Axcelis Technologies, Inc. kündigt mehrere Lieferungen von 150-mm-Implantern der 'Purion M SiC Power Series' an führende Hersteller von Leistungsgeräten in China an
Am 20. März 2024 um 13:00 Uhr
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Axcelis Technologies, Inc. kündigte mehrere Lieferungen des Purion M? SiC-Mittelstrom-Implanter des Unternehmens an mehrere führende Hersteller von Chips für Leistungsgeräte in China. Die Systeme, die im ersten Quartal ausgeliefert wurden, werden für die 150-mm-Produktion von Siliziumkarbid-Leistungsbauelementen für die Automobilindustrie, die Industrie, den Energiesektor und andere leistungsintensive Anwendungen eingesetzt.
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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.
Axcelis Technologies, Inc. kündigt mehrere Lieferungen von 150-mm-Implantern der 'Purion M SiC Power Series' an führende Hersteller von Leistungsgeräten in China an