Axcelis Technologies, Inc. kündigte mehrere Lieferungen des Purion M? SiC-Mittelstrom-Implanter des Unternehmens an mehrere führende Hersteller von Chips für Leistungsgeräte in China. Die Systeme, die im ersten Quartal ausgeliefert wurden, werden für die 150-mm-Produktion von Siliziumkarbid-Leistungsbauelementen für die Automobilindustrie, die Industrie, den Energiesektor und andere leistungsintensive Anwendungen eingesetzt.