NetGAGE3D-Sensoren sind hochpräzise Weißlichtinterferometer für die 3D-Vermessung von Oberflächen. Mit einer Auflösung bis in den Nanometerbereich und ihrem großen Verfahrbereich in Z-Richtung sind sie ein ideales Instrument für die optische Vermessung von Ebenheiten, Stufenhöhen und Parallelität.
ISRAs Weißlichtinterferometer der Produktreihe NetGAGE3D lassen sich dank schneller und einfacher Integrationssoftware und robuster Hardware problemlos in automatisierte Fertigungsabläufe integrieren oder als Standalone-Systeme für die Stichprobenkontrolle, Entwicklung oder Laboranwendungen betreiben.
Unabhängig vom Messfeld wird über alle Produktvarianten eine gleichbleibend hohe Genauigkeit von 10 nm - 1µm erzielt.
Weißlichtinterferometer NetGAGE3D - Produktübersicht
Messfeld (max): 16x16 mm²
Laterale Auflösung (max): 11 µm
Arbeitsabstand (typ): 85 mm
Messfeld (max): 20x20 mm²
Laterale Auflösung (max): 16 µm
Arbeitsabstand (typ): 90 mm
Messfeld (max): 33x33 mm²
Laterale Auflösung (max): 20 µm
Arbeitsabstand (typ): 75 mm
Messfeld (max): 53x53 mm²
Laterale Auflösung (max): 32 µm
Arbeitsabstand (typ): 85 mm
Messfeld (max):110x110 mm²
Laterale Auflösung (max): 67 µm
Arbeitsabstand (typ): 150 mm
Messfeld (max): 33x33 mm²
Laterale Auflösung (max): 17 µm
Arbeitsabstand (typ): 75 mm
Messfeld (max): 19x19 mm²
Laterale Auflösung (max): 19 µm
Arbeitsabstand (typ): 30 mm
Messfeld (max): 16x16 mm²
Laterale Auflösung (max): 11 µm
Arbeitsabstand (typ): 85 mm
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ISRA Vision AG published this content on 18 January 2021 and is solely responsible for the information contained therein. Distributed by Public, unedited and unaltered, on 18 January 2021 09:21:02 UTC