CyberOptics Corporation wird auf der SEMICON West 2022 HYBRID ausstellen, die vom 12. bis 14. Juli 2022 im Moscone Center in San Francisco stattfindet und rund um die Uhr online ist. Das Unternehmen wird am Stand #1241 sein WaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2) der nächsten Generation und das neue ReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR) vorstellen. ATS2 und ATSR sind Multikamera-Sensoren, die zusammen mit der CyberSpectrum™ Software verwendet werden, um eine genaue Kalibrierung von Wafern und Retikeln für die korrekte Ausrichtung und Einrichtung von Halbleiterwerkzeugen zu erlernen. Die Sensoren "sehen" in das Innere und erfassen dreidimensionale Offset-Daten (x, y und z) in Echtzeit, um die Wafer- und Reticle-Übergabepositionen schnell zu erlernen - und zwar ohne die Werkzeuge zu öffnen.

Prozess- und Anlagentechniker können wiederholbare und reproduzierbare Setups und Wartungsprüfungen durchführen, die Fehlersuche beschleunigen und Abweichungen von Techniker zu Techniker eliminieren. CyberOptics wird außerdem WaferSense®-Sensoren für Nivellierung, Vibration, Lückenbildung, relative Luftfeuchtigkeit, Widerstand und luftgetragene Partikel vorführen.