Nova Ltd.

Nova Ltd, ehemals Nova Measuring Instruments Ltd, ist ein in Israel ansässiges Unternehmen, das messtechnische Lösungen für die Halbleiterindustrie anbietet. Das Unternehmen bietet optische Inline- und Röntgenstand-alone-Metrologiesysteme sowie integrierte optische Metrologiesysteme an, die direkt an die Prozessausrüstung für die Waferherstellung angeschlossen werden. Die Messsysteme des Unternehmens messen verschiedene Eigenschaften der Schichtdicke und -zusammensetzung sowie Variablen der kritischen Dimension (CD) während verschiedener Front-End- und Back-End-of-Line-Schritte bei der Herstellung von Halbleiterwafern. Das Produktportfolio umfasst eine Reihe von in-situ, integrierten und eigenständigen Messplattformen, die sich für Dimensions-, Schicht- und Materialmessungen zur Prozesskontrolle in verschiedenen Prozessschritten der Halbleiterherstellung eignen. Zu den Produkten gehören unter anderem NovaScan 2040, NovaScan 3090Next, Nova i500, Nova T500, Nova T600 und Nova V2600 TSV-Metrologiesystem.