währungsverlust in Höhe von EUR 0,8 Mio. (2019: EUR 1,3 Mio. Gewinn; 2018: EUR -1,8 Mio. Verlust) aus Transaktionen in Fremdwährung und Um-rechnung von Bilanzpositionen gebucht.

Die gesamten Personalkosten, einschließlich der Bereiche Produktion und Service, lagen im Ge-schäftsjahr 2020 mit EUR 66,1 Mio. 10% über dem Vorjahr (2019: EUR 60,3 Mio.). Dieser Anstieg geht im Wesentlichen auf Neueinstellungen im Bereich von Entwicklung und Produktion sowie höhere variable Bezüge zurück.

Betriebsergebnis (EBIT)

Das Betriebsergebnis (EBIT) verringerte sich im Jahresvergleich um 11% und belief sich im Ge-schäftsjahr 2020 insgesamt auf EUR 34,8 Mio. (2019: EUR 39,0 Mio.; 2018: EUR 41,5 Mio.). Daraus resultierte eine EBIT-Marge von 13% (2019: 15%; 2018: 15%). Diese Entwicklung ist auf die be-schriebene Umsatz- und Kostenentwicklung zurückzuführen. Vergleiche hierzu die Konzern-Ge-winn- und Verlustrechnung im Konzernabschluss auf Seite 111.

Ergebnis vor Steuern

Das Ergebnis vor Steuern war 2020 mit EUR 35,1 Mio. leicht unter dem Vorjahresniveau (2019: EUR 39,7 Mio.; 2018: EUR 42,5 Mio.). Dabei wurde ein Nettofinanzergebnis in Höhe von EUR 0,2 Mio. erzielt.

Finanzergebnis und Steuern

2020	2019	2018	2020-2019
Mio. EUR	Mio. EUR	Mio. EUR	Mio. EUR	%
Finanzergebnis	0,2	0,8	1,0	-0,6	-75
Finanzerträge	0,3	0,9	1,0	-0,6	-67
Finanzaufwendungen	-0,1	-0,1	0,0	0,0	0
Ertragsteueraufwand	-0,6	-7,2	3,4	6,6	-92

Im Geschäftsjahr 2020 wies AIXTRON einen Ertragsteueraufwand in Höhe von EUR 0,6 Mio. aus (2019: EUR 7,2 Mio. Aufwand aus Ertragsteuern; 2018: EUR 3,4 Mio. Ertrag aus Ertragsteuern). Der Rückgang des Ertragsteueraufwands war maßgeblich durch die Aktivierung latenter Steuern auf Verlustvorträge aufgrund zukünftig zu erwartender Gewinne beeinflusst. Die Angabe zu den la-tenten Steuern ist in Anmerkung 14 des Konzernanhangs enthalten.

Konzern-Jahresüberschuss

Der Konzern-Jahresüberschuss des AIXTRON-Konzerns im Geschäftsjahr 2020 lag bei EUR 34,5 Mio. bzw. 13% der Umsatzerlöse (2019: EUR 32,5 Mio. bzw. 13%; 2018: EUR 45,9 Mio. bzw. 17%).

Vermögenslage

Die Bilanzsumme zum 31. Dezember 2020 erhöhte sich im Jahresvergleich auf EUR 590,4 Mio. (31. Dezember 2019: EUR 563,0 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 538,9 Mio.). Die vollständige Kon-zern-Bilanz findet sich im Konzernabschluss auf Seite 113.

Aktiva

Das Sachanlagevermögen zum 31. Dezember 2020 verringerte sich im Vergleich zum 31. Dezem-ber 2019 nur leicht auf EUR 63,5 Mio. (EUR 64,5 Mio. zum 31. Dezember 2019; EUR 63,1 Mio. zum 31. Dezember 2018), da Abschreibungen die Investitionen und Wertaufholungen im Geschäftsjahr leicht überstiegen.

Der bilanzierte Geschäfts- und Firmenwert lag zum 31. Dezember 2020 bei EUR 71,0 Mio. gegen-über EUR 72,4 Mio. zum Jahresende 2019 (31. Dezember 2018: 71,6 Mio.). Die Differenz ist aus-schließlich auf Wechselkursschwankungen zurückzuführen. Es wurden keine Wertminderungen gebucht. Nähere Informationen zu den Geschäfts- und Firmenwerten finden sich in Anmerkung 12 "Immaterielle Vermögenswerte" des Konzern-Anhangs.

Die bilanzierten sonstigen immateriellen Vermögenswerte stiegen zum 31. Dezember 2020 aufgrund höherer Investitionen auf EUR 2,9 Mio. (31. Dezember 2019: EUR 2,4 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 2,1 Mio.).

Der Vorratsbestand, inklusive Komponenten, unfertiger und fertiger Erzeugnisse, lag mit EUR 79,1 Mio. in etwa auf Vorjahresniveau (31. Dezember 2019: EUR 79,0 Mio., 31. Dezember 2018: EUR 73,5 Mio.). Dies ergibt sich maßgeblich aus den erwarteten Absatz von Anlagen in den Folge-quartalen sowie den Bau von Prototypen. Die Lagerumschlagshäufigkeit zum Ende 2020 lag bei 2,0 (2019: 1,9).

Da im abgelaufenen Geschäftsjahr die Auslieferungen innerhalb des letzten Quartals später er-folgten als im Vorjahr, lagen die Forderungen aus Lieferungen und Leistungen zum 31. Dezem-ber 2020 mit EUR 41,3 Mio. deutlich über dem Vorjahresniveau (31. Dezember 2019: EUR 29,2 Mio.). Die aktuelle Außenstandsdauer verringerte sich auf 18 Tage Ende 2020 gegenüber 30 Tagen Ende 2019 (2018: 36 Tage).

Die liquiden Mittel und finanziellen Vermögenswerte zum 31. Dezember 2020 erhöhten sich auf insgesamt EUR 309,7 Mio. (31. Dezember 2019: EUR 298,3 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 263,7 Mio.). Dabei umfassen die finanziellen Vermögenswerte neben Fondsanlagen in Höhe von EUR 62,4 Mio. auch langfristige Bankeinlagen mit einer Laufzeit von mehr als 12 Monaten in Höhe von EUR 60,0 Mio., die in der Bilanzposition sonstige langfristige finanzielle Vermögens-werte enthalten sind. Siehe hierzu auch die Anmerkungen 13, 17 und 18 des Konzern-Anhangs.

Passiva

Die starke Verringerung der Verbindlichkeiten aus Lieferungen und Leistungen auf EUR 10,8 Mio. zum 31. Dezember 2020 (31. Dezember 2019: EUR 19,4 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 27,8 Mio.) spiegelt AIXTRONs Bestreben wider, unsere Lieferanten zeitnah zu bezahlen und Negativzinsen zu vermeiden.

Die Rückstellungen (lang- und kurzfristig) nahmen von EUR 18,1 Mio. zum 31. Dezember 2019 auf EUR 20,2 Mio. zum 31. Dezember 2020 zu (31. Dezember 2018: EUR 20,8 Mio.). Die hohe Anzahl der ausgelieferten Anlagen resultierte am Stichtag zu höheren Rückstellungen für Gewährleistung.

Die Vertragsverbindlichkeiten aus erhaltenen Anzahlungen entsprachen mit EUR 50,8 zum 31. Dezember 2020 in etwa dem Vorjahresniveau (31. Dezember 2019: EUR 51,1 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 53,3 Mio.) und spiegeln damit die gegenwärtige Auftragslage wider.

Hauptsächlich wegen erhaltener Zahlungen für öffentlich geförderte Entwicklungsprojekte stiegen die sonstigen kurzfristigen Verbindlichkeiten auf EUR 7,4 Mio. (31. Dezember 2019: EUR 4,2 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 5,0 Mio.).

Finanzlage

Grundsätze und Ziele des Finanzmanagements

AIXTRON verfügt über ein zentrales Finanzmanagement, dessen wichtigstes Ziel die Sicherung der langfristigen Finanzkraft des Konzerns ist. Das Finanzmanagement bei AIXTRON umfasst das Kapitalstrukturmanagement, das Cash- und Liquiditätsmanagement sowie das Management von Währungs- und Investitionsrisiken. Finanzielle Prozesse und Verantwortlichkeiten werden kon-zernweit festgelegt. Die Investitionspolitik wird vom Aufsichtsrat genehmigt.

Das Kapitalstrukturmanagement zielt darauf ab, eine angemessene Kapitalstruktur für jedes Unternehmen innerhalb des Konzerns festzulegen und gleichzeitig Kosten und Risiken zu mi-nimieren. Eine angemessene Struktur muss den steuerlichen, rechtlichen und kommerziellen Anforderungen entsprechen. Die Gruppe erhöht oder verringert das Aktienkapital innerhalb der Konzerngesellschaften je nach Bedarf.

Das Liquiditätsmanagement zielt darauf ab, die effektive Verwaltung der Cashflows innerhalb jedes Unternehmens zu gewährleisten. Die zentrale Finanzabteilung und das lokale Management überwachen die Geldströme innerhalb der Gruppe täglich und ergreifen bei Bedarf Korrektur-maßnahmen. Der Finanzierungsbedarf wird aus den Barmitteln innerhalb der Gruppe gedeckt, entweder durch konzerninterne Darlehen oder durch Eigenkapitalveränderungen.

Die Grundsätze der Investitionspolitik werden vom Aufsichtsrat der AIXTRON SE festgelegt. Über-schüssige Barmittel werden von der Finanzabteilung in Übereinstimmung mit dieser Politik in-vestiert. Die Politik erlaubt risikoarme Investitionen.

Aufgrund unserer internationalen Geschäftstätigkeit erzielen wir einen Teil unserer Einnahmen in Fremdwährungen, insbesondere in USD. Das damit verbundene Wechselkursrisiko wird von der zentralen Finanzabteilung beobachtet und bei Bedarf abgesichert. Spekulative Fremdwährungs-geschäfte werden nicht abgeschlossen.

Im Anlagenbau für die Halbleiterindustrie ist es wesentlich stets über einen ausreichenden Be-stand an liquiden Mitteln zu verfügen, um eine mögliche Geschäftsausweitung schnell finanzieren zu können. Der Finanzmittelbedarf von AIXTRON wird im Allgemeinen durch Mittelzuflüsse aus der laufenden Geschäftstätigkeit gedeckt. Zur Sicherung der weiteren Unternehmensfinanzierung und zur Unterstützung der unverzichtbaren Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten kann das Unternehmen auf eine starke Eigenkapitalbasis zurückgreifen. Zusätzlich verfügt AIXTRON über die Möglichkeit, falls erforderlich und unter dem Vorbehalt der Zustimmung durch den Aufsichts-rat, Finanzinstrumente am Kapitalmarkt zu emittieren, um zusätzlichen Kapitalbedarf zu decken.

Finanzierung

Die Eigenkapitalquote hat sich leicht erhöht und lag zum 31. Dezember 2020 bei 84% gegenüber 82% zum 31. Dezember 2019.

Das Grundkapital der AIXTRON SE belief sich zum 31. Dezember 2020 auf EUR 112.927.320 (31. De-zember 2019: EUR 112.927.320; 31. Dezember 2018: EUR 112.927.320). Es ist eingeteilt in 112.927.320 auf den Namen lautende Stammaktien ohne Nennbetrag mit einem anteiligen Betrag am Grund-kapital von EUR 1,00 je Aktie. Alle Aktien sind vollständig eingezahlt. Siehe hierzu auch Anmer-kung 19 im Konzern-Anhang.

Den Vorstandsmitgliedern und Mitarbeitern wurde in der Vergangenheit über Aktienoptions-programme die Möglichkeit einer Beteiligung am Grundkapital der Gesellschaft unter speziellen Bedingungen ermöglicht. Im Geschäftsjahr 2020 wurden keine Aktienoptionen ausgeübt (2019: 0; 2018: 2.590 Optionen) und keine Aktienoptionen ausgegeben (2019: 0, 2018: 0).

AIXTRON-Stammaktien

Bezugsrechte auf Aktien

Verfallen/
31.12.2020	Ausübung	Verwirkt	Zuteilung	31.12.2019
601.600	0	393.850	0	995.450

Zum 31. Dezember 2020, 2019 und 2018 bestanden bei AIXTRON keine Bankverbindlichkeiten.

Investitionen

Im Geschäftsjahr 2020 tätigte AIXTRON Investitionen in Höhe von insgesamt EUR 9,3 Mio. (2019: EUR 7,8 Mio.; 2018: EUR 9,2 Mio.).

EUR 7,8 Mio. (2019: EUR 6,4 Mio.; 2018: EUR 8,1 Mio.) wurden im Geschäftsjahr 2020 in Sachanlagen (einschließlich Test- und Laboreinrichtungen) investiert. Weitere EUR 1,4 Mio. entfielen auf In-vestitionen in immaterielle Vermögenswerte einschließlich Softwarelizenzen (2019: EUR 1,3 Mio.; 2018: EUR 1,1 Mio.).

Für das Geschäftsjahr 2020 wies die Kapitalflussrechnung einen Mittelabfluss aus Investitions-tätigkeit von EUR 32,5 Mio. aufgrund von Veränderungen der Festgeldanlagen mit einer Laufzeit von mindestens drei Monaten aus (2019: keine Veränderung; 2018: Anstieg um EUR 7,5 Mio.).

Sämtliche Investitionen der Geschäftsjahre 2020, 2019 und 2018 wurden eigenfinanziert.

Liquidität und Cashflow

Beschreibung

Bilanzposition

Bankguthaben

Liquide Mittel

31.12.2020 187,3

31.12.2019

+ / -

270,8 -83,5

Kurzfristige Bankeinlagen (3 bis maximal 12 Monate Laufzeit)

Sonstige finanzielle Vermögenswerte

0

27,5 -27,5

Fondsanlagen

Sonstige finanzielle Vermögenswerte

62,4

0 +62,4

Langfristige Bankeinlagen (mehr als 12 Monate Laufzeit)

Sonstige langfristige finanzielle Vermögenswerte

60,0

0 +60,0

Gesamt Liquidität

309,7

298,3

11,4

Der Bestand an liquiden Mitteln inklusive sonstiger finanzieller Vermögenswerte stieg zum 31. Dezember 2020 auf EUR 309,7 Mio. (31. Dezember 2019: EUR 298,3 Mio.; 31. Dezember 2018: EUR 263,7 Mio.). Zum 31. Dezember 2020 enthielten die sonstigen finanziellen Vermögenswerte Fondsanlagen (EUR 62,4 Mio.) sowie langfristige Bankeinlagen vornehmlich in Euro, mit einer Laufzeit von mindestens zwölf Monaten (siehe auch "Investitionen") in Höhe von EUR 60,0 Mio., die in der Bilanzposition Sonstige langfristige finanzielle Vermögenswerte enthalten sind. Im Vorjahr bestanden kurzfristige Bankeinlagen mit einer Laufzeit von mindestens drei Monaten bis maximal zwölf Monaten in Höhe von EUR 27,5 Mio. (siehe auch "Investitionen").

Der Zugriff auf die liquiden Mittel der Gesellschaft unterliegt keinen Beschränkungen.

Im Wesentlichen aufgrund des Erwerbs von Fondsanlagen in Höhe von EUR 62,4 Mio. belief sich der Cashflow aus betrieblicher Tätigkeit im Geschäftsjahr 2020 auf EUR -39.2 Mio. (2019: EUR 42,8 Mio.; 2018: EUR 11,9 Mio.). Bereinigt um diesen Effekt resultiert die größte Veränderung des operativen Cashflows aus der Veränderung der Forderungen aus Lieferungen und Leistungen im Vergleich zum Vorjahr (siehe auch Erläuterung zu Forderungen aus Lieferungen und Leistun-gen).

Der Cashflow aus Investitionstätigkeit lag im Geschäftsjahr 2020 bei EUR -41,5 Mio. (2019: EUR -6,8 Mio.; 2018: EUR -15,1 Mio.). Dieser Wert ist wesentlich auf erhöhte Festgeldanlagen mit einer Laufzeit von mehr als 90 Tagen zurückzuführen (2020: EUR -32,5 Mio., 2019: EUR 0 Mio., 2018: EUR -7,5 Mio.)

Der Cashflow aus Finanzierungstätigkeit belief sich 2020 auf EUR -0,9 Mio. (2019: EUR -1,2 Mio.; 2018: EUR 10,4 Mio.). In den Jahren 2020 und 2019 resultierte der Mittelabfluss hauptsächlich aus Rückzahlungen von Leasingverbindlichkeiten.

Der Free Cashflow (Cashflow aus betrieblicher Tätigkeit, bereinigt um Veränderungen bei Finanz-anlagen - Investitionen + Erlöse aus Veräußerungen) lag im Geschäftsjahr 2020 bei EUR 14,0 Mio. im Vergleich zu EUR 35,1 Mio. in 2019 (Free Cashflow 2018: EUR 4,4 Mio.). Die Differenz gegen-über dem Vorjahr ist hauptsächlich auf stichtagsbedingte Mittelabflüsse aus Forderungen aus Lieferungen und Leistungen (siehe Erläuterung zu Forderungen aus Lieferungen und Leistungen) zurückzuführen. Im Zuge der Erstanwendung von IFRS 16 wurde die vergleichende Darstellung der konsolidierten Kapitalflussrechnung für 2019 in diesem Bericht entsprechend angepasst.

Finanzielle und nichtfinanzielle Leistungsindikatoren

Die für AIXTRON bedeutsamsten Leistungsindikatoren sind Auftragseingang, Umsatzerlöse, Brut-tomarge und EBIT-Marge. Diese bilden die Grundlage für die konzernweite operative und strate-gische Planung. Mithilfe dieser Kennzahlen wird das Ziel verfolgt, profitables Umsatzwachstum mit Kosten- und Vermögenseffizienz zu verbinden, um so eine nachhaltige Wertsteigerung zu erzielen. Damit konzentriert sich AIXTRON nunmehr auf vier maßgebliche Steuerungsgrößen für den Konzern.

Der Free Cashflow dient AIXTRON seit dem Geschäftsjahr 2020 nicht mehr als zentrale Steuerungs-kennzahl. Gleichwohl legt das Management weiterhin großen Wert darauf, mittel- und langfristig stets einen ausreichenden Cashflow zur Sicherung der finanziellen Mittel des Konzerns zu erzie-len.

Als nichtfinanzielle Leistungsindikatoren werden der Energieverbrauch und die Weiterbildung der Mitarbeiter des AIXTRON-Konzerns zur internen Unternehmenssteuerung herangezogen.

Gesamtaussage zur wirtschaftlichen Lage des Konzerns

AIXTRON konzentrierte sich im Geschäftsjahr 2020 weiter auf die erfolgreiche, nachhaltig profitab-le Bedienung der adressierten Wachstumsmärkte. Zugleich trieb der Konzern die Entwicklungs-und Vertriebsaktivitäten insbesondere für die Leistungselektronik voran.

Die Anlagen-Umsatzerlöse lagen 2020 bei EUR 223,0 Mio. Davon entfielen EUR 73,2 Mio. (33%) auf MOCVD-Anlagen zur Herstellung von Bauelementen für den Bereich Optoelektronik (Laser, Solar) und EUR 69,3 Mio. (31%) auf MOCVD/CVD-Anlagen für den Bereich Leistungselektronik (GaN/SiC). In den genannten Märkten ist grundsätzlich mit Wachstum zu rechnen, weil die Verwendung von Lasern für die optische Datenübertragung weiter zunimmt, weil laserbasierte 3D-Sensoren zunehmend in der Unterhaltungselektronik verwendet werden und weil moderne Leistungselek-tronikbauelemente zunehmend aus den Materialien Siliziumkarbid oder Galliumnitrid hergestellt werden.

Die Umsätze von MOCVD-Anlagen für die Herstellung von insbesondere ROY-LEDs lagen in 2020 bei EUR 61,0 Mio. (27% der Anlagen-Umsatzerlöse). Die fortschreitende Verbreitung von Displays oder Hintergrundbeleuchtung basierend auf der Mini LED-Technologie, von anderen LED-Anwen-dungen wie Desinfektion oder Agrartechnologie oder die fortschreitende Entwicklung von Micro LED-Displays sollte sich positiv auf die Nachfrage nach unseren Anlagen auswirken und Wachs-tumspotenzial aufweisen.

Zusätzlich zu den oben genannten Aktivitäten liegt ein Fokus auf den Kosten sowie den Margen-beiträgen einzelner Umsatzträger. Daneben prüft der Vorstand das Produktportfolio kontinuierlich mit Blick auf sich verändernde Rahmenbedingungen wie etwa Zeitfenster der Markteinführung neuer Technologien oder Bewertung der Produktanforderungen unserer Kunden.

Insbesondere vor dem Hintergrund eines von Unsicherheit geprägten Marktumfelds verlief die Geschäftsentwicklung 2020 aus Konzernsicht über alle Bereiche sehr positiv. AIXTRON sieht für alle adressierten Marktbereiche weiteres Wachstumspotential über die nächsten Jahre.

Dabei verfügt die AIXTRON-Gruppe weiterhin über eine gesunde Finanzierungsstruktur mit einem hohen Bestand an liquiden Mitteln und ohne jegliche Bankverbindlichkeiten.

Prognoseerreichung im Geschäftsjahr 2020

Um unseren Aktionären sowie allen anderen Stakeholdern die Möglichkeit zu geben, unsere Ge-schäftsentwicklung zu verfolgen, veröffentlichen wir unsere Erwartungen für das laufende Jahr jeweils mit der Veröffentlichung des Geschäftsberichts des Vorjahres. Die im Rahmen des Ge-schäftsberichts 2019 veröffentlichte und im Jahresverlauf konkretisierte Auftragseingangs-, Um-satz-, Brutto- und EBIT-Margen-Prognose für das Geschäftsjahr 2020 wurde trotz der angesproche-nen Herausforderungen vollständig erfüllt.

Ausblick GJ 2020 27.02.2020

1. Quartal 2020 30.04.2020

1. Halbjahr 2020 23.07.2020

3. Quartal 2020 29.10.2020

Ergebnis 2020 25.02.2021

Bandbreite von Auftragseingang* EUR 260 Mio. bis EUR 300 Mio.	Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bandbreite von EUR 270 Mio. bis EUR 300 Mio.	EUR 301,4 Mio.
Bandbreite von EUR 260 Mio. bis Umsatzerlöse EUR 300 Mio.	Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bandbreite von EUR 260 Mio. bis EUR 280 Mio.	EUR 269,2 Mio.
Bruttomarge rund 40%	Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20	40%
EBIT-Marge Bandbreite von 10% bis 15%	Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20 Bestätigung Ausblick GJ 2020 vom 27.02.20	13%

* = Bei konstantem Budget-Wechselkurs von 1,20 USD/EUR

Lagebericht der AIXTRON SE

Ergänzende Erläuterungen nach HGB

Der Lagebericht der AIXTRON SE und der Konzernlagebericht sind nach § 315 Abs. 5 HGB in Ver-bindung mit § 298 Abs. 2 HGB zusammengefasst. Beide Berichte werden zeitgleich im elektroni-schen Bundesanzeiger veröffentlicht.

Der Jahresabschluss der AIXTRON SE wurde nach den Regeln des deutschen Handelsgesetzbuchs (HGB) und des Aktiengesetzes (AktG) aufgestellt. Der Einzelabschluss dient grundsätzlich der Er-mittlung des Bilanzgewinns oder Bilanzverlustes und damit der möglichen Ausschüttungshöhe.

Der zusammengefasste Lagebericht umfasst grundsätzlich auch alle gesetzlich verpflichtenden Bestandteile für die AIXTRON SE. Ergänzend zur Berichterstattung über den AIXTRON-Konzern er-läutern wir die Entwicklung der AIXTRON SE.

Die AIXTRON SE ist die Muttergesellschaft des AIXTRON-Konzerns und hat ihren Hauptsitz in Her-zogenrath, Deutschland. Wesentliche Leitungsfunktionen für den Konzern wie die Unternehmens-strategie, das Risikomanagement, Aufgaben der Beteiligungsverwaltung, das Führungskräfte-und Finanzmanagement sowie die Kommunikation mit wichtigen Zielgruppen des Konzerns liegen in der Verantwortung des Vorstands der AIXTRON SE. Mit ihrer operativen Geschäftstätig-keit bei der Entwicklung, Herstellung, Vertrieb und Wartung von Anlagen zur Beschichtung von Halbleitermaterialien erzielt die AIXTRON SE den wesentlichen Teil des Konzernumsatzes. Neben sieben direkt oder indirekt zu jeweils 100% gehaltenen Tochtergesellschaften, die vor allem den weltweiten Vertrieb der AIXTRON-Produkte zur Aufgabe haben, hält die AIXTRON SE aktuell eine Beteiligung zu 87% an der APEVA-Gruppe, die die Entwicklung und Evaluierung der OVPD-Tech-nologie vorantreibt.

Eine separate Steuerung der AIXTRON SE über eigene Leistungsindikatoren erfolgt nicht, da die Gesellschaft in die Konzernsteuerung eingebunden ist. Wir verweisen hier auf die für den Kon-zern gemachten Erläuterungen. Die wirtschaftlichen Rahmenbedingungen der AIXTRON SE ent-sprechen im Wesentlichen denen der AIXTRON-Gruppe und werden im Kapitel Wirtschaftsbericht ausführlich beschrieben.

HGB-Gewinn- und Verlustrechnung der AIXTRON SE

Mio. EUR	2020	2019
Umsatzerlöse	250,2	237,8
Bestandsveränderungen	-6,0	4,9
Andere aktivierte Eigenleistungen	0,2	0,1
Gesamtleistung	244,4	242,8
Sonstige betriebliche Erträge	16,1	54,1
Materialaufwand und Fremdleistungen	125,4	122,5
Personalaufwand	39,6	34,0
Abschreibungen	10,7	8,3
Sonstige betriebliche Aufwendungen	57,9	57,7
Betriebsergebnis	27,0	74,4
Erträge aus Beteiligungen	0,0	2,4
Zinsergebnis	0,0	0,4
Finanzergebnis	0,0	2,8
Ergebnis vor Steuern	27,0	77,2
Steuern von Einkommen und Ertrag	2,9	5,0
Ergebnis nach Steuern	24,1	72,2
Sonstige Steuern	0,2	0,2
Jahresüberschuss	23,9	72,0
Verlust-(-)/Gewinnvortrag (+)	-5,6	-77,6
Bilanzgewinn (+)/-verlust (-)	18,4	-5,6
Ertragslage der AIXTRON SE nach HGB

Die Umsatzerlöse der AIXTRON SE betrugen im Geschäftsjahr 2020 EUR 250,2 Mio. Damit waren sie um EUR 12,3 Mio. bzw. 5% höher als im Geschäftsjahr 2019 (2019: EUR 237,8 Mio.). Beeinflusst wurden die Umsatzerlöse u.a. durch gestiegene Nachfrage nach MOCVD-Anlagen zur Herstellung von insbesondere Spezial-LED, von GaN- und SiC-Leistungselektronik sowie von Laser für die op-tische Datenkommunikation. Die sonstigen Umsatzerlöse entfallen auf konzerninterne Weiter-belastungen.

Umsatzerlöse nach Produkten

2020-2019
Mio. EUR	%
Anlagen-Umsatzerlöse	201,7	80	182,3	77	197,7	80	19,3	11
Service und Ersatzteile	41,9	17	46,9	20	40,2	16	-5,0	-11
Sonstige Umsatzerlöse	6,7	3	8,6	3	9,5	4	-1,9	-22
Gesamt	250,2	100	237,8	100	247,4	100	12,3	5

2020 % Mio. EUR

2019 % Mio. EUR

2018 % Mio. EUR

Mit 73% entfiel weiterhin der Hauptanteil der gesamten Umsatzerlöse in 2020 auf die Nachfrage von Kunden aus Asien.

Umsatzerlöse nach Regionen

Mio. EUR

2020	2018	2020-2019
% Mio. EUR	% Mio. EUR	%

2019 % Mio. EUR

Asien	182,2	73	169,9	71	133,0	54	12,4	7
Europa	41,1	16	39,3	17	70,9	29	1,7	4
Amerika	26,9	11	28,6	12	43,4	18	-1,7	-6
Gesamt	250,2	100	237,8	100	247,4	100	12,3	5

Das Jahresergebnis lag mit einem Jahresüberschuss von EUR 23,9 Mio. (2019: EUR 72,0 Mio.) unter dem des Vorjahres, wozu die folgenden Faktoren beitrugen:

Die Materialaufwandsquote (Materialaufwand im Verhältnis zur Gesamtleistung) lag mit 51,4% leicht über der Quote des Vorjahres (2019: 50,5%).

Die Mitarbeiterzahl der AIXTRON SE ist im Jahresdurchschnitt von 387 im Vorjahr auf 431 Mitarbei-ter im Geschäftsjahr 2020 gestiegen. Dementsprechend nahm der Personalaufwand aufgrund von gestiegenen variablen Kostenbestandteilen von EUR 34,0 Mio. im Vorjahr auf EUR 39,6 Mio. im Geschäftsjahr 2020 zu.

Die Abschreibungen stiegen von EUR 8,3 Mio. im Vorjahr um EUR 2,3 Mio. auf EUR 10,7 Mio. im Geschäftsjahr 2020. Dies ist vor allem auf zusätzliche Abschreibungen aufgrund von kürzeren Nutzungsdauern einiger Laboranlagen zurückzuführen.

Die sonstigen betrieblichen Aufwendungen lagen stabil bei EUR 57,9 Mio. im Vergleich zu EUR 57,7 Mio. im Geschäftsjahr 2019. Dabei wurden höhere Währungsverluste und Aufwendungen für Gewährleistungsrückstellungen durch geringere Kosten für externe Entwicklungsleistungen ausgeglichen.

Die sonstigen betrieblichen Erträge sanken im Vergleich zu 2019 von EUR 54,1 Mio. auf EUR 16,1 Mio. im Geschäftsjahr 2020. Die sonstigen betrieblichen Erträge enthielten 2019 einen außergewöhnlichen Ertrag in Höhe von EUR 39,2 Mio., der aus einer Einlagenrückgewähr einer Tochtergesellschaft stammte. Bereinigt um diesen Effekt stiegen die sonstigen betrieblichen Er-träge um EUR 1,2 Mio. Dies ist im Wesentlichen auf Erträge aus Wertaufholungen zurückzuführen, die sich aufgrund einer Nutzungsänderung für eine der beiden Produktionsstätten in Deutschland ergab.

Darüber hinaus wurden 2020 keine Beteiligungserträge erzielt, während im Geschäftsjahr 2019 EUR 2,4 Mio. aus Dividenden von Tochtergesellschaften vereinnahmt wurden.

Das Zinsergebnis im Geschäftsjahr 2020 betrug insgesamt TEUR 23 im Vergleich zu TEUR 394 im Vorjahr.

Nettoergebnis AIXTRON SE - Ergebnisverwendung

Der Jahresüberschuss betrug EUR 23,9 Mio. Nach Verrechnung mit dem Verlustvortrag aus dem Vorjahr ergibt sich zum 31. Dezember 2020 ein Bilanzgewinn in Höhe von EUR 18,4 Mio. (Bilanz-verlust 2019: EUR -5,6 Mio.; 2018: EUR -77,6 Mio.). Vorstand und Aufsichtsrat werden der Hauptver-sammlung vorschlagen, für 2020 eine Dividende von EUR 0,11 pro Aktie (2019: EUR 0, 2018: EUR 0) auszuschütten.

Vermögens- und Finanzlage der AIXTRON SE

Die Bilanzsumme der AIXTRON SE lag zum Jahresende 2020 mit EUR 481,8 Mio. um rund 3% über dem Vorjahreswert (2019: EUR 468,2 Mio.). Dies ist insbesondere auf das positive Jahresergebnis zurückzuführen.

HGB-Bilanz der AIXTRON SE

Mio. EUR	31. Dez 2020	31. Dez 2019
Aktiva
Immaterielle Vermögensgegenstände	2,6	2,1
Sachanlagen	56,4	59,1
Finanzanlagen	50,1	50,0
Anlagevermögen	109,1	111,2
Vorräte	69,0	72,2
Forderungen aus Lieferungen und Leistungen	21,5	14,5
Forderungen gegen verbundene Unternehmen	15,1	15,4
Sonstige Vermögensgegenstände	3,4	2,5
Wertpapiere	62,4	0,0
Liquide Mittel	200,8	252,0
Umlaufvermögen	372,2	356,6
Rechnungsabgrenzungsposten	0,6	0,4
Aktiva gesamt	481,8	468,2

Mio. EUR	31. Dez 2020	31. Dez 2019
Passiva
Gezeichnetes Kapital	112,9	112,9
Eigene Anteile	-1,1	-1,1
Ausgegebenes Kapital	111,8	111,8
Kapitalrücklage	276,3	276,3
Bilanzgewinn / Bilanzverlust	18,4	-5,6
Eigenkapital	406,5	382,6
Rückstellungen	24,8	21,1
Erhaltene Anzahlungen auf Bestellungen	40,1	45,4
Verbindlichkeiten aus Lieferungen und Leistungen	5,8	13,6
Verbindlichkeiten gegenüber verbundenen Unternehmen	1,0	3,8
Sonstige Verbindlichkeiten	3,5	1,7
Verbindlichkeiten	50,5	64,5
Passiva gesamt	481,8	468,2
Aktiva

Das Sachanlagevermögen sank von EUR 59,1 Mio. zum Jahresende 2019 auf EUR 56,4 Mio. zum 31. Dezember 2019, da die Abschreibungen in Höhe von EUR 9,8 Mio. (2019: EUR 7,4 Mio.) die In-vestitionen und Wertaufholungen in Höhe von EUR 7,2 Mio. (2019: EUR 4,7 Mio.) überstiegen.

Das Finanzanlagevermögen blieb mit EUR 50,1 Mio. unverändert gegenüber dem Vorjahr.

Der leichte Rückgang der Vorräte im Geschäftsjahr von EUR 72,2 Mio. auf EUR 69,0 Mio. spiegelt maßgeblich den erwarteten Absatz von Anlagen in den Folgequartalen sowie den Bau von Proto-typen wider.

Die Forderungen aus Lieferungen und Leistungen stiegen stichtagsbedingt aufgrund der hohen Anzahl der Auslieferungen am Ende des Geschäftsjahres 2020 von EUR 14,5 Mio. auf EUR 21,5 Mio.

Passiva

Das gezeichnete Kapital lag zum 31. Dezember 2020 bei EUR 112,9 Mio. (31. Dezember 2019: EUR 112,9 Mio.). Das ausgegebene Kapital betrug EUR 111,8 Mio. (2019: EUR 111,8 Mio.). Im Ge-schäftsjahr wurden 3.200 Aktien aus den eigenen Anteilen im Rahmen von aktienbasierten Ver-gütungen ausgegeben.

Trotz der höheren Bilanzsumme erhöhte sich im Geschäftsjahr im Wesentlichen aufgrund des Jahresüberschusses die Eigenkapitalquote auf 84% gegenüber 82% in 2019.

Zur Absicherung von erhaltenen Anzahlungen für Bestellungen verfügte die AIXTRON SE zum 31. Dezember 2020 über Avallinien in Höhe von EUR 57,5 Mio. (2019: EUR 57,5 Mio.), von denen zum Stichtag EUR 26,5 Mio. (2019: EUR 12,6 Mio.) in Anspruch genommen waren.

Die Verbindlichkeiten aus Lieferungen und Leistungen reduzierten sich stichtagsbedingt auf EUR 5,8 Mio. (2019: EUR 13,6 Mio.).

In 2020 bestanden bei AIXTRON, wie in den Vorjahren, keine Bankverbindlichkeiten.

Investitionen

Im Geschäftsjahr 2020 tätigte AIXTRON SE Investitionen in Höhe von insgesamt EUR 5,7 Mio. (2019: EUR 5,6 Mio.).

Davon entfielen im Geschäftsjahr 2020 EUR 4,2 Mio. (2019: EUR 4,7 Mio.) auf Sachanlagen und umfassten wie im Vorjahr hauptsächlich Investitionen in Laborausstattung sowie in Versuchs- und Demonstrationsanlagen.

Darüber hinaus investierte die AIXTRON SE im Bereich der immateriellen Vermögensgegenstände EUR 1,4 Mio. für Lizenzen und Software (2019: EUR 0,9 Mio.).

Bei den Finanzanlagen wurden in den Geschäftsjahren 2020 und 2019 keine Investitionen ge-tätigt.

Liquidität

HGB-Kapitalflussrechnung der AIXTRON SE

Mio. EUR	2020	2019
Aktiva
Cashflow aus betrieblicher Tätigkeit	16,9	30,8
Cashflow aus Investitionstätigkeit	-68,1	62,8
Cashflow aus Finanzierungstätigkeit	0,0	0,0
Veränderung der liquiden Mittel	-51,2	93,6
Bestand der liquiden Mittel zu Beginn der Periode	252,0	158,4
Bestand der liquiden Mittel am Ende der Periode	200,8	252,0

Entwicklung der Finanzlage (Cashflow)

Der Bestand an liquiden Mitteln verringerte sich im Geschäftsjahr von EUR 252,0 Mio. um EUR 51,2 Mio. auf EUR 200,8 Mio. im Wesentlichen dadurch, dass im Geschäftsjahr Fondsanlagen im Wert von EUR 62,4 Mio. erworben wurden. Bereinigt um diesen Effekt hätte sich die Liquidität um EUR 13,0 Mio. erhöht.

Der Cashflow aus betrieblicher Tätigkeit verringerte sich von EUR 30,8 Mio. in 2019 auf EUR 16,9 Mio. in 2020 vor allem aufgrund der Veränderung der Forderungen und Verbindlichkeiten aus Lieferungen und Leistungen.

Der Cashflow aus Investitionstätigkeit war im Geschäftsjahr 2020 maßgeblich durch den Er-werb von Fonds in Höhe von EUR 62,4 Mio. beeinflusst. Darüber hinaus wurden Investitionen in Höhe von EUR 5,7 Mio. getätigt.

Der Zugriff auf die liquiden Mittel der Gesellschaft unterliegt keinen Beschränkungen.

Chancen und Risiken

Die Geschäftsentwicklung der AIXTRON SE unterliegt in Wesentlichen den gleichen Risiken und Chancen wie der AIXTRON-Konzern. An den Risiken der Tochterunternehmen partizipiert die AIX-TRON SE grundsätzlich entsprechend ihrer jeweiligen Beteiligungsquote. Infolge des zentralen Finanzmanagements des AIXTRON-Konzerns werden sämtliche Finanzierungsgeschäfte über die AIXTRON SE abgewickelt. Als Muttergesellschaft des AIXTRON-Konzerns ist die AIXTRON SE in das konzernweite Risikomanagement eingebunden. Weitere Informationen hierzu finden Sie im Chancen- und Risikobericht.

Ausblick

Der Ausblick des AIXTRON-Konzerns spiegelt im Wesentlichen auch die Erwartungen der AIX-TRON SE wider. Die Ergebnisentwicklung der AIXTRON SE sollte auch zukünftig gleichgerichtet zum Konzern verlaufen, da sich die Ergebnisse der Tochtergesellschaften im Beteiligungsergebnis der Muttergesellschaft des Konzerns niederschlagen. Die Steuerung mittels Leistungsindikatoren erfolgt ausschließlich auf Konzernebene. Daher gelten die Ausführungen zur erwarteten Ertrags-und Finanzlage auch für die AIXTRON SE (siehe im Kapitel "Prognosebericht").

Veröffentlichung

Der von der Deloitte GmbH Wirtschaftsprüfungsgesellschaft mit dem uneingeschränkten Be-stätigungsvermerk versehene Jahresabschluss der AIXTRON SE nach den Rechnungslegungs-vorschriften des deutschen Handelsgesetzbuches (HGB), aus dem hier insbesondere die Bilanz und Gewinn- und Verlustrechnung wiedergegeben sind, wird beim Betreiber des Bun-desanzeigers eingereicht und ist über die Website des Unternehmensregisters zugänglich. Der HGB-Jahresabschluss der AIXTRON SE wird ebenso wie der Konzernabschluss im Internet unterhttps://wwwaixtron.com/de/investoren/publikationen zur Verfügung gestellt.

Prognose-, Chancen- und Risikobericht

Prognosebericht

Künftiges Marktumfeld

Der IWF prognostiziert in seinem Bericht "World Economic Outlook Update" (Januar 2021) nach den Effekten der COVID-19-Pandemie für das Jahr 2021 trotz aller weiterhin bestehenden Un-sicherheiten ein globales Wirtschaftswachstum von 5,5% im Jahr 2021. Dabei soll die Stärke der Erholung zwischen den Ländern erheblich variieren, abhängig u.a. vom Zugang zu medizinischer Versorgung, der Effektivität der politischen Unterstützung und strukturellen Merkmalen zu Beginn der Krise. AIXTRON erwartet zum jetzigen Zeitpunkt keine wesentlichen Einflüsse der Geschäfts-entwicklung durch das allgemeine weltwirtschaftliche Umfeld, wenngleich die Sichtbarkeit des Investitionsverhaltens der Kunden vor dem Hintergrund der noch nicht bewältigten Pandemie eingeschränkt ist und die Gefahr von erneuten Rückschlägen für die Weltwirtschaft nicht aus-geschlossen werden kann.

Marktbeobachter sehen die Entwicklung für Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie in den kommenden Jahren sehr positiv. Wie eine Studie des führenden globalen Industrie-Verbands SEMI vom Dezember 20202 besagt, wird der Gesamtmarkt für Investitionen in sogenannte Wafer-Fab-Anlagen, zu denen auch die Depositionsanlagen von AIXTRON gehören, von USD 59,6 Milliarden in 2019 auf USD 76,1 Milliarden in 2022 steigen. Dabei entfällt ein Großteil des Marktes auf Korea, Taiwan und China, die jeweils rund 30%, 25% bzw. 22% des globalen Marktes repräsentieren. Laut SEMI ist das Wachstum der Wafer-Fab-Anlagen dabei im Gegensatz zu früheren Vorhersagen - auch im Jahr 2020 und trotz etwaiger COVID-19-Effekte - stetig positiv. Investitionen in neue "Leading Edge" Technologien und Nachfrage nach digitalen Endprodukten, z.B. für High-Perfor-mance und Cloud Computing gehören zu den Haupttreibern dieses Wachstums.

2) Quelle: SEMICONDUCTOR EQUIPMENT CONSENSUS FORECAST,https://www.semi.org/en/news-media-press/semi-press-releases/semiconductor-equipment-2020-year-end-forecast

Unabhängig von der Marktentwicklung der gesamten Halbleiterindustrie werden die Marktseg-mente, auf die sich AIXTRON fokussiert, von Megatrends bestimmt, deren Entfaltung maßgeblich für die künftige Entwicklung und Größe der AIXTRON-Absatzmärkte sein wird:

Der Absatz von Leistungshalbleitern aus den Materialien GaN und SiC wird maßgeblich von der Erfordernis getrieben, die Energie-Effizienz in der globalen IT-Infrastruktur und in Rechenzentren zu erhöhen, um den rasanten Anstieg im Energieverbrauch zu bremsen. Die Elektromobilität der Zukunft wird erwartungsgemäß zu einem verstärkten Einsatz von SiC-Bauelementen im Antriebs-strang und in der Ladeinfrastruktur führen, um so den Anforderungen an Reichweite und Effizienz besser entsprechen zu können.

Die steigende Nachfrage nach Lasern, die auf AIXTRON-Anlagen hergestellt werden, ist begründet im exponentiell wachsenden Bedarf der schnellen und energieeffizienten, optischen Datenkom-munikation (Cloud Computing, Video-Streaming etc.) sowie in der Verbreitung von 3D-Sensorik in der Unterhaltungselektronik (Smartphone, Fernseher) und in Bereichen der Zugangskontrolle. Auch das Fortschreiten der industriellen Digitalisierung und eine wachsende Anzahl von teilauto-nomen Fahrzeugen, die 3D-Sensorik nutzen, werden zu erhöhtem Bedarf nach Lasern führen.

Schließlich werden die künftigen Märkte von AIXTRON durch die Verbreitung neuartiger Displays in TVs, Smartphones und Notebooks bestimmt: sowohl Micro LED-Displays, deren selbst leuch-tende LED-Bildpunkte auf AIXTRON-MOCVD-Anlagen hergestellt werden können, als auch OLED-Displays, die auf den OVPD-Anlagen der APEVA produziert werden können, zielen auf den Ersatz der heutigen LCD-Bildschirmtechnik durch innovative, energiesparende Alternativen mit besserer Leuchtkraft, Kontrast, Farbtreue und Auflösung. Die Verbreitung dieser neuartigen Display-Tech-nologien wird die Größe der Absatzmärkte von AIXTRON maßgeblich bestimmen.

Erwartete Finanz- und Ertragslage

Für das Geschäftsjahr 2021 erwartet der Konzern eine wachsende Umsatzentwicklung im Ver-gleich zu 2020. Die Kundennachfrage erstreckt sich über alle Technologiebereiche. Der Vorstand ist sowohl hinsichtlich der kurz- als auch langfristig positiven Aussichten optimistisch, sowohl für die Nachfrage nach MOCVD-Anlagen zur Herstellung von Lasern für die 3D-Sensorik oder die optische Datenübertragung als auch für LED-basierte Displayanwendungen. Insbesondere bei der Nachfrage nach Anlagen zur Herstellung von Leistungsbauelementen basierend auf den Wide-Band-Gap Materialien SiC- und GaN (Siliziumkarbid, Galliumnitrid) rechnet der Vorstand im Ver-gleich zum Jahr 2020 erneut mit einem steigenden Umsatzbeitrag in 2021.

Basierend auf der aktuellen Unternehmensstruktur, einer Einschätzung der Auftragslage und dem Budgetkurs von 1,25 USD/EUR (2020: 1,20 USD/EUR) rechnet der Vorstand für das Geschäfts-jahr 2021 im Konzern mit Auftragseingängen in einer Bandbreite zwischen EUR 340 Mio. und EUR 380 Mio. Bei Umsatzerlösen in einer Bandbreite zwischen EUR 320 Mio. und EUR 360 Mio. erwartet der Vorstand, im Geschäftsjahr 2021 erneut eine Bruttomarge von etwa 40% sowie eine EBIT-Marge von rund 16% des Umsatzes zu erzielen. Die Erwartungen für 2021 beinhalten vollständig die Ergebnisse der APEVA-Gruppe inklusive aller notwendigen Investitionen, um dieEntwicklung der OLED-Aktivitäten weiter voranzutreiben, und stehen unter der Voraussetzung, dass die COVID-19-Pandemie weiterhin keine signifikanten Auswirkungen auf die Entwicklung unseres Geschäfts hat.

Darüber hinaus streben wir mit Blick auf die 2020 neu definierten Nachhaltigkeit-Ziele des AIXTRON-Konzerns mittelfristig eine erkennbare Reduktion des Energieverbrauchs sowie einen deutlichen Ausbau der Weiterbildungsmaßnahmen für unsere Mitarbeiter an.

Wie in den Vorjahren geht der Vorstand davon aus, dass AIXTRON auch im Geschäftsjahr 2021 kei-ne externe Bankenfinanzierung benötigen wird. Darüber hinaus wird der Konzern auf absehbare Zeit auch seine solide Eigenkapitalbasis aufrechterhalten können.

Gesamtaussage zur zukünftigen Entwicklung

Die Anlagen von AIXTRON ermöglichen die Herstellung von Lasern als Schlüsselkomponenten für die schnelle optische Datenübertragung (Cloud-Computing, Internet der Dinge), von Hoch-frequenzchips für 5G Mobilfunknetze oder für die Herstellung von Displays der nächsten Gene-ration (OLED-Displays, Mini- und Micro LED-Displays). Auch ermöglicht die AIXTRON-Technologie eine hocheffiziente Energiewandlung im Bereich der Stromversorgung von Serverfarmen oder Unterhaltungselektronik bzw. von Elektrofahrzeugen und deren Ladeinfrastruktur (GaN- und SiC-Bauelemente). Laser, die auf AIXTRON-Anlagen hergestellt werden können, sind Schlüsselkom-ponenten beispielsweise für die 3D-Sensorik in Smartphones oder in zunehmend komplexeren Assistenzsystemen von Fahrzeugen.

Aufgrund der nachgewiesenen Fähigkeiten von AIXTRON, innovative Depositionsanlagen in je-weils flexibler Anzahl für mehrere Abnehmermärkte zu entwickeln und zu vermarkten, ist der Vorstand von den positiven Zukunftsaussichten des Konzerns und seiner Zielmärkte überzeugt.

AIXTRON verfügte zum 31. Dezember 2020 über keine rechtsverbindlichen Vereinbarungen über Finanzbeteiligungen, Unternehmenserwerbe oder Veräußerungen von Unternehmensteilen.

Risikobericht

Risikomanagementsystem

Das Risikomanagementsystem von AIXTRON wird zentral gesteuert und bezieht alle wesentlichen Organisationseinheiten von AIXTRON in den Prozess mit ein. Der für den Bereich Compliance zu-ständige Vorstand der AIXTRON SE ist für die Etablierung eines Risikomanagementsystems ver-antwortlich und informiert in regelmäßigen Abständen oder bei Bedarf ad-hoc den gesamten Vorstand und den Aufsichtsrat.

Die vorrangigen Ziele des Systems sind die Unterstützung der Erreichung von strategischen Ge-schäftszielen sowie eine frühzeitige Erkennung von potentiellen Risiken, die deren Erreichung negativ beeinflussen könnten. Das Risikomanagementsystem unterstützt den Vorstand durch die Definition, Priorisierung und Nachverfolgung von risikoreduzierenden Maßnahmen beim syste-matischen und rationalen Management der erkannten Risiken.

Die regelmäßige, quartalsweise stattfindende Risikoinventur wird durch den zentralen Risiko-manager initiiert und überwacht. Dabei werden alle Risikoverantwortlichen aus den operativen Bereichen über die aktuellen Entwicklungen bereits bekannter Risiken und Maßnahmen zu deren Reduktion befragt. Die Ergebnisse werden auf zentraler Ebene zusammengeführt und in einem Risikokomitee besprochen bevor der Aufsichtsrat unterrichtet wird.

AIXTRON nutzt eine Risikomanagementsoftware zur Unterstützung des Prozesses. Alle Risiko-verantwortlichen haben Zugriff auf das System. Somit ist sichergestellt, dass abrupt auftretende Änderungen der Risikosituation oder neu erkannte Risiken durch die Risikoverantwortlichen aus den operativen Bereichen gemeldet und in das Risikoportfolio sowie in die Berichterstattung integriert werden.

Bei AIXTRON werden alle Einzelrisiken nach einem festgelegten Schema bewertet und klassi-fiziert. Die Bewertung der Eintrittswahrscheinlichkeit erfolgt in vier Stufen, ebenso die mögli-che Schadenshöhe bei Risikoeintritt. Die Schadenshöhe bezieht sich auf die Auswirkung auf das operative Ergebnis (EBIT) der AIXTRON-Gruppe, in Einzelfällen wird ein möglicher Abfluss von Zahlungsmitteln als Schadenshöhe herangezogen.

Die Eintrittswahrscheinlichkeit der Risiken wird dabei unterteilt in:

• • Abwegig = < 5%

• • Unwahrscheinlich = 5% - 10%

• • Möglich = >10% - 50%

• • Wahrscheinlich = >50% - 100%

Risiken mit einer Eintrittswahrscheinlichkeit von über 50% werden wenn möglich im Abschluss als Rückstellungen erfasst bzw. in der Planung berücksichtigt. Darüber hinaus wird die Erfassung von Eventualverbindlichkeiten im Abschluss auch bei niedrigeren Eintrittswahrscheinlichkeiten überprüft. Siehe hierzu Anmerkung 28 im Konzern-Anhang.

Als Kriterium für die Bewertung der möglichen finanziellen Auswirkung eines Risikos auf das Er-gebnis (EBIT) der AIXTRON-Gruppe wird die potentielle Nettoschadenshöhe (gemessen in % des Eigenkapitals) herangezogen:

• • Akzeptabel = <0,4%

• • Relevant = 0,4 - 2%

• • Erheblich = >2 - 4%

• • Kritisch = > 4%

Der Nettoschaden beschreibt dabei das Verlustpotenzial im Falle eines Risikoeintritts unter Berück-sichtigung der Effekte, die sich aus den Maßnahmen zur Risikoreduzierung ergeben. Aus dieser Bewertung leitet sich eine Risikomatrix ab, welche die Risiken der AIXTRON-Gruppe nach Wichtig-keit oder Dringlichkeit in die folgenden vier Risikoklassen unterteilt (Farbskala siehe Schaubild):

• • Akzeptables Risiko (grün)

• • Relevantes Risiko (gelb)

• • Erhebliches Risiko (orange)

• • Substanzielles Risiko (rot)

Die als substanziell klassifizierten Risiken sind die in Bezug auf eine Bestandsgefährdung des AIXTRON-Konzerns wesentlichen Risiken im Sinne des Deutschen Rechnungslegungsstandards (DRS 20).

Risiko-Landkarte

Kritisch

Schadenshöhe

Erheblich

Relevant

Akzeptabel

Abwegig Unwahrscheinlich Möglich Wahrscheinlich

Eintrittswahrscheinlichkeit

100