Soitec steigert die Ausbeute seiner Kunden bei der Herstellung von Siliziumkarbid-Halbleitern mit der KLA-Inspektionstechnologie
Am 13. Juli 2022 um 08:45 Uhr
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Soitec hat sich für die KLA Corporation entschieden, um eine hohe Ausbeute bei der Herstellung innovativer Siliziumkarbid (SiC)-Bauteile für die Automobilindustrie zu erzielen. Soitec nutzt seine einzigartige und patentierte SmartSiC Technologie zur Herstellung von SiC-Substraten, die die Leistung von Leistungselektronikgeräten verbessern und die Energieeffizienz von Elektrofahrzeugen steigern sollen. Soitec hat seine Partnerschaft mit KLA erweitert und sich für das ungemusterte Inspektionssystem Surfscan® SP A2 für seine SmartSiC-Wafer entschieden, nachdem das Unternehmen bereits erfolgreich die Inspektionssysteme von KLA für seine Silicon-on-Insulator (SOI)-Wafer eingesetzt hat.
Die SmartSiC-Wafer von Soitec bieten eine hervorragende und einzigartige Kristallqualität, während der Surfscan® SP A2 von KLA die DUV-Optik und fortschrittliche Algorithmen zur Unterstützung der Qualitätskontrolle der Substrate nutzt. Diese Partnerschaft wird die Produktion von SiC-Substraten auf einem neuen und noch anspruchsvolleren Niveau ermöglichen und die Industrie dabei unterstützen, qualitativ hochwertige SiC-Halbleiter in großen Mengen auf den Automobilmarkt zu bringen. Im März 2022 kündigte Soitec den Bau einer neuen Produktionsstätte, Bernin 4, an seinem Hauptsitz in Bernin in der Nähe von Grenoble, Frankreich, an, die in erster Linie für die Herstellung von SmartSiC Wafern in den Größen 150mm und 200mm vorgesehen ist.
Die neue Fabrik wird voraussichtlich in der zweiten Hälfte des Jahres 2023 betriebsbereit sein.
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Die KLA Corporation gehört zu den weltweit führenden Unternehmen in der Entwicklung, Herstellung und Vermarktung von Kontroll- und Verbesserungsverfahren für Halbleiterproduktionsprozesse. Der Nettoumsatz verteilt sich wie folgt auf die Produkt- und Dienstleistungsfamilien: - Inspektionssysteme (41,3%): für die Erkennung, Zählung, Klassifizierung und Charakterisierung von Defekten im Zusammenhang mit der Herstellung von Siliziumwafern und Halbleitern; - Metrologie- und Extrem-Ultraviolett-Lithographiesysteme (26,6%): für die Kontrolle von Lithographie-, Beschichtungs- und Gravurprozessen; - Dienstleistungen (20,2%): Beratung, technische Unterstützung, Installation, Wartung, etc; - Werkzeuge für fortschrittliche Vakuumbeschichtungs- und Ätzverfahren (4,7%); - Inspektionssysteme für Leiterplatten, Displays und elektronische Komponenten (3,6%); - Sonstige (3,6%): hauptsächlich Geräte und Software für die Fehleranalyse. Der Nettoumsatz verteilt sich geographisch wie folgt: Nordamerika (12%), China (27,3%), Taiwan (23,8%), Korea (18%), Japan (8,4%), Europa und Israel (6,5%) und Asien (4%).