Pivotal Systems Corporation bietet die Technologieplattform für Gasflussüberwachung (GFM) und -steuerung für die globale Halbleiterindustrie. Das Unternehmen entwirft, entwickelt, produziert und vertreibt Produkte zur Gasflusskontrolle, darunter die Produktfamilie der Gas Flow Controller (GFC) und Flow Ratio Controllers (FRC) für Ätz- und Beschichtungsanwendungen. Zu den Produkten gehören GFC20, GFC200, GFC1000, GFC2000, GFC5L, GFC20L und GFC50L. Der GFC kombiniert sein patentiertes GFM-System mit einer patentierten Steuerventiltechnologie. Seine Produkte werden von Erstausrüstern, Gießereien und Herstellern integrierter Geräte verwendet. Die Plattform umfasst GFC-Produktlinien, die Echtzeit-Überwachung für die Kontrolle bei der Wafer-Verarbeitung bieten, hauptsächlich für Gasfluss und Kammerbedingungen. Die Hard- und Software des Unternehmens nutzt maschinelles Lernen, um präventive Diagnosefunktionen zu ermöglichen. Das Unternehmen verfügt über Produktions- und Montageeinrichtungen in Shenzhen, China, und Dongtan, Südkorea, die von Dritten betrieben werden.
Mehr Unternehmensinformationen