ASM International N.V. kündigte TENZATM ALD an, eine innovative Single-Wafer Atomic Layer Deposition (ALD) Prozesstechnologie für 300mm-Wafer. TENZATM ALD ist für Gap-Fill-Anwendungen optimiert und bietet die beste Schichtqualität, eine konforme Abdeckung durch den gesamten Graben und die höchste Produktivität in seiner Klasse. TENZATM ALD wird auf der hochproduktiven Quad Chamber Module (QCM)-Architektur von ASM angeboten, mit vier eng integrierten Reaktoren auf jedem QCM.

In einer kompakten Konfiguration können bis zu 4 QCMs, auf denen der TENZATM ALD-Prozess läuft, an die XP8-Plattform angeschlossen werden, so dass bis zu 16 Wafer gleichzeitig verarbeitet werden können. TENZATM ALD verwendet ein neuartiges Design, das für ALD-Reaktionen optimiert ist. Es minimiert das Prozessvolumen für eine maximale Effizienz bei der Nutzung des Precursors, reduziert den Precursor-Verbrauch um bis zu 50% und erhöht die Produktivität um mehr als das Doppelte im Vergleich zu herkömmlichen ALD-Verfahren. Jede Reaktorkammer steuert die RF-Plasmaversorgung und das Anpassungssystem individuell, um die Reproduzierbarkeit des Prozesses zu verbessern.

Der kleinvolumige Reaktor bietet außerdem eine hervorragende Defektleistung und eine längere Lebensdauer des Reaktors (Laufzeit vor vorbeugender Wartung). Die Prozessreaktionen sind in jedem kleinvolumigen Reaktor auf ein Minimum an Verschleißteilen beschränkt, was die Wartung sehr einfach und weniger kostspielig macht. TENZATM ALD ermöglicht eine Vielzahl von Siliziumoxid-Anwendungen als Lückenfüller und Liner für eine Reihe von Strukturen in fortschrittlichen Transistoren, Speicherbauelementen und Verbindungselementen.

Die Industrie kann sich darauf verlassen, dass TENZATM ALD ein qualitativ hochwertiges, zuverlässiges, wiederholbares und produktionserprobtes Gap-Fill-Verfahren mit den niedrigsten Betriebskosten auf dem heutigen Markt liefert. Die Auslieferung von TENZATM ALD an mehrere globale Kunden, darunter führende Unternehmen in der Herstellung von Speicherbausteinen, hat begonnen. Die ausgereifte kompakte ALD-Architektur mit vier Kammern von ASM hat sich mit mehr als 2.000 an Kunden ausgelieferten Reaktoren bewährt.