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02.04.	Axcelis Technologies, Inc. Axcelis Technologies meldet die Auslieferung des 'Purion EXE SiC Power Series' Implanters und den erfolgreichen Abschluss der 'Purion H200 SiC Power Series'-Evaluierung bei einem führenden Hersteller von Stromversorgungsgeräten in Japan	CI
20.03.	Axcelis Technologies, Inc. kündigt mehrere Lieferungen von 150-mm-Implantern der 'Purion M SiC Power Series' an führende Hersteller von Leistungsgeräten in China an	CI