Axcelis Technologies, Inc. meldet mehrere neue Markteintritte und Folgelieferungen von Implantaten der Purion Power Serie an Chiphersteller weltweit
Am 10. November 2022 um 14:00 Uhr
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Axcelis Technologies, Inc. hat mehrere neue und nachfolgende Lieferungen von Ionenimplanter-Systemen der Purion Power Serie bekannt gegeben. Die Lieferungen gingen an mehrere Produktionsstätten in Asien und Europa, die von führenden Herstellern von Si- und SiC-Leistungschips betrieben werden. Zu diesen Lieferungen gehört auch das erste SiC-Tool, das vom Axcelis Asia Operations Center in Südkorea ausgeliefert wurde. Zu den gekauften Modellen der Purion Power Series Implanter gehören der Purion H200o Hochstrom, der Purion XEo Hochenergie und der Purion Mo Mittelstrom-Implanter, die alle für den Einsatz in der Großserienproduktion von Si- und SiC-Leistungsbauelementen vorgesehen sind.
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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.