AIXTRON : AGM Speech by the CEO (German only)

AIXTRON SE

ISIN DE000A0WMPJ6 (WKN A0WMPJ)

ISIN DE000A3EX3C9 (WKN A3EX3C)

27. Ordentliche Hauptversammlung AIXTRON SE

Mittwoch, 15. Mai 2024, Aachen

Redebeitrag des Vorstands

vertreten durch

Dr. Felix Grawert, Vorstandsvorsitzender der AIXTRON SE

Es gilt das gesprochene Wort.

Rede zur Hauptversammlung 2024

1

Sehr geehrte Damen und Herren, liebe Aktionärinnen und Aktionäre,

ich begrüße Sie sehr herzlich, auch im Namen meines Vorstandskollegen Dr. Christian Danninger zu unserer diesjährigen Hauptversammlung. Ich freue mich sehr, dass wir heute zusammengekommen sind, und gemeinsam das vergangene Jahr Revue passieren lassen. Und auf das schauen, was vor uns liegt.

In den kommenden Minuten werden wir daher gemeinsam einen Blick auf die wichtigsten Ereignisse in 2023werfen. Dabei werden ich mich vor allem an drei Kernthemenorientieren: Den wichtigsten Erfolgendes vergangenen Jahres, bedeutenden Entscheidungen, die wir in 2023 getroffen haben und zuletzt möchte ich über einige Überraschungensprechen, die zum Jahreswechsel auf uns zugekommen sind. Aber lassen sie mich zunächst mit den Highlights von 2023 starten.

Große Erfolge

Wir haben im vergangenen Jahr große Erfolgeerzielt. Wir konnten unsere Spitzenposition im Bereich der Verbindungshalbleiter weiter ausbauen und uns erfolgreich am Markt behaupten. Unsere Produkte haben sich reger Nachfrage erfreut, wir haben wichtige Partnerschaften geschlossen und neue Kunden gewonnen. Diese Erfolge sind das Ergebnis unserer Strategie, unermüdlicher Beharrlichkeit und des Engagements jedes einzelnen Mitarbeiters.

All dies findet sich auch in unserem Finanzergebnis wieder: Unsere Umsatzerlöse im Geschäftsjahr 2023 stiegen um 36 Prozent auf EUR 630 Millionen. Unser Auftragseingang erreichte mit EUR 641 Mio. einen neuen Höchststand - ein Anstieg von fast 10 Prozent gegenüber dem Vorjahr. Das Betriebsergebnis (EBIT) kam auf EUR 157 Millionen. Das sind fast 50 Prozent mehr als im Vorjahr.

G10-Produktgeneration

Getrieben wurde dieser Erfolg unter anderem von unserer neuen G10-Produktfamilie, bestehend aus G10-SiC und G10-GaN zur Herstellung von Bauelementen für die effiziente Leistungselektronik

Rede zur Hauptversammlung 2024

2

und der G10-AsP für den Bereich der Laser- und Micro LED-Bauelemente. Im Jahr 2023 haben wir die Markteinführung der G10-Familie abgeschlossen.

G10-GaN

Besonders hervorheben möchte ich an dieser Stelle die G10-GaN als jüngstes Mitglied unserer neuen Produktgeneration. Sie hatte ihre Premiere im Herbst 2023 und hat es geschafft, noch vor ihrer offiziellen Markteinführung von Texas Instruments, einem der weltweit führenden Unternehmen in der Halbleiterindustrie, mit dem TI Supplier Excellence Award ausgezeichnet zu werden. Nun, was ist das Besondere an unserer neuen G10-GaN und an dem Material Galliumnitrid?

Ganz einfach, wir haben einen Tipping Point erreicht, an dem GaN dabei ist, immer mehr Anwendungen zu erschließen. Zunächst ging es los mit Schnellladegeräten für Smartphones. Danach folgten die großen Rechen- und Datencenter und die IT-Infrastruktur insgesamt. Doch auch dies ist erst der Anfang: Denn besonders mit der weiteren Ausbreitung von Anwendungen der Künstlichen Intelligenz - KI - wir das Thema GaN-Leistungselektronik rasend schnell voranschreiten. Denn eine Sache ist ganz klar: KI benötigt richtig viel Energie. Aktuell gibt es Studien, die davon ausgehen, dass KI einen wesentlichen Anteil des weltweiten Stromverbrauchs bis 2030 auf sich vereinen wird, mit den entsprechenden Auswirkungen auf die globalen CO2- Emissionen. GaN wird hier eine entscheidende Rolle spielen, etwa um die Energieeffizienz der großen Rechenzentren um bis zu 40 Prozent zu steigern.

Und welchen Beitrag leistet hier unsere neue G10-GaN? Sie bietet eine kompakte Cluster-Lösung für die Massenproduktion hochwertiger GaN-Bauelemente. Wir haben mit der G10-GaN ein System auf den Markt gebracht, das eine signifikante Verbesserung der Gleichförmigkeit von Schichten auf dem Wafer bei zugleich niedrigstem Partikelniveau bietet. Dies führt zu einer weiteren Steigerung der Ausbeute, des yield, und zudem den niedrigsten Epitaxie-Kosten pro Wafer, die in dieser Leistungsklasse auf dem Markt verfügbar sind. Und dies zahlt sich besonders für das Weltklima aus: Nach unseren Berechnungen erlaubt eine Jahresproduktion von GaN-

Rede zur Hauptversammlung 2024

3

Hochleistungs-Chips, die auf einem G10-GaN Cluster hergestellt werden - CO2 im Umfang des Ausstoßes eines mittelgroßen Kohlekraftwerks einzusparen.

In der Leistungselektronik hat Galliumnitrid im letzten Jahr einen entscheidenden Wendepunkt erreicht - die Kosten von GaN-Bauelementen haben in zahlreichen Anwendungen Kostenparität mit Silizium erreicht. Das ist bemerkenswert, denn erst vor wenigen Jahren hat GaN seinen Weg überhaupt in die Leistungselektronik gefunden - zunächst in den vorhin erwähnten Spezialanwendungen. Das Übertreffen von Silizium im Kostenvergleich markiert nun einen Punkt, ab dem sich für GaN die komplette Breite der Anwendungen erschließt: nicht nur die kompakten Ladegeräte oder die effizienten Rechenzentren. Auch all die batteriebetriebenen Geräte, wie Akkuschrauber und E-Bikes. Aber auch die zahlreichen Anwendungen niedrigerer Spannungen und integrierter Schaltungen, die bisher mit Silizium adressiert wurden. Kurzum - fast alle Anwendungen im Bereich der niedrigen und mittleren Spannungsklassen. Ein führender Halbleiterhersteller aus der Leistungselektronik hat kürzlich angekündigt, sich vollständig GaN zuzuwenden und seine Investitionen in Silizium schrittweise zurückzufahren.

Sie können sich sicher vorstellen, dass gerade in diesem, aktuellen Umfeld die Themen Kosten und Effizienz für diese internationalen Großkonzerne in der Halbleiterindustrie von größter Bedeutung sind. Sie fahren ihre Produktion hoch und fokussieren sich auf Skaleneffekte. Dabei müssen natürlich höchste Anforderungen an die Qualität der Halbleiterbauelemente gewährleistet sein. Und hier erweist sich unsere neue G10-GaN als äußerst zuverlässiges Werkzeug - sie wurde schlichtweg für genau diesen Anwendungsfall entwickelt. Wir sind daher überzeugt, dass die G10- GaN-Plattform eine Schlüsselrolle bei der Gestaltung der Zukunft der Leistungselektronik spielen wird.

G10-SiC

Für den Bereich der effizienten Leistungselektronik bei hohen Spannungsklassen, wie in der E- Mobilität, haben wir seit dem Herbst 2022 unsere G10-SiC auf dem Markt. Hier haben wir bewusst auf eine Multi-Batch-Lösung mit unserem bewährten Planetenreaktor gesetzt: Das bedeutet,

Rede zur Hauptversammlung 2024

4

mehrere SiC-Wafer können gleichzeitig verarbeitet werden. Dabei bietet unsere Technologie die Präzision und Qualität, die sonst nur sogenannte Single-Batch-Reaktoren liefern.

Insbesondere wurde die G10-SiC von Anfang an sowohl für die aktuell vorherrschende Wafergröße von 150 mm als auch für 200 mm Wafer konzipiert. Diese Wafergröße wird das Hauptvolumen des SiC-Marktes ausmachen und alle neuen Bestellungen unserer Kunden in den letzten 6 Monaten haben diese Wafergröße im Fokus.

Die Flexibilität, zwei Wafergrößen verarbeiten zu können, ist ein bemerkenswertes Merkmal der G10-SiC: Denn damit bieten wir unseren Kunden die Möglichkeit, unsere Anlage in eine laufende 150 mm Produktion zu integrieren, aber auch künftige Produktionspläne auf Basis von 200 mm von Beginn an mit zu adressieren. Auf diese Weise ermöglichen wir es unseren Kunden, ihre Wachstumsstrategien jetzt und in Zukunft mit unserer Technologie umzusetzen und die eigenen Produktionsvolumina bei bester Produktivität und niedrigsten Kosten hochzufahren.

Darüber hinaus haben wir das vergangene Jahr genutzt, um die G10-SiC noch weiter zu optimieren: Dank der neuen technologischen Fortschritte bietet die Anlage jetzt eine erstklassige Uniformität in Kombination mit dem höchsten Wafer-Durchsatz pro m² Reinraumfläche auf dem Markt. Heute können wir stolz sagen, dass es uns mit der G10-SiC gelungen ist, hinsichtlich der Anlagenperformance auf 150 mm und auch auf 200 mm zu den besten Tools der Wettbewerber aufzuschließen.

Dabei ermöglicht die G10-SiC die Produktion von SiC-Leistungsbauelementen zu den niedrigsten Betriebskosten. Das ist besonders wichtig in der Volumensphase, die gerade einsetzt: Kosteneffekte und Effizienzen sind hier die entscheidenden Kennzahlen. Und mit wachsenden Volumina hat der steigende Kostendruck unserer Kunden die Nachfrage nach der G10-SiC stark belebt.

Entsprechend konnten wir im Bereich der SiC-Leistungselektronik im vergangenen Jahr unseren Marktanteil massiv auszubauen. G10-SiC hat im Gesamtjahr 2023 rund 30% unseres gesamten

Rede zur Hauptversammlung 2024

5

Anlagenumsatzes auf sich vereint - und das innerhalb von nur einem Jahr nach ihrem Markteintritt. Ein namhaftes Analystenhaus hat AIXTRON für das Jahr 2023 das Erringen der Marktführerschaft auch im Bereich SiC Epitaxie bestätigt.

G10-AsP

Auch der Optoelektronik, unserem Ursprungsmarkt, sind wir treu geblieben. Im Februar 2023 haben wir unsere neue G10-AsP vorgestellt, für die Produktion von Micro LED- und Laser- Bauelementen auf Basis von Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP). Im Bereich Optoelektronik und hier vor allem im Bereich Laser sind gerade viele Kunden dabei, Anlagen zu qualifizieren und setzten dafür auf AIXTRON Technologie. Das ist ein Markt, der uns auch in Zukunft erhalten bleibt. Aber die Qualifizierungs-Zyklen betragen hier in der Regel mehrere Jahre.

Auch Micro LED bleibt hochspannend. Der Markt ist noch nicht da, aber er wird kommen. Da sind wir uns sicher. Darauf werde ich später noch näher eingehen.

In all diesen Bereichen wird unsere G10-AsP einen wichtigen Beitrag leisten, unseren Kunden neue Märkte zu erschließen und unsere Marktführerschaft abzusichern. Sie mögen sich fragen - was bietet die G10-AsP Besonderes?

Vor allem ermöglicht die G10-AsP eine signifikante Partikelreduktion, eine weitere Steigerung der Homogenität und zudem eine Vollautomatisierung, was zu einer hohen und wiederholbaren Qualität bei niedrigen Betriebskosten führt. In vielen führenden Anwendungsbereichen der Optoelektronik sind das entscheidende Faktoren für die nächsten Anwendungen: bei Lasern, bei Detektoren und in der 3D-Sensorik für autonomes Fahren, aber auch besonders bei der Produktion für Micro LED-Displays, die eine höhere Schärfe, besseren Kontrast und Brillanz bei reduziertem Energieverbrauch bieten. Unsere Anlage ist in diesem Bereich die erste und einzige ihrer Art, die trotz der hohen Produktionsanforderungen eine zuverlässige und automatisierte Großserienproduktion ermöglicht.

Rede zur Hauptversammlung 2024

6

Große Entscheidungen

Neben unseren Erfolgen war 2023 auch ein Jahr, das geprägt war von großen Entscheidungen, die wir für die Zukunft unseres Unternehmens getroffen haben. Kern war dabei immer das Thema Innovation. Innovation ist es, die AIXTRON seit nunmehr vier Jahrzehnten antreibt. Innovation bildet die Grundlage für unseren Erfolg, in der Vergangenheit, Gegenwart und Zukunft.

AIXTRON steht für Innovation. Und das wurde uns gerade noch einmal bestätigt. Die WirtschaftsWoche hat uns gemeinsam mit Accenture, EnBW und O2 Telefónica mit dem Deutschen Innovationspreis ausgezeichnet. Das ist eine hochkarätige Auszeichnung unter Schirmherrschaft des Bundesministeriums für Wirtschaft und Klimaschutz, mit der bahnbrechende neue Produkte, Technologien und Geschäftsideen einmal im Jahr prämiert werden.

Auch diesen Preis haben wir der Innovationskraft unserer G10-Produktfamilie zu verdanken. Nach mehreren Jahren Entwicklungsarbeit ist es uns gelungen, alle drei Anlagen innerhalb von nur eineinhalb Jahren auf den Markt zu bringen. Sie haben bereits heute einen großen Anteil daran, dass Verbindungshalbleiter den Weg in den Massenmarkt finden. Damit haben wir nicht nur einen entscheidenden Schritt für unsere eigene Zukunft gemacht, sondern auch weltweit einen nachhaltigen Beitrag zu Energieeffizienz und zur Elektrifizierung der Welt geleistet.

Fast auf den Tag genau vor einem Jahr haben wir außerdem verkündet, dass wir rund 100 Millionen Euro an unserem Standort in Herzogenrath in ein neues Innovationszentrum investieren werden. Dieses Innovationszentrum wird eine hochmoderne Entwicklungsstätte für die Halbleitertechnologie der Zukunft sein: Hier werden wir nicht nur an den Verbesserungen unserer aktuellen Produktgeneration arbeiten, sondern gemeinsam mit unseren Kunden zukunftsweisende Technologien entwickeln, die in den nächsten Jahren auf den Markt kommen. Dieses große Investment stemmen wir aus eigener Kraft. Die Bauarbeiten für AIXTRONs entscheidendes Zukunftsprojekt laufen seit November 2023 auf Hochtouren.

Rede zur Hauptversammlung 2024

7

Das war eine unglaubliche Leistung des gesamten Teams - sowohl auf Seiten von AIXTRON als auch unserer starken Partner. Die Baugenehmigung erfolgte im Spätsommer 2023, und wir planen aktuell, dass etwa ein Jahr danach bereits die ersten Anlagen einziehen können. Warum das so besonders ist? Nun ja, alle von Ihnen, die aus der Region hier kommen, wissen sicherlich noch, wie die Witterungsbedingen gerade zu Ende 2023 und Beginn 2024 waren. Das Team hat extremem Wind, Regen und Schnee getrotzt, mit Baumaschinen, die im Schlamm versunken sind und großen Baukränen, die aufgrund der Stürme in diesem Frühjahr mehrfach pausieren mussten. Trotzdem konnten alle Verzögerungen immer wieder aufgeholt werden und aktuell sind wir ganz präzise im ursprünglichen Zeitplan! Wir sind stolz auf die Leistung unseres Teams und unserer Partner. Überzeugen Sie sich bitte selbst von dem beeindruckenden Baufortschritt, der sich trotz all dieser Widrigkeiten kontinuierlich fortgesetzt hat:

VIDEO - Baustelle

Die offizielle Eröffnung ist für Ende 2024/Anfang 2025 geplant.

Ausblick

Meine Damen und Herren, wie Sie sehen geht es bei AIXTRON in großen Schritten voran. Die Nachfrage nach unserer neuen Anlagengeneration bleibt hoch, und wir investieren bereits jetzt aus eigener Kraft in die Zukunft.

Diese Innovationskraft und der stetige Blick nach vorne wird auch von den Großen der Branche gesehen und geschätzt. Unsere G10-Anlagengeneration ist das Werkzeug, mit dem diese entscheidenden Konzerne der Halbleiterindustrie ihre eigene Wachstumsstrategien umsetzen und die Volumina ihrer Produktionen hochfahren. AIXTRON ist für sie dabei ein strategisch wichtiger Schlüssellieferant. Und das machen diese Unternehmen auch öffentlich:

• Der größte Halbleiter-Konzern der Welt, TSMC, hat uns für unseren Kundendienst und After-Sales-Support ausgezeichnet.

Rede zur Hauptversammlung 2024

8

• Ein Lieferantenaward für unseren Kundenservice kam auch von onsemi: Mit unserer G10- SiC und unserem starken Team haben wir vor Ort in der neuen Fab in Südkorea den Produktionsanlauf in Rekordzeit unterstützt.
• Im April durften wir verkünden, dass der weltweit führende Siliziumkarbid-Hersteller Wolfspeed auf AIXTRONs G10-SiC setzt, um seine Produktion von 200-mm-SiC-Epitaxie- Wafern auszuweiten.
• Kurz darauf kam die Nachricht, dass auch Vishay - der weltweit größte Hersteller von diskreten Halbleitern und passiven elektronischen Komponenten - auf unsere Multiwafer- Batch-Lösung vertraut, um die eigene Produktion hochzufahren.
• Mittlerweile haben wir es geschafft, mit unserer G10-SiC einen weiteren Kunden aus dem Kreis der Top-5SiC-Hersteller zu sichern - ebenso wie einen Großauftrag aus China und mehrere Kunden in Japan.
• Von Coherent, einem entscheidenden Tech-Konzern etwa im Bereich Netzwerk- Technologie, kam ein "Innovation & Technology Award" - und zwar direkt für zwei Anlagensysteme: die G10-AsP und die G10-SiC.
• Texas Instruments zeichnete unsere G10-GaN noch vor der offiziellen Markteinführung mit dem TI Supplier Excellence Award aus
• Und vom Micro-LED-Riesen BOE HC SemiTek gab es einen Gold Supplier Award für unsere Zusammenarbeit bei Micro LED.

Wir hoffen, dass Sie an diesen Beispielen sehen, dass wir erfolgreich unsere Strategie umsetzen und dies auf starke Resonanz bei unseren Kunden stößt. Im Folgenden möchte ich jetzt auf einige Themen zu sprechen kommen, die Sie und uns aktuell sehr bewegen.

Überraschungen der vergangenen Monate

Wo stehen wir heute, und wie geht es weiter, im aktuellen Geschäftsjahr und darüber hinaus? Ich möchte unterscheiden zwischen der kurzfristigen Sicht und dem mittelfristigen Ausblick.

Rede zur Hauptversammlung 2024

9

Kurzfristig sehen wir aktuell in der Halbleiterindustrie zwei Trends:

Eine Gruppe von Marktsegmenten - und Unternehmen, die diese vornehmlich bedienen - verzeichnet starkes Wachstum und ansteigende Nachfrage - ausgelöst durch KI.

Eine andere Gruppe von Marktsegmenten, und vor allem die Leistungshalbleiterindustrie, befindet sich aktuell in einem Downcycle: Das haben die Q1-Ergebnisse der Leistungshalbleiterhersteller gezeigt, fast überall haben wir Korrekturen der Prognosen und teilweise Ankündigungen von Sparprogrammen gesehen. Dies führt zu einer gewissen Zurückhaltung ebendieser Kunden bei der Platzierung neuer Bestellungen.

Hinzu kommt, dass bei SiC die anfängliche Euphorie einer - aus unserer Sicht - realistischeren Einschätzung des Hochlaufs der E-Mobilität gewichen ist: mittel- und langfristig werden sich Elektroautos durchsetzen. Doch je nach regionalem Markt und nach Nutzungsverhalten der Kunden wird dies eine Umstellung mit verschiedenen Geschwindigkeiten sein, und nicht in einigen wenigen Jahren abgeschlossen sein. Wir werden auch nicht 10 Halbleiterhersteller mit je 30% Marktanteil sehen, sondern eine Auslese, die jetzt gerade einsetzt. All dies nimmt der Kapitalmarkt nun wahr und preist es in die Bewertung unserer Aktie ein. Was der Markt aus unserer Sicht allerdings nicht ausreichend würdigt, sind unsere Marktanteilsgewinne und unsere Erfolge - denn auch in einer zwischenzeitlichen Phase der Stagnation im Markt kann man wachsen, wenn man es richtig angeht!

Ende Februar kam noch eine weitere, große Überraschung hinzu. Wir waren gerade dabei, die Zahlen unseres sehr erfolgreichen Geschäftsjahrs 2023 zu veröffentlichen: Da kündigte ams Osram an, einen großen Kunden im Bereich Micro LED verloren zu haben.

Hier möchte ich unterstreichen, dass ams Osram einer unserer wichtigen Kunden ist, wir für die Jahre 2024 und 2025 jedoch keinen Volumenshochlauf mit diesem Kunden eingeplant hatten. Vielmehr arbeiten wir im Bereich Micro LED mit vielen wichtigen Akteuren der Branche zusammen. Mit einigen Kunden arbeiten wir eng in der Entwicklung zusammen und unterstützen

Rede zur Hauptversammlung 2024

10