Axcelis Technologies, Inc. hat mehrere neue und nachfolgende Lieferungen von Ionenimplanter-Systemen der Purion Power Serie bekannt gegeben. Die Lieferungen gingen an mehrere Produktionsstätten in Asien und Europa, die von führenden Herstellern von Si- und SiC-Leistungschips betrieben werden. Zu diesen Lieferungen gehört auch das erste SiC-Tool, das vom Axcelis Asia Operations Center in Südkorea ausgeliefert wurde. Zu den gekauften Modellen der Purion Power Series Implanter gehören der Purion H200o Hochstrom, der Purion XEo Hochenergie und der Purion Mo Mittelstrom-Implanter, die alle für den Einsatz in der Großserienproduktion von Si- und SiC-Leistungsbauelementen vorgesehen sind.