ACM Research, Inc. hat über seine Tochtergesellschaft ACM Research (Shanghai), Inc. das Ultra Track Tool eingeführt und damit den Einstieg in den Markt für Gleisanlagen vollzogen. Die Beteiligung von ACM an dieser neuen Produktkategorie ist eine natürliche Weiterentwicklung seines Know-hows in den Bereichen Reinigung, Beschichtung und Entwicklung von Systemen. Das Unternehmen hat die Forschung und Entwicklung für sein erstes eigenständiges Beschichtungswerkzeug und sein Entwicklungswerkzeug für Verpackungen 2013 abgeschlossen und 2014 ausgeliefert. ACM rechnet damit, das erste Ultra Track Coater/Developer ArF-Gerät in wenigen Wochen an einen chinesischen Kunden auszuliefern, ein i-line-Modell im Jahr 2023 und hat außerdem mit der Entwicklung eines KrF-Modells begonnen.

Die Ultra Track von ACM ist eine 300-mm-Prozessanlage, die einen gleichmäßigen Luftstrom nach unten, eine schnelle Roboterhandhabung und eine anpassbare Software zur Erfüllung spezifischer Kundenanforderungen bietet. Das Gerät verfügt über zahlreiche Funktionen, die die Leistung in Bezug auf Fehlerquote, Durchsatz und Betriebskosten verbessern. Der Ultra Track unterstützt die gesamte Palette der Lithografieanwendungen, einschließlich i-line, KrF und ArF Prozess.