Thermo Fisher Scientific hat das Thermo Scientific Meridian EX System? vorgestellt, eine elektronenstrahlbasierte Fehleranalyselösung, die eine präzise Fehlerlokalisierung bei fortschrittlichen Halbleiterlogiktechnologien ermöglicht. Da die Halbleiterhersteller immer komplexere Architekturen einführen, um leistungsfähigere und energieeffizientere Halbleiter zu liefern, stoßen sie an die Grenzen der bestehenden Lösungen für die Fehleranalyse.

Während für herkömmliche Halbleiter weiterhin optische Fehlerisolierungswerkzeuge verwendet werden können, sind für fortschrittliche Logikbausteine nun neue Lösungen erforderlich, um subtile elektrische Defekte zu isolieren und zu identifizieren, die durch Metallverbindungen auf der Vorder- und Rückseite des Bausteins vollständig verdeckt sein können. Das neue Meridian EX System von Thermo Fisher verwendet einen Elektronenstrahl, um das zu testende Bauteil zu untersuchen. Dank der viel kleineren Wellenlänge von Elektronenstrahlen im Vergleich zu Lasern können Anwender eine 10-fache Verbesserung der räumlichen Auflösung im Vergleich zu handelsüblichen optischen, laserbasierten Lösungen zur Fehlerisolierung erzielen.

Diese Verbesserung trägt dazu bei, das "Übersprechen" von benachbarten Schaltkreisen zu eliminieren und so zuverlässigere Charakterisierungsdaten zu liefern. Darüber hinaus ermöglicht der Elektronenstrahl des Meridian EX die Erfassung dynamischer Daten von metallischen Verbindungen, wie z.B. Stromverteilungsschichten, was mit optischen Fehlerisolierungssystemen nicht möglich ist.

Die Merkmale umfassen: Ein neues, dediziertes Elektronensäulendesign ermöglicht eine präzise, durch Metall hindurchgehende Untersuchung. Ein neues Hochgeschwindigkeits-Subsystem zur Strahlumschaltung ermöglicht die Lokalisierung feiner Chipdefekte. Die branchenübliche Thermo Scientific Meridian Softwareschnittstelle sorgt für Benutzerfreundlichkeit und schnelle Integration in bestehende Arbeitsabläufe bei der Fehleranalyse im Labor.