Axcelis Technologies, Inc. Axcelis Technologies meldet die Auslieferung des 'Purion EXE SiC Power Series' Implanters und den erfolgreichen Abschluss der 'Purion H200 SiC Power Series'-Evaluierung bei einem führenden Hersteller von Stromversorgungsgeräten in Japan
Am 02. April 2024 um 14:00 Uhr
Teilen
Axcelis Technologies, Inc. gab die Auslieferung des Purion EXE SiC-Hochenergie-Implanters des Unternehmens sowie einen erfolgreichen Evaluierungsabschluss des Purion H200 SiC-Mittenergie-Implanters an führende Chiphersteller von Leistungsgeräten in Japan bekannt. Die Systeme werden für die 150mm- und 200mm-Produktion von Siliziumkarbid-Bauelementen für die Automobilindustrie, die Industrie, den Energiesektor und andere energieintensive Anwendungen eingesetzt.
Teilen
Zum Originalartikel.
Rechtliche Hinweise
Rechtliche Hinweise
Kontaktieren Sie uns, wenn Sie eine Korrektur wünschen
Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.
Axcelis Technologies, Inc. Axcelis Technologies meldet die Auslieferung des 'Purion EXE SiC Power Series' Implanters und den erfolgreichen Abschluss der 'Purion H200 SiC Power Series'-Evaluierung bei einem führenden Hersteller von Stromversorgungsgeräten in Japan
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 
