SiCarrier, ein chinesischer Hersteller von Chip-Produktionsanlagen mit engen Verbindungen zu Huawei, strebt in seiner ersten Finanzierungsrunde rund 2,8 Milliarden US-Dollar an, wie zwei mit den Plänen vertraute Personen berichten. Das Startup will damit neue Kunden gewinnen und seine Marktmacht ausbauen.

SiCarrier war bis vor Kurzem noch weitgehend unbekannt, ist jedoch in diesem Jahr zum Gesprächsthema Nummer eins in chinesischen Halbleiterkreisen geworden, da das Unternehmen ehrgeizige Pläne für ein breites Produktspektrum verfolgt.

Gegründet 2021 und im Besitz der Stadtregierung von Shenzhen, gilt SiCarrier vor allem als Zulieferer von Huawei. Nach Angaben von vier mit den Zielen vertrauten Personen will das Unternehmen jedoch zum führenden inländischen Anbieter von Chip-Produktionsanlagen in China aufsteigen und dabei Naura und Advanced Micro-Fabrication Equipment China (AMEC) überholen.

SiCarrier ist ein Paradebeispiel dafür, wie US-Beschränkungen beim Export von Chip-Produktionsausrüstung und fortschrittlichen Halbleitern nach China - die den technologischen Fortschritt der zweitgrößten Volkswirtschaft der Welt in gewisser Weise bremsen - chinesische Unternehmen dazu anspornen, Präsident Xi Jinpings Aufruf zur Entwicklung einer eigenständigen Halbleiterindustrie zu folgen.

Die Stadtregierung von Shenzhen, einer Hightech-Metropole im Süden Chinas, plant laut einer der Quellen, etwa 25 % einer SiCarrier-Einheit zu verkaufen und strebt dabei eine Bewertung von 80 Milliarden Yuan (11 Milliarden US-Dollar) an. Die Finanzierungsrunde könnte in den kommenden Wochen abgeschlossen werden.

Die Quelle fügte hinzu, dass die betreffende Einheit nicht die Lithografie-Vermögenswerte von SiCarrier umfasst. Reuters konnte den Namen der Einheit nicht in Erfahrung bringen.

Die Erlöse sollen überwiegend in Forschung investiert werden. Laut zwei Quellen haben staatseigene chinesische Unternehmen, Staatsfonds sowie inländische Venture-Capital- und Private-Equity-Fonds Interesse an einer Beteiligung bekundet. Es dürfte sich um eine der größten Yuan-dominierten Finanzierungsrunden eines chinesischen Unternehmens in diesem Jahr handeln.

Reuters sprach für diesen Artikel mit zehn mit SiCarriers Geschäft vertrauten Personen. Alle lehnten es ab, namentlich genannt zu werden, da das Unternehmen seine Pläne bislang nicht öffentlich gemacht hat.

SiCarrier, das Ende letzten Jahres wegen seiner engen Beziehungen zu Huawei von US-Exportkontrollen betroffen war, reagierte nicht auf Anfragen nach Stellungnahme.

Huawei erklärte, keine Verbindung zu SiCarrier zu haben. Auch die Stadtregierung von Shenzhen äußerte sich nicht.

AUFSEHEN ERREGENDER AUFTRITT

SiCarrier hielt sich in den ersten Jahren weitgehend bedeckt, sorgte jedoch auf der diesjährigen Semicon China im März für Aufsehen: Der Stand zog große Besuchergruppen an, präsentiert wurde ein Katalog mit 30 Maschinen - von Ätzanlagen bis zu Inspektionssystemen, benannt nach chinesischen Bergen. Lithografie-Systeme waren allerdings nicht zu sehen.

Auch wenn die Führungskräfte damals keine Details zum Entwicklungsstand der Produkte nannten, sagten zwei Quellen, dass sich der Großteil des Sortiments noch in der Entwicklung befinde und nicht serienreif sei.

Produktionsanlagen für Chips durchlaufen üblicherweise lange Test- und Validierungsprozesse, bevor sie von Kunden eingesetzt werden.

,,Angesichts der kurzen Zeit seit der Gründung erscheint es nahezu unmöglich, dass sie derart komplexe Maschinen entwickelt und die umfangreichen Verifizierungsprozesse bereits abgeschlossen haben", schrieben auch Analysten von Bernstein in einer Kundenmitteilung im März.

Selbst wenn SiCarrier in den nächsten Jahren schnelle Fortschritte macht, wird es vermutlich deutlich länger dauern, bis chinesische Anbieter von Chip-Produktionsanlagen die Dominanz ausländischer Firmen ernsthaft herausfordern können.

Im vergangenen Jahr machten in China hergestellte Anlagen für die Wafer-Fertigung laut Daten von TechInsights nur 11,3 % der Gesamtanschaffungen aus. Seit 2020, als die USA die Exportbeschränkungen verschärften, hat China laut diesen Daten 128 Milliarden US-Dollar für solche Anlagen ausgegeben.

HOHE AMBITIONEN

Eine Reuters-Auswertung von 92 chinesischen Patenten, eingereicht von Shenzhen SiCarrier Industry Machines und der Muttergesellschaft Shenzhen SiCarrier Technologies zwischen Oktober 2022 und März dieses Jahres, zeigt, dass die Gruppe ein Komplettanbieter für die gesamte Ausrüstung zur Chipfertigung werden will - und damit ein deutlich breiteres Produktspektrum anstrebt als Naura oder AMEC.

Die Patente, recherchiert über die AcclaimIP-Datenbank des US-Unternehmens Anaqua und von Reuters verifiziert, reichen von Wafer-Messgeräten über Ätzsysteme bis hin zu Depositionsanlagen, die dünne Schichten auf Wafern aufbringen, um deren elektrische Eigenschaften zu verändern. Damit tritt SiCarrier in Konkurrenz zu Unternehmen wie KLA, Lam Research (USA) und Tokyo Electron (Japan).

SiCarrier investiert zudem in KI-gestützte Erkennung von Defekten auf Wafern - eine Spitzentechnologie, die die Ausbeute bei der Chipfertigung verbessern soll.

Mess- und Inspektionssysteme bieten laut zwei der Quellen das größte Potenzial für SiCarrier, sich einen Namen zu machen, da in diesen Bereichen in China bislang kein dominanter Anbieter existiert.

Weitere Patente betreffen Komponenten für Deep-Ultraviolet-Lithografie-Systeme (DUV) und Multi-Patterning-Techniken zur Chipfertigung, die SiCarrier als Lösung für Chinas fehlenden Zugang zu modernsten EUV-Lithografie-Anlagen anpreist.

Multi-Patterning, das optische Lithografie durch verschiedene atomlagenbasierte Ätz- und Depositionsschritte ersetzt, ist allerdings umstritten. Die Technik wurde in den 2010er Jahren vom US-Chipriese Intel eingeführt und von TSMC (Taiwan) für die erste Generation von 7-Nanometer-Chips genutzt. Sie ist jedoch fehleranfällig und führt laut Dan Hutcheson, Vizepräsident bei TechInsights, durch die zusätzlichen Fertigungsschritte zu geringeren Ausbeuten.

SKEPSIS WEGEN HUAWEI-VERBINDUNGEN

Nach Angaben von Brancheninsidern entstand SiCarrier aus einer Huawei-Einheit für Halbleiterausrüstung. Während einige chinesische Foundries SiCarrier-Anlagen gekauft haben, um das Regierungsprojekt zu unterstützen, gibt es laut drei Quellen auch Zurückhaltung - aus Sorge, Betriebsgeheimnisse könnten an Huawei weitergegeben werden.

Hersteller von Chip-Produktionsanlagen arbeiten eng mit Foundries zusammen, um ihre Produkte zu testen, zu validieren und zu verbessern. Die Zurückhaltung der Kunden könnte SiCarriers Fortschritt bremsen.

Die Verbindungen zu Huawei sind eng: So wurden laut einer Quelle mehrere Mitarbeiter von Huaweis Chip-Design-Einheit HiSilicon an SiCarrier abgeordnet.

,,Das größte Problem ist nicht das Produkt. Wenn Kunden die Anlagen nutzen, könnte Huawei ihre Prozessparameter erfahren", sagte eine weitere Quelle.

,,Wenn das Unternehmen groß werden will, muss es sich völlig von Huawei trennen. Selbst dann wird es aber noch Jahre dauern, die Produkte zu validieren und weiterzuentwickeln."

($1 = 7,2480 chinesische Yuan)