Axcelis Technologies, Inc. kündigt mehrere Neu- und Folgelieferungen von Implantern der Purion Power Serie an Chiphersteller weltweit an
Am 19. Oktober 2022 um 14:00 Uhr
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Axcelis Technologies, Inc. gab mehrere Neu- und Folgelieferungen von Implantern der Purion Power Series des Unternehmens an führende Hersteller von Leistungsbauelementen in Silizium- und Siliziumkarbid-Technologien bekannt. Zu den Systemen gehören der Purion H200 Hochstrom, Purion H200 SiC Hochstrom, Purion XE SiC Hochenergie und der Purion M SiC Mittelstrom. Diese Kunden werden die Systeme in der Großserienproduktion von Stromversorgungsgeräten für die Automobilindustrie und andere Stromversorgungsmärkte einsetzen.
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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.